Аешин
Способ изготовления варикапов
Номер патента: 1204083
Опубликовано: 20.05.2000
Авторы: Аешин, Герасименко, Смирнов, Стась
МПК: H01L 21/265
Метки: варикапов
Способ изготовления варикапов, включающий облучение протонами и последующий термический отжиг, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления и повышения чувствительности варикапов к малым напряжениям, облучение проводят протонами с энергией, для которой параметры Rp и Rp удовлетворяют условиюLpn< Rp-4 Rp< Lpn+LD,где Lpn - требуемая глубина залегания металлургической границы p - n-перехода или толщина слоя металла для варикапов на основе...