Скопич

Номер патента: 1284433

Опубликовано: 10.02.2006

Авторы: Алексеева, Сивенков, Скопич, Чугунов

МПК: H01L 21/78

Метки: высокотемпературных, тензорезисторов, формирования

Способ формирования высокотемпературных тензорезисторов на металлической подложке, включающий нанесение через маску изолирующего слоя, тензорезистивного слоя и проводящей пленки, отличающийся тем, что, с целью расширения температурного диапазона работы и повышения воспроизводимости параметров тензорезисторов, для нанесения проводящей пленки используют металлическую маску с подслоем, имеющим высокие адгезионные свойства с материалом тензорезистивного слоя, а массу для нанесения тензорезистивного слоя формируют методами фотолитографии, после чего проводят ионное травление этого слоя.

Номер патента: 1756077

Опубликовано: 23.08.1992

Авторы: Иванова, Марин, Скопич, Чугунов

МПК: B23K 31/02

Метки: давления, датчика, тензометрического

...причем дополнительную часть разделяют на несколько участков, которые соединяют последовательно между собой через контактные площадки, балансируют мостовую схему эа счет изменения сопротивления основных частей балансировочных резисторов, соединяют контактные. площадки с выводами корпуса, выполняют сварку мембраны с корпусом и повторно балансируют мостовую схему при одновременном контроле начального выходного сигнала с измерительной схемы.Отличительными признаками предлагаемого способа изготовления является то, что перед сваркой корпуса и мембраны шунтируют дополнительные участки балансировочных резисторов, закорачивая соответствующие контактные площадки плавкими перемычками, а повторную балансировку выполняют путем подключения к одному...

Номер патента: 1753312

Опубликовано: 07.08.1992

Авторы: Семенов, Сивенков, Скопич, Чугунов

МПК: G01L 9/12

Метки: абсолютного, давления, датчик, емкостный

...дополнительный электрод, при этом до вакуумирования опорной камеры диск закрепляют на прикрепленном к упругой опоре штоке. предварительно поджав диск к диэлектрическому основанию, а затем в измерительную камеру подают давление, соответствующее верхнему пределу измерения, и перемещают введенный в датчик и закрепленный в корпусе упор до касания с жестким центром мембраны, после чего подают в измерительную камеру давление, превышающее атмосферное не менее, чем в 1,5 - 2 раза до образования зазора между диэлектрическим основанием и диском, а затем в измерительную камеру подают давление, превышающее в 1,2 - 1,5 раза верхний предел измерения, и отводят упор от мембраны на величину ее рабочего хода.На чертеже показана конструкция...

Номер патента: 1525506

Опубликовано: 30.11.1989

Авторы: Куроедов, Марин, Скопич, Чугунов

МПК: G01L 9/04

Метки: абсолютного, давления, датчик

...может измерять давлениекак в диапазоне от 0 до Р , так иот фиксированного значения Рц доР , При этом уменьшаются габаритыприбора вследствие того, что вся измерительная часть расположена внутривоспринимающего элемента - сильфоиа,Датчик абсолютного давления работает следующим образом,При отсутствии в приемной полости штупера 2 измерлемого давления(фиг.За) сильфон 3 под действием атмосферного давления стремится сжатьсл, Однако перемещения подвижноготорца сильфона не происходит, так какон жестко связан через шток 9 с упругим элементом 7, жесткий пентркоторого опирается на поверхность гермоплаты 6, в результате чего упругийэлемент 7 находится в ненагруженномсостоянии, что и обеспечивает егозащиту от перегрузки,При подаче в приемную полость...