Магнитный электроразрядныйнасос

(21) 2723906/18-25 51)М Клз Заявлено 07 Н 01 1 41/2 присоединением заявки сударстеениый иемите Приорите) УДК 621 521 (088,8) публиковано 15 лам изобретенийи открытий та опубликовани(72) Автор изобретеии фискис Заявител 54) МАГНИТНЫИ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫИ" сится к сре ания высок тным элект иствуют на в при катодо материала тер жен Изобретение относоздания и пбддерж ов частности к магни ронасосам (МРН).Известны МРН, которые де"основе эффекта поглощения газоном распылении геттерирующегв магнитном поле 11.Известен также МРН, содержащий корпус, изолированные от корпуса вводы, электродную систему, состоящую из катодов и анодов, и источник питания 2.Однако в этих насосах газовый разряд с катода устанавливается благодаря случайной ионизации молекул остаточного газа (радиация, блуждающий электрон, космическое излучение), что обуславливает высокое пороговое давление зажигания разряда.Цель изобретения - уменьшение величины порогового давления зажигания разряда.Поставленная цель достигается тем, что в магнитном электроразрядном насосе, содержащем корпус с изолированными от него вводами, источник питания и электродную систему, состоящую из катодов и анодов, катоды и аноды последней выполнены в виде стержней, по образующей которых расположены острия, обеспечивающие автоэлектронную эмиссию с них при рабочем напряжении насоса, при этом стержни присоединены поочередно к изолированным вводам и корпусу и образуют периодическую систему из катодов и анодов, расположенных так, что электрическое поле между соседними электродами и магнитное поле взаимно ортогональны,Для случая, когда корпус насоса имеетцилиндрическую форму, высота острий уменьзо шается к центру таким образом, чтобы расстояние между остриями соседних стержней оставалось постоянным.Данная конструкция насоса позволяетв качестве источника питания использовать 1%источник переменного напряжения.На фиг. 1 и 2 приведена конструкциянасоса е цилиндрическим корпусом; на фиг. 3 - конструкция насоса с прямоугольным корпусом; на фиг. 4 - разрез Б-Б на фиг. 3.20 Насос содержит корпус 1, изолированныевводы 2, катоды 3 и аноды 4.Выполнение электродной системы в вс жней, по образующей которых распоы острия, обеспечивает автоэлектрон813537 Формула изобретения 3эмиссию с них при подаче рабочего напряжения на электроды насоса.Поочередное присоединение стержней к корпусу и изолированным от корпуса вводам обеспечивает ортогональность электрического поля к магнитному, что значительно увеличивает вероятность ионизации молекул остаточного газа в насосе. Наличие авто- электронной эмиссии с острий и ортогональность полей способствует уменьшению величины порогового давления зажигания разряда. Для насоса с корпусом цилиндрической формы (фиг. 1 и 2) уменьшение высоты острий к центру приводит к равномерности электрического поля во всем рабочем пространстве насоса.Для насоса с корпусом прямоугольной формы (фиг, 3 и 4) высота острий одинакова по всей длине стержня, что обеспечивает также равномерность электрического поля во всем рабочем пространстве насоса.Идентичность конструкций катодов и анодов насоса обеспечивает возможность использования каждого из них то в качестве катода, то в качестве анода, что позволяет упростить схему питания насоса, т, е. в качестве источника питания использовать источник переменного напряжения,Источником питания предлагаемого электроразрядного магнитного насоса является высоковольтный трансформатор со средней точкой (схема питания электроразрядного насоса приведена на фиг. 2).Концы высоковольтной обмотки трансформатора 1 Л - 10 кв присоединены к электрическим вводам насоса, а средняя точка- к корпусу насоса.Экспериментальная проверка предлагаемого магнитного электроразрядного насоса показала, что он обеспечивает надежное зажигание разряда при давлении 2 10Па, что на порядок ниже существующих конструкций. 4Насос перспективен для использования в качестве индивидуальных средств откачки высоковакуумных долговечных ОВП. Кроме того, возможность работы на переменном токе значительно упрощает и удешевляет источник питания. 1. Магнитный электроразрядный насос,10 содержащий корпус, изолированные от корпуса вводы, источник питания и электроднуюсистему, состоящую из катодов и анодов,отличающийся тем, что, с целью уменьшенияпорогового давления зажигания разряда,катоды и аноды электродной системы насосавыполнены в виде стержней, по образующейкоторых расположены острия, обеспечивающие автоэлектронную эмиссию с них прирабочем напряжении насоса, при этом стержни присоединены поочередно к изолирован 2 О ным вводам и корпусу и образуют периодическую систему из катодов и анодов, расположенных так, что электрическое полемежду соседними электродами и магнитноеполе взаимно ортогональны,2. Насос по п. 1, отличающийся тем, чтодля насоса с цилиндрическим корпусом,высота острий уменьшается к центру так,чтобы расстояние между остриями соседнихстержней оставалось постоянным.3, Насос по пп. 1 и 2, отличающийсятем, что в качестве источника питания ис 30пользован источник с переменным напряжением. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР з 5433568, кл. Н 01 1 41/00, 1971.2. Королев Б. И. и др. Основы вакуумнойтехники. М., Энергия, 1975, с. 156 (прототип).813537 Фиг укова Пкомитетаи оз крышская набод, ул. П Редактор А. Наурско Заказ 342/67 ВНИИ и 13035,илиал ПППИ Госуд о делам и Москва, Ж П Патен Составитель Г ехред А. Бойка ираж 784 арственного зобретений - 35, Рау т, г. Уж го орректор Г. РешетникодписноеСССРийд. 4/5роектная, 4