Молекулярный вакуумный насос

(ю)5 Р 04 О 19/О ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЪТИПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ВТОРСКОМ ИДЕТЕЛЬСТВУ конструктив- насосов для уума с ротополе. - В сб. , Технология НИИ "Румб",НЫЙ НАСОС акуумной тех ачные харак(56) Сидяков Д,ф. О некоторыхных решениях по созданиюполучения сверхвысокого вакром, вывешенным в магнитномВопросы кораблестроения. Семорского приборостроения. Ц1974, вып,2 (129), с. 26.(57) Изобретение относится к внике и позволяет улучшить отк теристики насоса. В корпусе (К) 1 с входным и выходным патрубками 2 и 3 размещены закрепленные на внутренней поверхности К 1 статорные элементы (СЭ) и диски (ДМ) 6 молекулярных уплотнений. СЭ выполнены в виде многоэаходных спиральных перегородок 8, образующих спиральные каналы 9, Ротор 4 снабжен роторными дисками (РД) 5, ДМ 6 имеют на поверхностях спиральные пазы (СП) 7, а РД 5, примыкающие к ДМ 6, отверстия 10 в корневой зоне. СП 7 снабжены перемычками 11 со стороны всасывания, предотвращающими обратные перетечки через зазоры. 2 з.п, ф-лы,ил.Изобретение относигся к вакуумной технике, а именно к конструкциям молекулярных вакуумых насосов,Цель изобретения - улучшение откачных характеристик насоса,На фиг. 1 представленасос, продольный разрез; на фиг. 2 - роторный диск и диск молекуляоного упготнения, общий вид; на фиг. 3 - роторный диск и статорный элемент, общий вид.Молекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с входным 2 и выходным 3 патрубками и закрепленными на внутренней поверхности корпуса 1 статорными элементами. По оси корпуса 1 установлен ротор 4 с рсторными дисками 5, образующими со статорными элементами проточную часть, разделенную на ступени при помощи молекулярных уплотнениО., выполненных в виде закрепленных на внутренней поверхности корпуса 1 дисков 6 с многозаходными спиральными пазами 7 на поверхностях, обращенных к роторным дискам 5, Статорные элементы выполнены в виде спиральных перегородок 8, образующих многозаходные сквозные спиральные каналы 9, роторные диски 5, примыкагощие к дискам 6 молекулярных уплотнений, имеют в корневой зоне отверстия 10, а направления спиральных пазов 7 дисков 6 молекулярных уплотнений и спиральных каналов 9 статорных элементов, обращенньх к одному диску 5, совпадают, причем спиральнье пазы 7 со стороны всасывания снабжены перемычками 11, Число заходов спирагьных пазов 7 не превышает числа захоов спиральных каналоч 9, а глубину пазов 7 определяют из выраже- ния л 2п 2 6 - ,пгде п 2 - глубина пазов дисков молекулярныхупготнений;п 1 - высота спиральных перегородокстаторных элементов;п 2 - число заходов пазов дисков молекулярных уплотнений;п 1 - число заходов спиральных каналовстаторных элементов,Насос работает следующим образом,Газ из откачиваемого объема попадаетв полость корпуса 1 через входной патрубок2. Его молекулы, взаимодействуя с движущимися поверхностями роторньх дисков 5,получают дополнительный импульс в направлении движения дисков 5. Попадая всквозные спиральные каналы 9 статооныхэлементов, молекуль газа перемещаютсяпреимущественно в сторону нагнетания насоса, причем переход молекул из Одной в 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 другую ступень проточной части осуществляется через отверстия 10, С целью предотвращения обрати ых перетечек откачиваемого газа со стороны нагнетания на стррону всасывания, т,е. из области относительно высоких давлений в область относительно низких давлений, в корпусе 1 имеются молекулярные уплотнения, причем спиральнье пазы 7 длсков 6 этих уплотнений, кроме создания газодинамического сопротивления перетечкам, снабжены также перемычками 11, перекрывающими пазы 7 со стороны всасывания, т,е. со стороны с более низким давлением, Перемычки 11 обеспечивают снижение обратных перетечек, чем достигается улучшение откачных характеристик насоса,Соотношение между числом заходов пазов и каналов, а также глубиной пазов и их числом и числом каналом позволяют минимизировать осевую протяженность секций проточной части насоса и тем самым при сохранении габаритов увеличить число рабочих секций, что также ведет к улучшению откачных характеристик насоса.Формула изобретения 1. Молекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с входным и выходным патрубками и закрепленными на его внутренней поверхности статорными элементами и установленный по оси корпуса ротор с роторными дисками, образующими со статорными элементами проточную часть, разделенную на ступени при помощи молекулярных уплотнений, выполненных в виде закрепленных на внутренней поверхности корпуса дисков с многозаходными спиральными пазами на поверхностях, обращенных к роторным дискам. причем статорные элементы выполнены в виде спиральных пеоегородок, образующих многозаходные сквозные спиральные каналы, роторные диски, примыкающие к дискам молекулярных уплотнений, имеют в корневой зоне отверстия, а направления спираль; ных пазов дисков молекулярных уплотнений и спиральных каналов статорных элементов, обращенных к одному роторному диску, совпадают, о т л и ч а ю щ ий с я тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, спиральные пазь дисков молекулярных уплотнений со стороны всасывания снабжены перемычками,2. Насос по п,1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что число заходов спиральных пазов дисков молекулярных уплотнений не превышает числа заходов спиральных каналов статорных элементов.3. Насос по п,1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что глубина .пазов дисков молекулярных уплотнений определяется из выраженияп 2 п 1 - ,п 2пгде п 2- глубина пазов дисков молекулярныхуплотнений; 1 п 1-высота. спиральных перегородостаторных элементов;п 2 - число заходов пазов дисков молекулярных уплотнений;5 п 1 - число заходов спиральных каналовстаторных элементов.