Милотаев
Емкостный датчик давления и способ его изготовления
Номер патента: 1783333
Опубликовано: 23.12.1992
Авторы: Марин, Милотаев, Мордовин, Чугунов
МПК: G01L 9/12
Метки: давления, датчик, емкостный
...толщин. Каждая сбороч мембраны и дополнительного металлизироная единица преобразователя при данной . ванного слоя, выйолненного на керамичетехнологии имеет в конструктивном плане ском диске чувствительного элемента, свои индивидуальные особенности. Недо- одновременно кОнтролируя положение статок известного способа-прототипа как мембраны относительно базовой поверхнораз и выявляется из индивидуальных осо стикорпусайэлектрическоесопротивление бенностей изготовления сборок. Наличиемежду корпусом и дополнительным метал- определенной размерной цепи и нэбегайиелизированным. слоем на чувствительном допусков в ней практически не позволит элементе, В процессе измерения давления получить между обкладками конденсаторов" начальное значение...