Способ создания силицидов металлов

Номер патента: 1080675

Авторы: Васильев, Герасименко, Калинин, Суртаев

Описание

Способ создания силицидов металлов, включающий нанесение металла на кремний и нагрев структуры "металл-кремний" СВЧ-излучением с основной частотой 950 МГц - 1000 ГГц, плотностью поглощенной энергии излучения 0,2 - 2 кДж/см2 в течение 1 - 103 с, отличающийся тем, что, с целью повышения качества силицидных слоев и упрощения технологического процесса, перед СВЧ-нагревом нанесенный металлический слой облучают ионами элементов, обладающих электроотрицательностью меньшей чем электроотрицательность нанесенного металла, причем
Эм - Ээ = Э 0.5 эВ,
где Эм - электроотрицательность нанесенного металла, Ээ - электроотрицательность элемента, ионами которого облучают нанесенный металл; при этом доза облучения составляет 5 1015 - 1018 ионов/см2, а его энергия - 5 - 100 кэВ.

Заявка

3498539/25, 11.10.1982

Институт физики полупроводников СО АН СССР, Новосибирский государственный университет

Васильев С. В, Герасименко Н. Н, Калинин В. В, Суртаев А. Ю

МПК / Метки

МПК: H01L 21/24

Метки: металлов, силицидов, создания

Опубликовано: 10.11.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1080675-sposob-sozdaniya-silicidov-metallov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ создания силицидов металлов</a>

Похожие патенты