Вакуумный шлюз

(Я)5 Н 01 .т 37/Од 91 ЕКуЕ 3 т ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ЛЬСТВУ н двторСкоМУ Сви ое объ енко УЕМирмы вакуользо копах ьше ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР(57) Изобретение относитсяной технике и может быть ивано в электронных микроЦелью изобретения является Изобретение относится к вакуумной .технике и может быть использовано в электронных микроскопах.Целью изобретения является уменьшение габаритов за счет размещения механизма перемещения шлюзовой заслонки внутри корпусаНа фиг.1 показан вакуумный шлюз, закрытое положение, на фиг.2 - вакуумныйшлюз с дифракционной приставкой и исследуемым объектом, установ ленный в колонне электронного микроскопа, открытое положение, на фиг.З- вид А на фиг.2.Вакуумный шлюз содержит (фиг. 1 и 2) корпус 1 в виде коаксиальных цилиндров, герметично соединенных перемычкой 2, дифракционную приставку 3 с исследуемым объектом 4, которая закреплена при помощи резьбового кольца 5, уплотнение осуществляется уплотнителем 6. Шлюзовой объем вакуумного шлюза может отсекаться от 2йие габаритов вакуумного шлюза путем размещения механизма перемещения шлюзовой заслонки внутри кор/ пуса. Корпус вакуумного шлюза выполнен из коаксиальных цилиндров, герметично соединенных перемычкой. 111 лю- зовой объем вакуумного шлюза может отсекаться от вакуумного объема колоны электронного микроскопа шлюзовой заслонкой, обеспечивая при этом закрытое или открытое положение вакуумного шлюза. Работа вакуумного шлюза и особенности его конструкции показаны на чертежах приведенных в описании изобретения, 3 ил.3 твакуумного объема колонны 7 электронного микроскопа шлюзовой заслонкой 8 с уплотнением 9, обеспечивая при этом закрытое или открытое положение вакуумного шлюза. Механизм переключе ния вакуумного шлюза состоит из ползуна 10 с рукояткой 11 и втулки 12, которые сочленены посредством двух штифтов 13, входящих в поперечные пазы 14 на втулке 12, что позволяет полэуну 10 поворачиваться на втулке 12, а также перемещать ее в осевом направлении благодаря продольному пазу 15 на полэуне 10. Во втулку 12 ввернуты две продольные тяги 16, которые уплотняются в корпусе 1 уплотнениями 17 при помощи зажимного фланца 18, с другой стороны продольные тяги 16 соединены со шлюзовой заслонкой 8 при помощи гаек 19. Втулка 12 имеет продольный паз 20, в который входит штуцер 21, не позволяющий втулке 12 вращаться, поэтому последняя спродольными тягами 16 и шлюзовой заслонкой 8 может перемещаться только в осевом. направлении,при этом продольный паз 15 на ползуне 10 должен быть совмещен с продольным пазом 20 на втулке 12. Ползун 10 имеет углубление 22,в которое утапливается шарик 23, предназначенный для срабатывания микропереключателя. 24 при повороте 1 п ползуна 10. Через штуцер 21 производится откачка шлюзового объема на предварительный вакуум с помощью электромагнитного вентиля 25 (фиг, 3),при этом лампочка 26 сигнализирует о 15 степени откачки шлюзового объема. Рычаг 27 суплотнительным кольцом 28 служит для напуска воздуха в шлюзовой объем. Розетка 29 предназначена для подачи питания к электромагнитному вентилю 25. В колонне 7 электронного микроскопа вакуумный шлюз уплотняется с помощью уплотнения 30.Вакуумный шлюз работает следующим образом. 25Перед работой с дифракционными приставками вакуумный шлюз в закрытом положении устанавливаетсяв колонну 7 электронного микроскопа уплотняется уплотнением 3, штуцер 21 поц соединяется к электромагнитному вентилю 25, к которому подключается ро.зетка 29, а затем в колоннеэлектронного микроскопа создается высокий вакуум.Дифракциониая приставка 3 с исследуемым объектом 4 вводится в шлюзовой объем, закрепляется в корпусе 1 при помощи резьбового кольца 5 и уплотняется уплотнителем 6. Поворотом рукоятки 11 (по стрелке, 40 фиг.1 и 3) вакуумный шлюз переводится из закрытого положенияв положение откачки на предварительный вакуум. При этом ползун 10 поворачивается, шарик 23 выходит из углубления 22 и нажимает на кнопку микропереключателя 24, подавая сигнал через розетку 29 на открытие электромагнитного вен- . тиля 25 для откачки шлюзового обьема вакуумного шлюза на предварительный вакуум, сигнальная лампочка 26 загорается. Хогда последняя погаснет, что указывает на конец откачки вакуумного шлюза на предварительный вакуум, дальнейшим поворотом рукоятки 11 вакуумный шлюз переводится в среднее положение. В этом положении продольный паз 20 на втУлке 12 совмеща-ется с продольным пазом 15 на ползуне 10 и со штуцером 21, входящим во втулку 12, что позволяет продольным перемещением рукоятки 11 в направлении стрелки (фиг,.1),ползуну 10 переместить втулку 12 с ввернутыми в нее продольными тягами 16 и шлюзовую заслонку .8 в осевом направлении до упора, т.е. открыть вакуумный шлюз, при этом шлюзовой объем вакуумного шлюза сообщается с вакуумным объемом колонны 7 электронного микроскопа.Переключение вакуумного. шлюза из открытого в закрытое положение производится в обратном порядке: перемещая рукоятку 11 в осевом направлении, сначала закрывают шлюзовую заслонку 8 и с помощью уплотнения 9 отсекают шлюзовой объем вакуумного шлюза от вакуумного объема колонны 7 электронного микроскога, затем поворачивают рукоятку 11 в радиальном направлении из среднего положения в закрытое положение. Нажимая рычаг 27, напускают воздух в шлюзовой объем вакуумного шлюза, что позволяет" извлечь дифракционную приставку 3.Формула изобретенияВакуумный шлюз, содержаший ци - линдрический корпус, шлюзовую заслонку, установленную соосно корпусу, соединенную с механизмом перемещения, и штуцер, закрепленный на корПусе, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью уменьшения габаритов, корпус выполнен в виде двух коаксиальных цилиндров, торцы которых с одной стороны цилиндров герметично соединены кольцевой перемычкой, в которой вакуумно-плотно размещены тяги, наружные концы которых соединены со шлюзовой заслонкой, а внутренние концы размещены между цилиндрами и соединены с механизмом перемещения, выполненным в виде втулки, размещенной между цилиицрами и ползуна с продольной прорезью, при этом на внешней стороне втулки выполнены поперечные пазы, в которых размещены штифты, закрепленные на внутренней поверхности ползуна, и продольная прорезь, в которой разме-, щен штуцер.. Черни Ред н К Тираж 403 Подписноерственного комитета по изобретениям и открь 113035, Иосква, Ж, Раушская наб., д. В омбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 10 зводственно-издатель аз 28НИИПИ Г Состав Техред ель Ю.ЯреМ.Ходанич ям при ГКНТ С5