Вакуумный молекулярный насос
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1562532
Авторы: Заозерский, Иванов, Юрченко
Текст
ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ нст рневен евско СС 98 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(71) Научно-исследовательскийтут прикладной математики и ктики при Горьковском государсном университете им. Н.И.Лобаго(57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшитьоткачные характеристики насоса.Статорный диск (Д) 4, расположенный состороны нагнетания насоса, закрепленна статоре 2 при помощи мембраны 7,что позволяет изменять его положениес целью поддержания постоянного зазора между Д 4 и роторным диском 6при помощи приводов (П) 8 в количестве не менее трех, равномерно расположенных по окружности Д 4, и датчиков 9 величины зазора, связанныхс П 8 по принципу отрицательной обратной связи. 2 ил.,молекулярных насосов.Цель изобретения - улучшение от 5качных характеристик насоса,На Фиг,1 представлена схема насоса; на фиг.2 - узел 1 на фиг,1,Вакуумный молекулярный насос содержит корпус 1 с размещенным в немстатором 2, снабженным статорнымидисками 3 и 4, и установленный на.оси корпуса 1 ротор 5 с роторнымиисками 6. Статорный диск 4, распо;поженный со стороны нагнетания, закреплен на статоре 2 при помощи мембраны 7 и снабжен по меньшей мере1 ремя приводами 8 аксиального перемещения, равномерно расположеннымипо окружности диска 4, а каждый привод 8 снабжен датчиком 9 величинызазора между статорным и смежным сим роторным дисками 4 и 6, причемдатчик 9 соединен с приводом 8 поринципу отрицательной обратной связи. Кроме того, насос содержит магнитный подвес 10 для поддержанияотора 5 в рабочем положении и приведения его во вращение.Насос работает следующим образом.Откачиваемый газ, попадая в полостькорпуса 1, взаимодействует с быстровращающимися поверхностями роторныхдисков 6 и спиральными пазами статорйых дисков 3 и 4 и переносится наСторону нагнетания и далее удаляетсяЙз корпуса 1, например, внешним Форйакуумным насосом. В процессе работыНасоса иэ-за колебаний ротора 5 тем.пературных деФормаций, а также особенностей предварительной установкиНасоса на откачиваемом объеме, возможно изменение величины зазора между статорными и роторными дисками3 4 и 6, причем наиболее негативный9 . 45характер зто изменение носит на выходе насоса, где давление откачиваемого газа наиболее высокоИзменение и неравномерность зазора приводят к снижению степени сжатия насоса в целом, а также к возникновению обратных перетечек газа со стороны нагнетания на сторону всасывания.Величина зазора между статорным диском 4 и роторным диском 6 автоматически поддерживается постоянной. Приводы, 8 позволяют изменить положение статорного диска 4 в пространстве, причем наличие их в количестве не менее трех и равномерное распределение по окружности диска 4 дает возможность регулировать положение диска 4 не только при линейных, но и угловых изменениях зазора,Воэможностью изменения положения статорного диска 4 обеспечивается мембраной 7. При увеличении зазора датчик 9 подает сигнал на привод 8, который своим перемещением уменьшает величину зазора. Таким образом, зазор поддерживается постоянным, что обеспечивает улучшение откачных характеристик насоса.1Формула изобретения Вакуумный молекулярный насос, содержащий корпус с размещенным в нем статором, снабженным статорными дисками и установленный на оси корпуса ротор с роторными дисками, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, статорный диск, расположенный со стороны нагнетания, закреплен на статоре при помощи мембраны и снабжен по меньшей мере тремя приводами аксиального перемещения, равномерно расположенными по окружности диска, а каждый привод снабжен датчиком величины зазора между статорным и сменным с ним роторным дисками, причем датчик соединен с приводом по принципу отрицательной обратной связи.Тираж 496 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5
СмотретьЗаявка
4463644, 19.07.1988
НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНОЙ МАТЕМАТИКИ И КИБЕРНЕТИКИ ПРИ ГОРЬКОВСКОМ ГОСУДАРСТВЕННОМ УНИВЕРСИТЕТЕ ИМ. Н. И. ЛОБАЧЕВСКОГО
ЗАОЗЕРСКИЙ ЮРИЙ ПЕТРОВИЧ, ИВАНОВ ВАДИМ ПАВЛОВИЧ, ЮРЧЕНКО ПЕТР ИВАНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: F04D 19/04
Метки: вакуумный, молекулярный, насос
Опубликовано: 07.05.1990
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1562532-vakuumnyjj-molekulyarnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Вакуумный молекулярный насос</a>
Предыдущий патент: Динамический насос
Следующий патент: Выходное устройство бытового вентилятора
Случайный патент: Способ определения спекаемости углей и угольных шихт