Патенты с меткой «сорбционно-конденсационно-ионный»

Номер патента: 140123

Опубликовано: 01.01.1961

Авторы: Мартинсон, Мызников, Романенко, Хабарова, Шугаева

МПК: F04B 37/02, F04B 37/08, H01J 41/20 ...

Метки: насос, сверхвысоковакуумный, сорбционно-конденсационно-ионный

...того, желательно найти такие условия работы насоса, чтобы слой геттера откачивал с большой скоростью метан, аргон и некоторые другис газы.Для улучшения характеристик описываемых сорбционно-ионных насосов предложено напылять слой геттера (титан, цирконий или торий) на поверхность, охлаждаемую до низких температур. Для распыления геттера используется один из известных испарителей, например испаритель типа манометра Альперта с коллектором в виде молибденового или вольфрамового стержня, на который надета спираль из тичановой или циркониевой проволоки или спеченный штабик из порошкообразного тория. При электронной бомбардировке можно напылить на поверхность в 500 слР десятки монослоев титана в течение нескольких минут, Напыленный слой...