Турбомолекулярный вакуумный насос

ЛО 1459352 А 1 51)5 Р ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ О ИЗОБРЕТЕНИЯМ И 0 НРЫЩЯ ПРИ ГКНТ СССРПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ АВ ЮРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ л, ВЗ29 ВАКУУМНЫЙ(57) Изобретение и откачнце характери лярного насоса, На ности вертикалльног ложен комбинирован 8(56) Патент Фракл. Г 04 0 19/О В,В.Шолохов,Шаршин88.8)ии р 2224009,опублик, 1978. зволяет улучвить тики турбомолекувнутренней поверх- корпуса 1 распоный статор 2. В145 корпусе 1 размещена роторная группа выполненная в виде подшипникового узла 3 с азростатическими опорами, Иа верхнем торце вала 4 закреплен комбинированный колоколообразный ротор 5. Ротор 5 охватывает узел 3 и образует со.статором.2 турбомолекулярнув и молекулярную стфпани 6, 7, Роторная группа снабжена цилиндричес ими газадинамическими уплотнениями (У) 8, 9. У 8 расположено в верхней части вала 4 и выполнено в виде многозаходнцх винтовых канавок на пот верхности вала 4. У 9 выполнено в виде многозаходных винтовых канавок на поверхности ротора 5. Канавки вц 9352полнены с глубиной, уменьшаацейсяв сторону нагнетания, У 9 имеетбольшее число заходов канавок, чемУ 8, Торцовые поверхности статорв 2и ротора 5 на входе в ступень ) вы"полнены коническими с образованиемвходного кольцевого канала, сужающегося в сторону нагнетания, У 12 выполнено на торцовой поверхности узла 3, обращенной к торцовой поверхности ротора 5 э виде канавок. У 8,,9, 12, кроме удаления отквчиввемогогаза, предотвращают обратное проникновение газа нэ вэроствтическихопор. 3 з.п, ф-лы, 3 ил, 1Изобретение относится к вакуумнойтехнике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов.Цель изобретения " улучшение откачных характеристик насоса.На Фиг.1 представлен насос, продольный разрез; нв Фиг;2 " гвэодннамические .уплотнения роторной группьцна фиг,3 - торцовое гвэодинамическоеуплотнение,Турбомолекулярный вакуумный насоссодержит вертикальный корпус 1, расположенный на его внутренней поверхности комбинированный ствтор 2 и размещенную в корпусе 1 роторную группу,выполненную в виде подвипниковогоузла 3 с азростатическими опорами,установленного по оси подшилинковогоузла 3 вала 4 и закрепленного нвверхнем торце вала 4 комбинированногоколоколообразного ротора 5, охватывающего подшипниковый узел 3 и обраэуюцего со ствтором 2 турбомолекулярную и молекулярную ступени 6 .и 7, иснабженную двумя цилиндрическими га.зодинамическими уплотнениями 8 и 9,первое из которых расположено в верхней части вала 4 ротора. 5 и выполнено в виде многоэаходных винтовых канавок 10 на поверхности валю 4, авторое - в виде мнагозаходных винтовых канавок 11 на поверхности ротора1, обращенной к поверхности подшипникового узла 3. Канавки 10 и 11 выпол 10 2Мены с глубиной, уменьшающейся н сторону нагнетания, причем второе уплотнение 9 имеет большее число заходов, чем первое, в торцовые поверхностистатора 2 и ротора 5 нв входе н молекулярную ступень 7 выполнены коническими с образованием входного кольцевого канала сужающегося в сторону нагнетания, Насос также снабжен до" полнительным :.газодинамическим уплотнением 12 в ниде выполненных нв торцовой поверхности подшипниконого узла 3, обращенной к торцовой поверхности ротора 5, канавок 13, образо"ванных дугами окружностей с центрами,расположенными на общей центральнойокружности,Насос работает следующим образом, После созданйя н полости корпуса 20 1 предварительного разрежения илннрн наличии со стороны нсвсынання насоса закрытого вакуумного затвора нвл 4 приводится но вращениеМолекулы отквчинаемого газа 1 нзаимодей" стнуя с вращающимися дисками турбомо" лекулярной ступени 6, переносятся в сторону молекулярной ступени 7,Благодаря конической конфигурацию,входного канала молекулярной ступени 30 7 молекулы отражаясь от коническихповерхностей, преимущественно попадают но входное сечение молекулярнойступени 7, что поньппает скоростныехарактеристики насоса. Выходя нз/молекулярной ступени 7, молекулы откачиваются последовательно газодинамическими уплотнениями 8, 9 и 12 в атмосферу. Гаводинамические уплотнения 8, 9 и 12, кроме удаления отка" чиваемого газа из насоса, предотвращают обратное проникновение в насос газа из аэростатических опор.Таким образом, описанная конструк О ция турбомолекулярного насоса позволяет улучшить его откачные характеристики при нагнетании откачиваемого газа непосредственно в, атмосферу,1формула изобретения Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий вертикальный кор" пус, расположенный на его внутренней поверхности комбинированный статор и размещенную в корпусе роторную группу, выполненную в виде подшипникового уэлв с аэростатическими опорами, установленного по оси подшипни нового узла вала и закрепленного на верхнем торце вала комбинированного колоколообразного ротора, охватывающего подшипниковый узел и образующего со статором турбомолекуллрную и моле- Э кулярную ступени, и . снабженную двумя цилиндрическими газодннамическими уплотнениями, первое из которых рас" положено в верхней части вала ротора,о т л и ч а ю.щ и й с я тем, что,с целью улучшения откачных характеристик, первое, гаэодинамическое уплотнение выполнено в виде многозаходных винтовых канавок на поверхностивала, а второе - в виде многозаходныхвинтовых канавок на поверхности ротора, обращенной к поверхности подшипникового узла. 2. Насос по п,1, о т л и ч а ющ. и й с я тем, что канавки газодинамических уплотнений выполнены сглубиной, уменьшающейся в сторонунагнетания., причем второе уплотнениеимеет большее число заходов канавой,чем первое.3. Насос по п.1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что торцовые поверхности статора и ротора на входе вмолекулярную ступень выполнены коническими с образованием входного кольцевого канала, сужающегося в сторонунагнетания,4. Насос по п.1, о т л и ч а ю - .щ и й с я тем, что он снабжен дополнительным газодинамическим уплотненнием в виде выполненных на торцовойповерхности подшипникового узла, обращенной к торцовбй поверхности ротора, канавок, образованных дугамиокружностей с центрами, расположен"ными на общей центральной окружности.1459352 Составитель В;Крйковкинтор Г,Иоэжечкова Техред А.Кравчук Корректор Л,Патей ул. Гагар Проиэеодственно-иэдателъский комбинат "Патент", г. УаЗаказ 3326 1- Тираж 499 ПодписноеВВИИПИ Государственного комитета по иэобретеииям и открытиям при ГВЯ113035, Москва, Ж, Рауаская наб., д, 4/5