Электродуговой испаритель
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 693988
Авторы: Саксаганский, Сорокин, Турченко
Текст
Изобретение относится к вакуумной технике и, в частности к электродуговым испарителям плазменных сорбционных вакуумных насосов, предназначенных для получения и поддержания высокого вакуума в электрофизических установках, а также в ряде технологических процессов электровакуумной и полупроводниковой промышленности.Известны электродуговые испарители плазменных сорбционных насосов. Такие испарители имеют катод, выполненный из материала геттера, и анод, в качестве которого в большинстве случаев используется заземленный корпус насоса. Для генерации геттерного материала используется катодная форма вакуумной дуги, горящей между обоими электродами и сопровождающаяся ис/ парением с поверхности катода определенного количества геттера, образующего на поверхностях охлаждаемого корпуса насоса пленку, поглощающую газы.Известен также электродуговой испаритель, в котором дуга горит между титановым диском - иатодом, закрепленным на охлаждаемой подложке, и заземленным охлаждаемым корпусом насоса, являющимся анодом. Для стабилизации на торцевой поверхности катода образующихся микропятен используется экран, охватывающий с зазором боковую поверхность катода. Возбуждение дуги 1производится с помощью специального поджигающегоэлектрода.В таком испарителе испарение: геттера с торцевой поверхности катода приводит к постепенному уменьшению высоты титанового диска, что, в свою очередь, увеличивает степень экранировки стабилизирующим экраном сорбирующей поверхности охлаждаемого корпуса насоса. Это приводит к постепенному уменьшению площади активной поверхности сорбции и, тем самым, к снижению быстроты откачки насоса и в целом, ввиду нерационального использования геттера, т.е. к сокращению срока службы насоса. Кромб того, наличие специального поджигающего электрода приводит к усложнению и, как следствие, - снижению надежности работы испарителя.Целью настоящего изобретения является повышение срока службы насосаО 520 25 3035404550 за счет упрощения конструкции испари -теля и более полного использованияпервоначального запаса геттера.Указанная цель достигается тем, что в известном электродуговом испарителе, содержащем катод, выполненный из материала геттера с охлаждаемой подложкой, и стабилизирующий экран, катод выполнен в форме полусферы, а экран установлен вокруг подложки катода. В другом варианте между экраном и охлаждаемой подпожкой установлен изолятор, а экран электрически связан с источником возбуждения дуги.На чертеже изображен предлагаемый электродуговой испаритель, установленный в плазменный сорбционный насос. Электродуговой испаритель содержит полусферический катод 1 с охлаждаемой подложкой 2 и стабилизирующий экран 3, установленный вокруг подложки катода. Между экраном и охлаждаемой подложкой установлен изолятор 4.Разряд возбуждается подачей высоковольтного импульса напряжения между катодом и стабилизирующим экраном от специального источника 5. Приэтом происходит пробой по поверхности изолятора 4, на поверхности катода возникает катодное пятно и между катодом и корпусом насоса возникает вакуумная дуга. При этом плазма геттера практически не экранируется стабилизирующим экраном от охлаждаемых сорбирующих поверхностей насоса 6. В то же время экран стабилизируеткатодные пятна на полусферической поверхности катода, препятствуя их переходу на охлаждаемую подложку 2.Отсутствие экранировки сорбирующей поверхности насоса стабилизирую" щим экраном обеспечивает поддержание максимальной быстроты откачки в течение всего срока службы испарителя, определяемого первоначальным запасом геттера, а использование в качестве поджигающего электрода стабилизирующего экрана упрощает конструкцию исдарителя и повышает его надежность.Использование указанного испарителя позволит в 1,5-2 раза повысить эффективный срок службы плазменных сорб, ционных средств откачки на его основе.693988 хред М.Моргентал Корректор Л. Пкпипенк дактор Н.Сильнягин акаэ 5571 П сн ог ни водственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Тираж 574 ВНИИПИ Государстве по делам изобре 3035, Москва, Ж, комитета СССРи о ткрытийкая наб., д.
СмотретьЗаявка
2566918, 06.01.1978
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-7904
САКСАГАНСКИЙ Г. Д, СОРОКИН А. Г, ТУРЧЕНКО С. С
МПК / Метки
МПК: F04B 37/02, H01J 41/20
Метки: испаритель, электродуговой
Опубликовано: 07.11.1988
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-693988-ehlektrodugovojj-isparitel.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Электродуговой испаритель</a>
Катод ртутного преобразователя с охлаждаемым фиксатором катодного пятна
Номер патента: 117119
Опубликовано: 01.01.1958
Автор: Лирман
МПК: H01J 13/06
Метки: катод, катодного, охлаждаемым, преобразователя, пятна, ртутного, фиксатором
...катода, Как видно из чертежа, катод представляет собой чашу, изготовленную из молибдена или вольфрама. Дно чаши имеет с внутренней и внешней стороны спиральные или концентрические 1:,анавки, Ртуть заливается в чашу с таким расчетом, чтобы вер 1 пины кругов или спирали возвышались над ртутью. Эти выступающие круги или спираль и являются фиксатором катодного пятна,Охлаждение места фиксации пятна, а такке электрический коп такт осуществляются непосредственно без промежуточных слоев. Тепловое сопротивление катода снижается, по сравнению с обычным, пе менее чем на 50, ввиду того, что столо ртути может быть взят незначительным и теплопроводность молибдена в три раза выше, чем у стали. Уменьшение тсплового сопротивления, соответственно,...
Комбинированный магниторазрядный насос
Номер патента: 741352
Опубликовано: 15.06.1980
МПК: H01J 41/12
Метки: комбинированный, магниторазрядный, насос
...аноды 3, постоянныемагниты 4, размещенные в полостигерметичных охлаждаемых катодов. Ис- ЭО41352 Повышается надежность насоса, таккак йсключаются накаляющиеся довысоких температур проволочные элементы, критичные.к давлению в насосе и не допускающие прорыва атмос феры. В результате разогрева испарителя только в зоне горения дуги ивзаимодействия дугового разряда сэлектронным полем магниторазряднойчасти насоса снижается потребляемая 10насосом мощность,1. Комбинированный магнитораз 15 рядный насос, содержащий герметичный охлаждаемый корпус, испарительгеттера и магниторазрядную ступеньоткачки, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью повышения эффект тивности откачки насоса, его надежности и ресурса работы, испарительгеттера выполнен в...
Уплотнительный узел между трубчатыми экранами топки и футерованным бункером
Номер патента: 1190141
Опубликовано: 07.11.1985
Авторы: Белый, Гольберг, Гордеев, Иванов, Красавин, Марьямчик, Сухов
МПК: F22B 37/24
Метки: бункером, между, топки, трубчатыми, узел, уплотнительный, футерованным, экранами
...Ж - 35, Раушска атент, г. Ужгород,янскийКорректор Е. РошкоПодписноеитета СССРткрытийя наб., д. 4/5ул. Проектная, 4 Редактор Н.Заказ 6957/4 ВНИИПИ Г по дел 113035, Моск филиал ППП ПИзобретение относится к котлостроению и может быть использовано на тепловых электростанциях.Цель изобретения - повышение экономичности и надежности,На фиг. 1 изображен котел, продольный разрез; на фиг. 2 - уплотн 11 ющий узел, вариант 1; на фиг. 3 - то же, вариант 2; на фиг. 4 - то же, вариант 3.Уплотняющий узел между трубчатыми экранами 1 топки 2 котла 3 и футерованным бункером 4 содержит уплотняющий элемент, которым являются участки 5 труб экранов 1, изогнутых по периметру паза 6 или уступа 7, выполненными на уплотнительной поверхности бункера 4,...
Способ откачки газов и электродуговой испарительный насос
Номер патента: 1152433
Опубликовано: 30.10.1988
Авторы: Баранов, Карпов, Потехин, Саксаганский
МПК: H01J 41/20
Метки: газов, испарительный, насос, откачки, электродуговой
...Данный эксперимент показал эффективность предлагаемого способа для откачки активных газов.Ч Рорнгде Ч - объем установки.Оптимальное соотношение временраспыления геттера С Р и паузы Сд,при которых быстрота действия остается постоянной во времени, определяется по формулам8 10и Ро4ВМР, еЧ;ф аоР 1 " Я крвф"3,310" 0 1 Р; Ф;, Кмгде и - количество монослоев (и == 5-10);Р, Р, в площа поверхности испарения и входного отверстия насоса,- поверхность непосредственного1 фмассообмена между поверхностью напыления и испарителем;- скорость испарения геттера(0,2-0,8),К ,.- коэффициент неравномерностиюраспределения молекулярногопотока;Ф;, - коэффициент, учитывающий переотражения молекул на различных поверхностях устройства;" молекулярный поток, входящийв...
Устройство для ohpemejlehm5 нестационарных
Номер патента: 343174
Опубликовано: 01.01.1972
Автор: Скрипач
МПК: G01M 9/06
Метки: ohpemejlehm5, нестационарных
...сил, а при испытаниях0 моделей аипаратоп на воздушной подушкепозволяе 1 осутцествить подвод воздуха в подушку от стационарных воздуходувных машин нрн больших давлениях ьоздуха.11 а фиг. 1 схематично показано преДЛОжен 5 нос устройство; на фиг. 2 - положение подвижцото экрана во время эксперимента, когдаэкран вводят в рабочую часть аэродинамической трубы,Устройство устанавливается в аэродинами.0 ческуто трубу 1 и состоит пз неподвииной рамы 2, ца которой с помощью державки 3 итензодинамометра 4 неподвижно установленаиспытываемая модель 5 над неподвижным экраном 6. Между неподвижным экраном и нс 25 пытываемой моделью установлен подвижныйэкран 7, способный перемещаться по потокусо скоростью последнего и имеющий на своейкромке...
Предыдущий патент: Способ измерения распределения заряженных частиц в импульсном пучке
Следующий патент: Устройство для внутриреакторных механических испытаний
Случайный патент: Способ получения изоамиленов