Шеленшкевич

Номер патента: 1778576

Опубликовано: 30.11.1992

Авторы: Артемов, Кудряшов, Шеленшкевич, Шульга

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, емкостный

...подложка 1 электростатически соединена состеклянной подложкой 11, на которой находится неподвижный электрод 12 с металлизированным проводником 12 и втораяконтактная площадка 13, которая при соединении должна совпасть с первой контактной площадкой 9 кремниевой подложки 1.При корпусировании ЧЭ емкостногопреобразователя давления может бытьприсоединен со стороны глубокой выемкимембраны непосредственно к корпусу илик стеклянной подложке, имеющей отверстие для соединения с внешней средой,давление которой измеряют, а затем к корпусу, 1778576Кремниевая подложка емкостного пре 0 образовэтеля давления разм "рам 88 мм сосформированными мембраной, локальнымилегированными зонами, подвижным электродом. металлизиравэнным пояском, металлизи...

Номер патента: 1732400

Опубликовано: 07.05.1992

Автор: Шеленшкевич

МПК: H01L 23/00

Метки: модуль, оптический

...8 мм, Диаметр углубления 7 в плате для установки дополнительного оптического окна 10 устанавливается 10.1 мм, Размер углубления 2 в плате для установки кристалла равен 11 х 11 мм. Размер углубления в крышке 9 составляет 12 х 12 мм. что превосходит размеры углубления 2.Соединение контактных площадок кристалла с толстопленочной серебропалладиевой металлизацией в виде проводников и контактных площадок осуществлялось с помощью алюминиевой проволоки ультразвуковой сваркой. Соединение модуля с внешними устройствами осуществлялось непосредственно припаиванием к контакт ным площадкам платы модуля соединительных проводников внешнего устройства,Крышка 9 соединяется с платой 1 низкотемпературным непроводящим клеем (ГИПК),Модуль может выполнять...

Номер патента: 605487

Опубликовано: 23.12.1981

Авторы: Федорович, Шеленшкевич

МПК: H01L 21/66

Метки: внутренних, механических, напряжений, пленках, сжатия, тонких

...с прототипом (микроскопическое нагде г - начальная длина моста;п=0,1,2гг -- 1./7 ) -))ггг = -- ,Е(ог) =- 1 (1 - и зи 6)ЧУ о где Ео - модуль Юнга дин/см";- коэффициент Пуассона; б - толщина пленки, см; О - Глбца почт)рава и;сгкц) см;) - параметр, опредсляемый по ногограмме )потери устойчивости пластины,закрепленной с одного края, по отношению5 длццы полуволцы деформированного краяпленки к глубгине ее подтрава,Известно, что при потере устойчивостипланка при ьспучивании разделяется в продольном направлении х ца пг полуволн, а в10 попсрсч)ном направлении у на и полуволн,и се прогиб в выражается формулой где Лпостоянная; а - длна пластинки; Ь - ширина пластинки,20 Если пленка деформируется только в продольном направлении (т. с. и1; = 1),...