Способ измерения геометрических параметров электронного пучка с регулируемыми размерами сечения

"С: , +.,с 59 1 11 0 ИЕ ИЗОБРЕЯ 4)-АРВИДЕ ГЕПЬСТВУ ОП АВТОРЧИК м:апраг.:е:ьп пер -к , ",.,по.с чка, с помощью равляюсх сигнатемыря,т.и .:вс р о и лов электрон задают исход пучка со сто ответствующи регулировани тем при непо тичес но-о с:)е рв сэ." ои разм-а се ра едине меров ой од пооч иапасеепя вой и тосечения, заи углсэ .УВЕ.5 ой -,ажцо о вых т с и дн; к;,я к то он с ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЦТИЙ(71) Московский институт электронного машиностроения(56) Авторское свидетельство СССРМ 904256, кл. Н О .) 37/00, 1978,Патент ГДР ) 0152022,кл. Н 01 ,1 3/00, опублик, 1981.(54)(57) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧ -КА С РЕГУЛИРУЕШЬИ РАЗМЕРАМИ СЕоНИЯ, включающий облучение енс измерительным элементом в видедатчиков прямого потока .электронов и определение параметров формсечения пучка по совокупное.ти с гналов с датчиков, о т л и ч аю щ и й с я тем, что, с целью повншения точности при сокращении сремени измерений, электронный пучокнаправляют на датчики в виде вухвзаимно перпендику:ярных и ;араслельных двум стороам сечения пучка полос, ширина ои б, каждойиз которых не превышает половинымаксимальной длины сторон сечения ают в два раза раз рон и обеих вместе сочетаний размеров с э э.", сп;.)ое : аоо с." : ;.;,.л . . м э т р1 к р "е е 5 и:к:.ся .; э соот -о"сй.1 ОВЫХ то ЕК )-111) .:1,) )1(ЭИ ЕРи ) 1),)электронно) О пучка. ".вхдти-. - :с,1электронно-оптическ:,тй рдэвот:оугол с одной части редльнс)1(женил с вершиной В таит(е 0тельно другой части этого же изображения с вершиной В точке с, маспг дбтипа с элект)ОННтм тту"кот". 1) )(; ио):НОГО СЕЧЕНИЯ;-:ЗМСЦЯЕМ)1)С 1)Д -.-"Цель иэаб(тенин сзтп)дНогти и сокрт 1 пение во 11 ент( 1: 3 (при единовременном "1 )О)енти и:. Ос ) )1) -ления мише)и (. изме.". 1),ты; т:1 -1 д 1ния более иро гяженных ддт; ".(;ВЬППЕНИЯ ОТНС)ЕЕ)СИЯ СИГ 1т.т 1 П 1 УГ - ДЯ:ное несоответствие между задднньктти Фактическими размерами сечения.вызванное неточностью настройкирегулирующих элементов в сисТеме;)травления; начальное смешение размеров сечения, вызванное погрешностя;:нвзаимной иксадии диафрагм, д тд)(;-сддому из четырех возможных сочетаний размеров можно поставить в со(1 гветствие двойные индексы при обозначениях скгналон: первая цифра индекса указывает ца уровень размерл вторая - на уровень размера ), причем цифройобозначается нкж 11 й, я цифрой 2 - верхний уровень варьирования.Учитывая ( ) и ( 2), получим:(с)- с с) ВТаким образом, уголс 1(:ределяется отноп 1 ением приращений скгцалов от первого и второго измерктельцых элементов при варьировании размерас( :, Важно отметить, что длццое отношение не зависит от лбсолюгногозначения плотности тока ) , благодаря чему исключается в;1 ияке нестабильности этого параметра и ошкбок его измерения ца точность определе-. 1)з соотношенийможно устаовить что о сн)1- к (к: а, + .1-сл к Р,В7 д(,. - ,", )3 5 1 (6) (н) где верхний и 1 к 1 жций уровни варьирования размера(. с= ), 2);соответствующий масштабный коэффициент;соответствующее начальное смещение сигнал от датчика 3;. Х"), )(,7)- КоардкцатЫ, ОПрЕДСс:1 яОщсссл Чав ) ,) лаженке датчика 2;координаты, Определяющие по:1 ожеке датчика 3;средняя плотность тока вопучке;Ы 3 г - ширина полос датчиков,Оособ предполагает влрькр(венке каждого из размеров ),), В, цл двух уровнях: нижнем, при котором злданный размер сечения пучка ранец 4, и верхнем, при котором задлцный размер сечения пучка равен 2 Л. Клж С Ч:, 11;с 1, ) и ( . ) С Е ПС:ЧЦМ(7) опе 11 е.п 1 ютс гас штс 1 аВ11)ь 3(.сл (С )Я: 51., сл 5 ос (ос.(11 лс(О Гл, Ь(, - ,)(т(,А .( )1.:реобрлзуя которые можно получеть:20---- 1, "(З,Со 5 М. -л 5)(л;зль- , ЛТ (С 1:(;((с 1 С БССЛ (9)Д Величигн 1 4 а представляют собс и начальные смешения рязмерон пуч,кл в сгцТеме координат Х РХ поверУТО 12 Относительно исходной на угол Зб с-с). Оси этой системы совпадают соСторОНЬ Гсздн 1 ьжнага КэображЕНИЯ С1вершиной в точке ОВеличины с , а определяются обЛс с.элтцым прсаб 1 лзо: лцием каордкнат 35 Е, - Со 5 о.-а, (.", - а с 5б. + а1-05:л (О )Все оперНцин способа легко антоМсТИЗ 11 РУ 1 ЕТСЯ С ПОМОЩЬЮ СИСТЕМЫ УП равлецкя, входящей в состан электро;с 11 - (1 ТСг 11 Эф л СКо 11 сссаНОВКИ (3,)1 с ))1 рк э(о: Нс требл.ется дополнительссо обору 51 О 1(л 1 я, так как в систе., ах у ц р .: 1.1 е н и я у С Т а Н 0 в к ам И Д сз Н ц О Г О класса обычно имеется ЭВ 111 с устройствами 1 водя -вывода аналоговых сигца:1 оз 1:. Прогряммцьн, обеспечением, позволяе 11 ьсь НрОизвОдить необхОдимьье вьчисленкяс 1)апример, сгособ, основанный.на 1) 11 с ПОЛсвэанацк Г.ПЕЦИс 1 ЛЬНО ИЗГОТОВленной мкшенцс, располагаемой на координатном столе ЗП 3 вблизи ОднОЙкз границ рабочего поля перемещения стола, осуществляется следую 11 КЬ Обоа Засс Практически требуемые размеры зоны для размещения мкшени не пре 2.вьшают(смы . Они определяются105206Составитель В. Гаврюшин Редактор М. Дылын Техред С.Мигуйова Корректор В, Синицкая Заказ 8534/54 Тираж 678 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий13035, Москва, Ж,Раушская наб д. 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,