Милотаев

Емкостный датчик давления и способ его изготовления

Загрузка...

Номер патента: 1783333

Опубликовано: 23.12.1992

Авторы: Марин, Милотаев, Мордовин, Чугунов

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

...толщин. Каждая сбороч мембраны и дополнительного металлизироная единица преобразователя при данной . ванного слоя, выйолненного на керамичетехнологии имеет в конструктивном плане ском диске чувствительного элемента, свои индивидуальные особенности. Недо- одновременно кОнтролируя положение статок известного способа-прототипа как мембраны относительно базовой поверхнораз и выявляется из индивидуальных осо стикорпусайэлектрическоесопротивление бенностей изготовления сборок. Наличиемежду корпусом и дополнительным метал- определенной размерной цепи и нэбегайиелизированным. слоем на чувствительном допусков в ней практически не позволит элементе, В процессе измерения давления получить между обкладками конденсаторов" начальное значение...