Аркузский

Электродуговой сорбционный насос

Загрузка...

Номер патента: 1065928

Опубликовано: 07.01.1984

Авторы: Аркузский, Волчков, Гербовицкий, Саблев, Слуцкий

МПК: H01J 41/20

Метки: насос, сорбционный, электродуговой

...электроизолированными от корпуса катодом и геттерного материала и полым анодом, анод выполнен в виде экрана, перекрывающего всю поверхность корпуса, за исключением участка, расположенного за рабочей поверхностью катода в сторону от анода, и участка, перекрытого ловушкой, а ловушка снабжена токовводом, изолированным от корпуса и анода.Нагрев и обезгаживание сорбирующей поверхности насоса, которой является поверхность тонкостенного анода и оптически непрозрачной ловушки, осуществляется энергией дуового разряда при форвакуумной откачке насоса. При горении дуги в электродуовом испарителе с камерой-анодом примерно 2/3 подводимой энергии выделяется на аноде.Поскольку масса анода в предлагаемой конструкции меньше массы вакуумной...