F04D 19/04 — для создания глубокого вакуума, например молекулярные вакуумные насосы

Номер патента: 1550222

Опубликовано: 15.03.1990

Авторы: Басова, Бурлингас, Демихов

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, насос, турбомолекулярный

...предлагаемого насоса; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1.Насос содержит корпус 1 с входным 2 и выходным 3 патрубками, размещенные на внутренней поверхности корпуса 1 статорные диски 4, расположенные по оси корпуса 1 цилиндрический статор 5 и охватывающий его ротор б с роторными дисками 7, разделенный на входной 8 и выходной 9 участки. Корпус 1 снабжен дополнительным выходным патрубком 10, ротор б - сквозными отверстиями 11, выполненными между входным 8 и выходным 9 участками, и газодинамическим уплотнением 12, расположенным между выходными патрубками 3 и 10, а на внешней поверхности цилиндрического статора 5 выполнены винтовые каналы 13. Насос работает следующим образом, Патрубки 3 и 10 подсоединяют к внешним системам вакуумирования...

Номер патента: 1289154

Опубликовано: 07.04.1990

Авторы: Богданов, Разгуляев, Салтыков, Терентьев

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумных, дисков, насосов, турбомолекулярных

...изния дисков ту омолекулярных насосов с переменным улона лопаток путем использзакручивания лопаток кольцтулов на матрице и пуансонремещении пуансона 2 в напк матрице 1 на лопатки 4 дусилие в зоне выступов 5,закручивает лопатки, имеювом диске переменный уголизменяющийся от о при оснна периферии лопатки. 2 ных вакуум глом накентьеев ани с" евь СССР 1983 пе е ЕНИЯУУИНИХ области позволяГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ Н. АВТОРСКОМУ СВИД(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛДИСКОВ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫХ ВАКНАСОСОВ(57) Изобретение относится кмашиностроения. Изобретение 289154 А 1 равлении ействует которое щие в готонаклона, овании доил е1289154 Составитель В, Кряковк Техред А.Кравчук Редактор С. Кулако Корректор,С. Яекмар Заказ...

Номер патента: 629797

Опубликовано: 15.04.1990

Авторы: Анишин, Гальперин, Черный

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумного, диска, лопаточного, насоса, турбомолекулярного

...проточки с образованием ступицы и боковых поверхностей диска и лопатки штампуют на последних.На фиг. 1 изображена дисковая за: готовка с лопатками; на Фиг. 2 - дисковая заготовка с кольцевыми проточкамиСпособ изготовления лопаточного диска турбомолекулярного вакуумного насоса заключается в штамповке лопаток 1 и механической обработке дисковой заготовки 2, в которой перед штамповкой лопаток на боковых поверхностях выполняют две кольцевые симметричные проточки 3 с образованием ступицы 4 и боковых поверхностей 5 диска, и лопатки 1 штампуют на последних.Использование описываемого способа изготовления дисков турбомолекулярных насосов обеспечивает по сравнению с известным способом получение следующих преимуществ; значительное упрощение...

Номер патента: 1560813

Опубликовано: 30.04.1990

Авторы: Бахтерев, Овчинников, Пульдас

МПК: F04D 19/04

Метки: вертикальный, насос, турбомолекулярный

...и расположенный по оси корпуса 1на гибком стержне 3, опирающемся наподпятник 4, ротор 5 с роторными дисками 6, установленными с радиальными зазорами 7 относительно статора2, выполненными переменными, уменьшающимися от всасывания к нагнетанию,Кроме того, ротор 5 снабжен осевыммагнитным подшипником 8. 25Насос работает следующим образом.При вращении ротора 5 в процессеего разгона до рабочих оборотов появляются радиальные возмущающие силы,стремящиеся вывести ротор 5 из устой чивого равновесия, Несмотря на наличие магнитного подшипника 8, удерживающего ротор 5 на оси корпуса 1,амплитуда радиальных колебаний ротора 5 в зоне всасывания, наиболее35удаленной от подпятника 4, много больше, чем в зоненагнетания, В результате отклонения оси...

Номер патента: 1562532

Опубликовано: 07.05.1990

Авторы: Заозерский, Иванов, Юрченко

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, молекулярный, насос

...во вращение.Насос работает следующим образом.Откачиваемый газ, попадая в полостькорпуса 1, взаимодействует с быстровращающимися поверхностями роторныхдисков 6 и спиральными пазами статорйых дисков 3 и 4 и переносится наСторону нагнетания и далее удаляетсяЙз корпуса 1, например, внешним Форйакуумным насосом. В процессе работыНасоса иэ-за колебаний ротора 5 тем.пературных деФормаций, а также особенностей предварительной установкиНасоса на откачиваемом объеме, возможно изменение величины зазора между статорными и роторными дисками3 4 и 6, причем наиболее негативный9 . 45характер зто изменение носит на выходе насоса, где давление откачиваемого газа наиболее высокоИзменение и неравномерность зазора приводят к снижению степени сжатия насоса...

Номер патента: 1155027

Опубликовано: 15.05.1990

Авторы: Демихов, Сергеев, Шолохов

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, молекулярный, насос

...каждыйиэ сопряженных между .собой конических поверхностей 4 и 5, 6 и 7. Поверхности 6 и 7 имеют конусностьменьшую, чем поверхности 5 н 7, Наконическом участке ротора 3 выполнены спиральные пазы 8, а участоксо спиральными пазами 2 статора 11 имеет дополнительную коническую по верхность 9, сужающуюся по ходу газа, При этом конические участки ротора 3 и статора 1 имеют длину 1,составляющую 0,2-0,25 от длины Ьротора 3, .а дополнительная коническая поверхность 9 имеет конусность10-30Насос работает следующим образом.После создания в полости насосапредварительного разрежения ротор 3приводится во вращение, Молекулы откачиваемого газа со стороны всасывания попадают в спиральные пазы 8ротора 3 и увлекаются в сторону дополнительной...

Номер патента: 1566087

Опубликовано: 23.05.1990

Авторы: Иванов, Христачев

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, молекулярный, насос

...между корпусом и крышкой 2 выполнено в виде закрепленной на корпусе 1 кольцевой емкости 8, заполненной легкоплавким металлом 9, и закрепленного на крышке 2 кольцевого полого герметизирующего элемента 10, расположенного в кольцевой емкости 8 и имеющего объем, определяемый соотношением Ч)М/р, где М - масса насоса без корпуса 1, р - плотность легкоплавкого металла 9 в жидком состоянии, причем статор 3 размещен в корпусе 1 с зазором и закреплен на крышке 2.Насос работает следующим образом.Крышка 2 с закрепленным на ней статором 3, установленные по оси статора 3 ротор 6 и магнитная подвеска 5, собранные в единый узел, располагаются в корпусе 1. При этом герметизирующий элемент 10 погружается в предварительно расплавленный металл 9,...

Номер патента: 1571306

Опубликовано: 15.06.1990

Авторы: Балимов, Выскуб, Жлукто, Кузнецов, Шугаев

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, насос, турбомолекулярный

...параллельных ступеней откачки,а подпятник 5 снабжен эластичной ман,жетой 7 и укрепленным в ней шариком8,с диаметральным отверстием 9, нижний конец гибкого стержня 4 расположен в отверстии 9.Насос работает следующим образом,При вращении ротора 2 откачиваемыйгаз, попадая в корпус 1 насоса изоткачиваемого объема, взаимодействует щс рабочими лопатками 3 и переноситсясо стороны всасывания на сторону нагнетания - в полость ротора 2, откуда удаляется форвакуумным насосом,В случае прорыва атмосферы на входнасоса радиальные силы, возникающиеот взаимодействия газа с атмосфернымдавлением с рабочими лопатками 3, несоздают равнодействующей силы наротор 2, поскольку лопатки 3 равномерно. расположены по окружности4центрального диска 6. На ротор 2...

Номер патента: 1573234

Опубликовано: 23.06.1990

Авторы: Гагарин, Жлукто, Харламов

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, двухступенчатый, насос, турбомолекулярный

...7, установленным по оси корпуса 1 на опорах 8, роторными лопаточными дисками 9, ответными статорным дискам 3 первой ступени, цилиндрическим участком 10, ответным статору 4 второй ступени, и торцовым участком 11, на котором выполнены спиральные канавки 12. Кроме того, на корпусе 1 между ступенями расположен дополнительный патрубок 13, а внешний диаметр цилиндрического участка 10 ротора 6 равен внешнему диаметру лопаток роторных дисков 9.Насос работает следующим образом.Газ из откачиваемого объема поступает в корпус 1 через входной патрубок 2, откуда, взаимодействуя с лопатками роторных и статорных дисков 9 и 3, переносится в зону торцового участка 11 с канавками 12. По канавкам 12 газ переносится к наружному диаметру цилиндрического...

Номер патента: 1573235

Опубликовано: 23.06.1990

Авторы: Гарбуз, Заозерский, Иванов, Юрченко

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, насос, турбомолекулярный

...,;Я 1, Я 2 - соответственно минимальный и максимальный радиусы проточной части внешнего ротора 4;Ь - радиальный зазор между соседнимиобечайками 7 и 8.Насос работает следующим образом.Внешний и внутренний роторы 4 и 5 приводятся во вращение в противоположных направлениях. Газ, поступающий из откачиваемого объема, взаимодействует с роторами 4 и 5, направляется от периферии к центру насоса и далее удаляется из корпуса 1 внешним форвакуумным насосом. Область высокого вакуума отделяется от области фор,вакуума динамическим уплотнением в виде обечаек 7 и 8,Наличие на обечайках 7, являющихся11 еподвижными, винтовых каналов 9 позволяет создать на месте динамического уплотнения практически молекулярную ступень насоса, которая помимо...

Номер патента: 1576730

Опубликовано: 07.07.1990

Авторы: Жлукто, Кузнецов, Шугаев

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, насос, турбомолекулярный

...дисков и оасположенного между , ними роторного диска 5, закрепленного на валу 2. Статорные диски 3 и 4 выполнены из магнитного материала и снабжены спиральными пазами 6 переменного сечения на поверхностях, обращенных к роторному дис ку 5, причем один из статорных дисков 3 или 4 снабжен статорной обмоткой 7 электро двигателя, а роторный диск 5 выполнен из немагнитного материала. Вал 2 ротора снабжен сепараторным диском 8, размещенным над верхним статорным диском 3, который снабжен пазами 9 переменного сечения на , поверхности, обращенной к сепараторномудиску 8, и на корпусе 1 в зоне периферии сепараторного диска 8 выполнен кольцевой карман 10.Насос работает следующим образом.Насос подсоединяется к откачиваемому объему. Внешним...

Номер патента: 1590670

Опубликовано: 07.09.1990

Авторы: Мелюхов, Митрофанов, Стариков

МПК: F04D 19/04

Метки: насос, турбомолекулярный

...насос содержит вертикальный корпус 1 со статорными дисками 2 и верхним 3 и нижним 4 подшипниковыми узлами, установленный по оси корпуса 1 на опорах 5 и 6 подшипниковых узлов 3 и 4 вал 7 и закрепленный на нем полый ротор 8 с роторными дисками 9, образующими со статорными дисками 2 проточную часть. Верхний подшипниковый узел 3 расположен над ротором 8 и снабжен .газодинамическим уплотнением 10, отделяющим полость подшипникового узла 3 от проточной части, а в роторе 8 выполнены каналы 11, сообщающие полость верхнего подшипникового узла 3 с проточной частью,Насос работает следующим образом.При вращении вала 7 и соответственно ротора 8 молекулы откачиваемого газа, взаимодействуя со статорными 2 и роторными 9 дисками проточной части,...

Номер патента: 1590671

Опубликовано: 07.09.1990

Автор: Бахтерев

МПК: F04D 19/04

Метки: вертикальный, насос, турбомолекулярный

...состоронь всасывания .на сторону нагнетания. На подпятник 3 в рабочем режиме действует сила, обусловленная разностьюмежду силой веса ротора, направленнойвниз, и силой притяжения узла 4 магнитнойразгрузки, направленной вверх. При этомсила притяжения, зависит от расстояниямежду ротором 2 и узлом 4 магнитной разгрузки, причем чем меньше это расстояние,тем больше сила притяжения и соответственно меньше сила давления на подпятник3. В случае аварийного прорыва атмосферысо стороны нагнетания возможен подъем ротора 2 разностью давлений между нагнетанием и всасыванием, т.е. сила притяжения может превысить силу веса, В этом случае при устранении аварийных условий 5 ротор 2 не может вернуться на подпятник 3,и насос приходит в...

Номер патента: 1459352

Опубликовано: 15.09.1990

Авторы: Вихрев, Сергеев, Шаршин, Шолохов

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, насос, турбомолекулярный

...заходов, чем первое, в торцовые поверхностистатора 2 и ротора 5 нв входе н молекулярную ступень 7 выполнены коническими с образованием входного кольцевого канала сужающегося в сторону нагнетания, Насос также снабжен до" полнительным :.газодинамическим уплотнением 12 в ниде выполненных нв торцовой поверхности подшипниконого узла 3, обращенной к торцовой поверхности ротора 5, канавок 13, образо"ванных дугами окружностей с центрами,расположенными на общей центральнойокружности,Насос работает следующим образом, После созданйя н полости корпуса 20 1 предварительного разрежения илннрн наличии со стороны нсвсынання насоса закрытого вакуумного затвора нвл 4 приводится но вращениеМолекулы отквчинаемого газа 1 нзаимодей" стнуя с вращающимися...

Номер патента: 1282635

Опубликовано: 07.10.1990

Авторы: Вихрев, Демихов, Сергеев, Шаршин, Шолохов

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, молекулярный, насос

...ка1282 Г)35 Составитель В. Техред Н.Глуще ковк Решетник С. Кула Коррект едакт з 4360 Тираж 500ВНИИПИ Государственцог по делам изобретений 035, Москва, Ж, Рауодписно итета СССРкрытийцаб., д. 4/5 и иск роизводственцо-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул, Преьтцая Изобретение относится к областивакуумной техники, а имеццо к коцструкциям молекулярных вакуумных насосов,Целью изобретения является улучщение откачных характеристик насоса.Ба фиг.представлен,предлагаемый насос, продольный разрез; цафиг2 - ротор, общий вид.Молекулярный вакуумный насос содержит корпус. и установленный поего оси цилиндрический ротор 2 с винтовыми каналами 3 и радиальными про-,точками 4, расположенными с переменным шагом и имеющими переменную глу- .5бину,...

Номер патента: 1599586

Опубликовано: 15.10.1990

Авторы: Бойцов, Гранкин, Иванов, Тесленко, Хохлов, Юрченко

МПК: F04D 19/04

Метки: насос, турбомолекулярный

...по оси корпуса 1 на опорах вал 2 ротора 3, связанный с приводом газовой турбины в виде турбинного колеса 4. Корпус 1 снабжен магнито роницаемой втулкой 5, охватывающей с зазором участок 6 вала 2 ротора 3, Ротор 3 снабжен магнитной подвеской 7, а турбйнное колесо 4 выполнено охватывающим магнитопроводную втулку 5 и снабжено радиальными и осевыми газовыми опорами 8, 9 и 10 и магнитной вставкой 11, образующей с участком б вала 2 ротора 3 радиальный магнитный 25 подшипник и магнитную муфту. Корпус 1 насоса снабжен входным и выходным патрубкамч 12 и 13,Насос работает следующим образом.В газовые опоры 8, 9 и 10 турбинного колеса 4 подается избыточное давление воздуха, что обеспечивает стабилизацию положения колеса 4, соответственно, магнитной...

Номер патента: 1351299

Опубликовано: 15.11.1990

Авторы: Вихрев, Сергеев, Шаршин, Шолохов

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, молекулярный, насос

...причем на коническом 25 участке ротора выполнены спиральные пазы 6, а участок со спиральными пазами 2 статора 1 имеет дополнительную коническую поверхность 7, сужающуюся по ходу газа. ЗОГотор 3 и статор 1 снабжены зк видистантными цилиндрическими участкамн 8 и 9. Зквндистантные участки ротора 3 и статора 1 имеют длину,сос- . тавляющую 0,20-0,25 от длины ротора, а дополнительная коническая поверхность 7 имеет конусность 10-30 ф. В роторе 3 выполнены сквозные прямолинейные каналы .10, каждый из которых расположен нормально к линии симметрии спирального паза 6 ротора 3 и под углом к его торцовой поверхности, равным углу наклона спиральны:; пазов 6Насос работает следующим образом.После создания в полости насоса предварительного...

Номер патента: 1613694

Опубликовано: 15.12.1990

Автор: Иванов

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, молекулярный, насос

...насосов.Цель изобретения - улучшение откачных характеристик насоса.На фиг. 1 представлена схема насоса; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1.Вакуумный молекулярный насос содержит корпус 1 и расположенные в нем статорные диски 2 с перегородками 3, образующими спиральные пазы 4, и роторные дис. к 5. Насос дополнительно содержит ультразруковой генератор 6 переменного напряженя, а перегородки 3 статорных дисков со стороны, обращенной навстречу направлен 11 ю вращения роторных дисков 5, снабжены пьезоэлектрическими пластинап 4 и 7, элект ически соединенными с гене)затором 6.оверхности пластин 7 снабжены серебрянь 1 м покрытием. Насос работает следующим образом.Откачиваемый газ, попадающий в полость корпуса 1, поступает к спиральным пазам 4...

Номер патента: 1629616

Опубликовано: 23.02.1991

Автор: Бахтерев

МПК: F04D 19/04

Метки: вала, вертикального, магнитной, насоса, опора, осевая, подвеской, ротора, турбомолекулярного

...Е. Папп Заказ 425 Тираж 358 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 45 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101 Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов,Цель изобретения - повышение надежности и долговечности.На чертеже представлена осевая опора вала, продольный разрез.Осевая опора вертикального вала турбомолекулярного насоса с магнитной подвеской ротора содержит размещенные в масляной ванне 1 подпятник 2 и пяту 3 со сферическими сопрягаемыми поверхностями, причем подпятник 2 имеет осевой канал 4, сообщающийся с масляной ванной 1, а в пяте 3 выполнено осевое...

Номер патента: 1629617

Опубликовано: 23.02.1991

Авторы: Басова, Демихов, Мешков

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, насос, турбомолекулярный

...вакуумный насос содержит корпус 1 с входным и выходным патрубками 2 и 3 и статорными колесами 4 и установленный по оси корпуса 1 вал 5, один конец которого снабжен роторными колесами 6, а другой выполнен в виде хвостовика 7. Насос снабжен дополнительными роторными колесами 8, закрепленными на хвостовике 7 вала 5, и охватывающим хвостовик 7 кожухом 9 с дополнительными входным и выходным патрубками 10 и 11 и статорными колесами 12. В случае использования насоса в составе агрегата он снабжен соединительными магистралями 13 и 14, сообщающими попарно входные 2 и 10 и выходные 11 и 3 патрубки, причем входные патрубки 2 и 10 подключены через запорную арматуру к двум самостоятельным объемам Ч 1 и Ч 2.Насос работает следующим...

Номер патента: 1649121

Опубликовано: 15.05.1991

Авторы: Иванов, Христачев

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, молекулярный, насос

...1 на внутренней поверхности при помощи биметаллических сильфонов (С) 8 закреплены статорные диски (Д) 4 с односторонними рабочими пазами 5, На выпуклой стороне каждого гофра С 8 расположен металл с большим коэффициентом термического расширения, чем на вогнутой стороне С 8. При прог 1 евЕ насоса увеличивается зазор между Д 4 и ротором 7. Перемещение Д 4 ограничено посредством ограничителей 6. 2 ил,Насос работает следующим образом, Откачиваемый газ через всасывающий патрубок 2 поступает в корпус 1, где, взаимодействуя с быстровращающимися ротором 7 и рабочими пазами 5 статорных дисков 4, переносится в сторону нагнетательного патрубка 3. При прогреве насоса и разгоне при этом ротора 7 до скорости меньше критической сильфоны 8 разжимаются,...

Номер патента: 1657757

Опубликовано: 23.06.1991

Авторы: Вихрев, Новиков, Шолохов

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумного, насоса, ротор, турбомолекулярного

...конструкции.На фиг.1 представлен ротор, общий вид; на фиг.2 - частичные сечения А-А, Б-Б, В-В и Г-Г на фиг,1.Ротор турбомолекулярного вакуумного насоса содержит роторные диски 1 с лопатками 2, имеющими длину, уменьшающуюся в направлении откачки, и образующими межлопаточные каналы 3, наклонные к торцам дисков 1. Последние выполнены переменной толщины, увеличивающейся в направлении откачки, а межлопаточные каналы 3 каждого диска 1 расположены к его радиусу под углом 3, изменяющимся от диска к диску в направлении откачки. Кроме того, диски 1 выполнены за одно целое, а межлопаточные каналы 3 всех дисков 1 расположены по общим прямым линиям.Переменный угол ф наклона межлопаточных каналов 3 для соседних дисков 1 обеспечивает в процессе...

Номер патента: 1689664

Опубликовано: 07.11.1991

Автор: Сидяков

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, молекулярный, насос

...- глубина пазов дисков молекулярныхупготнений;п 1 - высота спиральных перегородокстаторных элементов;п 2 - число заходов пазов дисков молекулярных уплотнений;п 1 - число заходов спиральных каналовстаторных элементов,Насос работает следующим образом,Газ из откачиваемого объема попадаетв полость корпуса 1 через входной патрубок2. Его молекулы, взаимодействуя с движущимися поверхностями роторньх дисков 5,получают дополнительный импульс в направлении движения дисков 5. Попадая всквозные спиральные каналы 9 статооныхэлементов, молекуль газа перемещаютсяпреимущественно в сторону нагнетания насоса, причем переход молекул из Одной в 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 другую ступень проточной части осуществляется через отверстия 10, С целью...

Номер патента: 1691560

Опубликовано: 15.11.1991

Авторы: Басова, Демихов

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, молекулярный, насос

...и установленныйпо оси статора 1 цилиндрический ротор 2,Рабочие каналы статора 1 выполнены в видеотдельных участков 3 кольцевых пазов, по 15следовательно соединенных между собоРпри помощи канавок 4, выполненных навнутренней поверхности статора 1 параллельно его оси.Насос работает следующим образом. 20Газ из откачиваемого объема попадаетв зазор между статором 1 и ротором 2, атакже в канавки 4. При соударении молекулоткачиваемого газа с поверхностью быстровращающегося ротора 2 они получают дополнительный импульс в направлении откачки, т,е. в сторону следующей канавки, сообщающей между собой два отдельных участка 3 кольцевых пазов одного и того же рабочего канала. Переходя от одного участка 3 к другому, молекулы перемещаются на сторону...

Номер патента: 1707257

Опубликовано: 23.01.1992

Авторы: Гагарин, Жлукто, Кургуз

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, двухступенчатый, насос, турбомолекулярный

...1, откуда роторными лопатками 9 переносится ко второй (молекулярной) ступени. Молекулы попадают на поверхность торцового участка 11 цилиндра ротора второй ступени, отразившись от нее попадают на внутреннюю поверхность 12 входной части "тэтора второй ступени и отразившись от нее попадаот во вторую (молекулярную) ступень откачки, далее, ударяясь о цилинд.рическую поверхность вращающегося цилиндра ротора 6, молекулы получают дополнительный импульс в сторону вращения и, двигаясь одновременно по касательной к ней и по радиусу, тем самым переносятся к выходу из насоса. Внешний диаметр цилиндрического участка ротора 10 больше внешнего диаметра лопаток рсторных дисков 9, что обеспечивает расположение входа статора 4 второй ступени в зоне...

Номер патента: 1770611

Опубликовано: 23.10.1992

Автор: Сергеев

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумного, диск, насоса, статорный, турбомолекулярного

...к плоскости диска и образующими пазы 2. Соединительное кольцо расположено на периферии лопаток 1 и выполнено составным из двух полуцилиндрических частей 3 и 4, а лопатки 1 расположены с частичным перекрытием друг друга, причем каждая лопатка 1 имеет постоянную ширину и в корневой зоне снабжена плоским участком 5, расположенным в плоскости диска.Способ изготовления статорного диска турбомолекулярного насоса осуществляется следующим образом,На полуцилиндрической заготовке выполняются прорези по образующей цилиндра с образованием лопаток, причем прорези имеют наклон к радиусу полуцилиндра. Затем осуществляют закрутку лопаток, после закрутки лопатки отгибают под прямым углом к части 3 соединительногоЯ 4 аобу)ЦЯО кольца, что приводит при...

Номер патента: 1770612

Опубликовано: 23.10.1992

Авторы: Вихрев, Сергеев, Шолохов

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, насос, турбомолекулярный

...5На чертеже представлен продольныйразрез насоса,Турбомолекулярный; вакуумный насоссодержит корпуо 1 со статором 2 и установленный по оси корпуса 1 на газовых опорах 103 ратор 4 с турбомолекулярной и молекулярной ступенями 5 й.бебраэующими проточную часть, Корпус 1 снабжен по меньшеймере двумя каналами 7, каждый из которыхс одной стороны при помощи клапана 8 сообщен с источником 9 газа или атмосферой,а с другой стороны - с проточной частьюмежду турбомолекулярной и молекулярнойступейями 5 и б.Насос работает следующим образом. 20При понижении давления в пневмосистеме, обеспечивающей нормальную работу газовых опор 3 насоса, ниже допустимогоуровня происходит включение в работу аварийной системы, включающей автономный 25источник 9...

Номер патента: 1781463

Опубликовано: 15.12.1992

Авторы: Заозерский, Иванов, Христачев, Юрченко

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, молекулярный, насос

...разделяющей откачные канавки,Проиллюстрируем приближенную теорию на простейшем примере цилиндрического молекулярного насоса с откачными канавками постоянной ширины а и глубины Ь и с близкой к оптимальной квадратной 20 формой поперечного сечения а = Ь, фиг,5, 25 развернуто,На этой фигуре общепринятые изобарические поперечные сечения откачных канавок изабразятся отрезками прямых а,Предположим, что изобарические поверхности над перегородками имеют вид кусочков плоскостей, сопряженных со смежными поперечньцли сечениями одинаковых давлений. Эти поверхности на фиг,5 изобразятся отрезками прямых а 1. В дальнейшем для краткости изобарические поверхности будЕт называть изобарами а, а 1.Описание работы насоса проведем в общепринятом...

Номер патента: 1800125

Опубликовано: 07.03.1993

Автор: Яхницкий

МПК: F04D 19/04

Метки: лабиринтный, насос, турбомолекулярный

...получивших тангенциальную скорость, но не захваченных радиальными лопатками двигаются от центра к периферии, попадают в лопаточный ап 1800125парат сепаратора и отражаются преимущественно в направлении к радиальнымлопаткам и к входу в спиральные канавки. Дальнейшее повышение давления происходит в лабиринтных канавках статора 1 и 5 ротора 2. Сжатый газ через отверстие 10 выбрасывается в атмосферу.Выполнение ротора насоса с торцевыми лопатками образующими острый угол с вектором направления вращения позволяет 10 уменьшить срывы потока газа и уменьшить обратные потоки молекул, чем достигается большая эффективность работы входной части насоса по сравнению с прототипом. Кро-, ме того, при одинаковых диаметрах ротора 15 предлагаемый...

Номер патента: 1807242

Опубликовано: 07.04.1993

Авторы: Алин, Малышев

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, насос, турбомолекулярный

...направления. Сопряженные поверхности ротора и статора промежуточной ступени выполнены ступенчатыми. Малый ротор установлен на валу. Выходная ступень образована спиральными пазами внутренней поверхности выступа статора и спиральными пазами, выполненными на поверхности малого ротора, обращенной к выступу статора, встречного направления. 2 ил. ности малого ротора 11, обращенной к выступу 10 статора 5 встречного направления.Насос работает следующим образом.Молекулы газа из откачиваемого объема, соударяясь с лопатками 2 вращающегося ротора 4, приобретают импульс в направлении откачки и поступают в промежуточную ступень 6, где происходит дополнительное сжатие откачиваемого газа, а затем его откачка в выходную ступень 7.Благодаря...