Турбомолекулярный вакуумный насос
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(5)5 Р 04 О ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕ турбомолекулярного на со статором 2 размеще ленный на газовых опо жит турбомолекулярн ступени (ТС) 5 и (М С) 6, ную часть(ПЧ), В К 1 в через которые в Пч м подается газ из источн рийного торможения Р трое торможение. 1 ил В.И.Вихрев сокого ваКУУМНЫЙ куумнои ежност О ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(57) Изобретение относитехнике и позволяет пов соса, В корпусе(К) 1 н ротор (Р) 4, установрах (0) 3. Р 4 содерую и молекулярную образующие проточыполнены каналы 7, ежду ТС 5 и МС 6 ика 9 в моменты ава 4, обеспечивая быс1770612 30 35 40 45 50 Составитель В. КряковкинРедактор О. Стенина Техред М.Моргентал Корректор Т. Палий Заказ 3725 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно - к конструкциямтурбомолекулярных насосов,Целью изобретения является повышение надежности. 5На чертеже представлен продольныйразрез насоса,Турбомолекулярный; вакуумный насоссодержит корпуо 1 со статором 2 и установленный по оси корпуса 1 на газовых опорах 103 ратор 4 с турбомолекулярной и молекулярной ступенями 5 й.бебраэующими проточную часть, Корпус 1 снабжен по меньшеймере двумя каналами 7, каждый из которыхс одной стороны при помощи клапана 8 сообщен с источником 9 газа или атмосферой,а с другой стороны - с проточной частьюмежду турбомолекулярной и молекулярнойступейями 5 и б.Насос работает следующим образом. 20При понижении давления в пневмосистеме, обеспечивающей нормальную работу газовых опор 3 насоса, ниже допустимогоуровня происходит включение в работу аварийной системы, включающей автономный 25источник 9 сжатого газа. Источник 9 газаобеспечивает нормальное функционирование газовых опор 3 на время, достаточное для торможения ротора 4. Интенсивное торможение ротора 4 обеспечивается напуском газа из источника 9 или из атмосферы через клапан 8 и канал 7 в проточную часть насоса между турбомолекулярной и молекулярной ступенями 5 и 6, Напуск газа обеспечивает возрастание аэродинамического сопротивления вращающемуся ротору 4, В результате возрастает надежность насоса вследствие гарантированной остановки ротора при минимальном запасе газа в аварийном источнике.Формула изобретения Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус со статором и установленный по оси корпуса на газовых опорах ротор с турбомолекулярной и молекулярной ступенями, образующими проточную часть, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения надежности, корпус снабжен по меньшей мере двумя каналами, каждый из которых с одной стороны при помощи клапана сообщен с источником газа или атмосферой, а с другой стороны - с проточной частью между турбомолекулярной и молекулярной ступенями.
СмотретьЗаявка
4683429, 25.04.1989
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-3474
СЕРГЕЕВ ВЛАДИМИР ПАВЛОВИЧ, ШОЛОХОВ ВАЛЕРИЙ БОРИСОВИЧ, ВИХРЕВ ВЛАДИМИР ИЛЬИЧ
МПК / Метки
МПК: F04D 19/04
Метки: вакуумный, насос, турбомолекулярный
Опубликовано: 23.10.1992
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1770612-turbomolekulyarnyjj-vakuumnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Турбомолекулярный вакуумный насос</a>
Предыдущий патент: Статорный диск турбомолекулярного вакуумного насоса и способ его изготовления
Следующий патент: Солнечный водоподъемник
Случайный патент: Формирователь импульсов