Магниторазрядное откачное устройство

Номер патента: 366515

Авторы: Бов, Саксаганский

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕ 36655ИЗОБЕЕТВНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1 гаюз Советскиз Социалистическими РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваМ. Кл. Н 011 41/О Заявлено 29.Х.1970 ( 1497157/26-25 присоединением заявкириоритетпубликовано 16.1.1973. Бюллетень7ата опубликования описания 14.1 Н.197 Комитет по делам зобретеиий и открытиипри Совете тлииистров ДК 621.528;533.59.авторы зобретени Заявите СТРОЙ СТВ АГНИТОРАЗРЯДНОЕ ОТКАЧ ляется повышение магнитных полях редмет изобретения ство, со- раллелектпвного ле, от,гиИзооретецие касается вакуумной техники, а именно устройств для создания вакуума в электронных СВЧ-приборах, ускорителях заряженных частиц и других устройствах с собственным магвитцым полем.Известно магниторазрядцое откачное устройство, представляющее собой помещенную в магнитное поле совокупность пластинчатых катодов из активного металла и установленного между ними анода с ячейками в виде параллелепипедов.Однако особенности процесса электрического разряда в,магниторазрядных насосах связаны с тем, что при непараллельности вектора магнитной индукции и продольной оси анодных ячеек производительность насоса снижается, падая до нуля при некоторых критических для данной конфигурации электродной системы и величин напряженности электрического и магнитного полей значениях угла наклона вектора магнитной индукции к осям анодных ячеек,Целью изобретения явэффективности откачки вразличной ориентации.Для этого в предложенном устройстве ортогоцальные грани ячеек ацода выполнены разцовысокими, причем большая грань параллельна вектору магнитной индукции, а высота Й меньшей грани связана со стороной а ячейкц в плоскости, параллельной катоду, соотношением /г(а с 1 д тг, где тг - максимальныйугол наклона поля к продольной осц ячейки,Выполнение ортогоцальных граней ячеек5 анода разцовысокцмц позволяет сохранитьвнутри я .ейкц электронный сгусток, всегдаориентированный по вцешнему магнитномуполю прц больших углах наклона векторамагнитной индукции к продольцоц оси ячеекО анода, нежели это возможно для ячеек анодав известном устройстве, что повышает эффективность откачки.На чертеже показана разрядная ячейкаэлектродной системы предложенного устрой 5 ства.Ячейка содержит анод 1 с вырезами б вгранях ячейки и пластинчатые катоды 2.Наличие электронного сгустка делает возможным ударную цонпзацпю молекул остаО точного газа, бомбардировку имп пластин катода ц ионное распыление материала катода,в результате чего обеспечивается поглощениеостаточны.; газов,Магццторазрядное откачное устро держащее анод с ячейками в виде п пипедов и пластцнчатые катоды цз металла, помещенные в магнитное п366515 нитной индукции, а высота Й меньшей грани связана со стороной а ячейки в полости, параллельной катоду, соотношением Й(ас 1 р, где р - угол наклона поля к продольной оси 5 ячейки,г тавитель Н, Дудкинаехред Т. Курилко Редактор Е. Кравцова Т Корректоры; Е, Давыдкина и В. ПетроваЗаказ 480713 Изд. Мв 113 Тираж 780ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при СоМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Подписное те Министров СССРпография, пр. Сапунова,иаюиееся тем, что, с целью повышения эффективности откачки в магнитных полях различной ориентации, ортогональные грани ячеек анода выполнены разновысокими, причем большая грань параллельна вектору маг

Смотреть

Заявка

1497157

В. В. бов, Г. Л. Саксаганский

МПК / Метки

МПК: H01J 41/20

Метки: магниторазрядное, откачное

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-366515-magnitorazryadnoe-otkachnoe-ustrojjstvo.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Магниторазрядное откачное устройство</a>

Похожие патенты