Турбомолекулярный вакуумный насос

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 801576730 51)5 Р 04 0 19/04 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ступень, ков (СД выполнен СД 3 и териала, ной обмо че перем начинает де в моле раторный падание ступень, собирают ненном н КУУ уум ной ж ность стороне лярная ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАНЫЙ НАСОС(57) Изобретение относится к ватехнике и позволяет повысить нади уменьшить габариты насоса. Нанагнетания насоса размещена молек выполненная в виде статорных дис- ) 3 и 4 и роторного диска (РД) 5, ного из немагнитного материала.4 выполнены из магнитного маи один из них снабжен статорткой 7 электродвигателя, при подаенного напряжения на которую ся вращение вала 2 ротора. На вхокулярную ступень установлен сепадиск 8, который предохраняет по- твердых частиц в молекулярную отбрасывая их к периферии, где они ся в кольцевом кармане 10, выпола корпусе 1. 1 з. п. ф-лы, 1 ил,1576730 Формула изобретения Составитель В. Кряковкин Редактор Н. Бобкова Текред А. Кравчук Корректор Т. Палий Заказ 1838 Тираж 500 Г 1 одписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытия;,. при"(1 Т СССР 1 3035, Москва, Ж - 35. Рву инская наб., д, 45 Производственно-издательский комбинат 11 атснтъ, г. Ужгород, мл. Гагарина, 10Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов.Цель изобретения - повышение надежности и уменьшение габаритов насоса,На чертеже представлен насос, продольный разрез.Турбомолекулярный вакуумный насос содержит вертикальный корпус 1, установленный по оси корпуса 1 вал 2 ротора и размещенную на стороне нагнетания молеку, лярную ступень, выполненную в виде закреп( ленных на корпусе 1 верхнего 3 и нижнего 4 , статорных дисков и оасположенного между , ними роторного диска 5, закрепленного на валу 2. Статорные диски 3 и 4 выполнены из магнитного материала и снабжены спиральными пазами 6 переменного сечения на поверхностях, обращенных к роторному дис ку 5, причем один из статорных дисков 3 или 4 снабжен статорной обмоткой 7 электро двигателя, а роторный диск 5 выполнен из немагнитного материала. Вал 2 ротора снабжен сепараторным диском 8, размещенным над верхним статорным диском 3, который снабжен пазами 9 переменного сечения на , поверхности, обращенной к сепараторномудиску 8, и на корпусе 1 в зоне периферии сепараторного диска 8 выполнен кольцевой карман 10.Насос работает следующим образом.Насос подсоединяется к откачиваемому объему. Внешним насосом в полости корпуса 1 создается предварительное разрежение и на статорную обмотку 7 электродвигателя подается напряжение. Вращающееся переменное магнитное поле обмотки 7, взаимодействуя с роторным диском 5, приводит во вращение вал 2 ротора насоса. Спиральные пары на статорных дисках обеспечивают высокую степень сжатия молекулярной ступени, Попадание в полость корпуса 1 твердых частиц, проникающих на сторону нагнетания, не ведет к их дальнейшему продвижению в сторону молекулярной ступени, имеющей очень малые зазоры, поскольку наличие сепараторного диска 8 приводит к отбрасыванию этих частиц к периферии диска 8, где они попадают в кольцевой карман 10.Таким образом повышается надежность насоса, а совмещение обмотки электродвигателя со статорным диском обеспечивает уменьшение габаритов. 1. Турбомолекулярный вакуумный насос,содержащий вертикальный корпус, установленный по оси корпуса вал ротор и размешенную на стороне нагнетания молекулярную ступень, выполненную в виде закрепленных на корпусе верхнего и нижнего статорных дисков и расположенного между ними ооторного диска, закрепленного на валу, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности и уменьшения габаритов, статорные диски выполнены из магнитного материала и снабжены спиральными пазами переменного сечения на поверхностях, обращенных к роторному диску, причем один из статорных дисков снабжен статорной обмоткой электродвигателя, а роторный диск выполнен Зо из немагнитного материала,2. Насос по п. 1, отличающийся тем, чтовал ротора снабжен сепараторным диском, размещенным над верхним статорным диском, а последний - пазами переменнсго сечения на поверхности, обращенной к сепа- ЗБ раторному диску, и на корпусе в зоне периферии сепараторного диска выполнен кольцевой карман.