F04D 19/04 — для создания глубокого вакуума, например молекулярные вакуумные насосы

Номер патента: 530112

Опубликовано: 30.09.1976

Авторы: Бойцов, Иванов, Кульпин, Николаев, Юшин

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, насос, осевой, турбомолекулярный

...Указанная цель достигается тем, что привод вьптолцен в виде размещенного поб 1 ф "ф,Ф оси полости источника тепла, заключенного в обойму, закрепленную на стенке ротора и имеющую ребра, зачерненные со стороны, обращенной к источнику тепла.На фиг, 1 изображен предлагаемый насос, продольный разрез; на фиг. 2 - сечение по А-А на фиг. 1. Описываемый насос содержит корпус 1 и установленный в нем на магнитных подшипниках 2 полый ротор 3, снабженный приводом, выполненным в виде размещенного по оси полости ротора 3 источника тепла 4, заключенного в обойму 5, закрепленную на стенке ротооа 3 и имеющую ребра 6, зачерненные со стороны, обращенной к источнику тепла 4. Насос работает следующим образом.После создания в полости насоса...

Номер патента: 531928

Опубликовано: 15.10.1976

Авторы: Кузнецов, Леонов

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумного, насоса, турбомолекулярного, эксплуатации

...а закрывают после набора ротором числа оборотов, обеспечивающего надежный барьер от проникновения паров масла, а затем перед выключением привода ротора повторно открывают вентиль-натекатель и закрывают его после полной остановки ротора, отсечения магистрали форвакуумной откачки и напуска осушенного газа до давления 10 - 760 мм рт. ст, Для уменьшения времени полного торможения ротора напуск осушенного газа производят форсированно.Таким образом, осуществление оппсываемособа позволяет перед ой насоса создать в е тный поток сухого га ы масла из форвакуу кулярного насоса в ный насос. запуском или осо проточной части а, который увлеканой полости турработающий форго спо тановк вязкос ет пар бомоле вакууз Государственный комитет (23)...

Номер патента: 533757

Опубликовано: 30.10.1976

Авторы: Беляев, Тузанкин

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, насос, турбомолекулярный

...зазоры.На чертеже изображен насос, продольный разрез.Описываемый турбомолекулярный вакуумы ный насос содержит корпус 1 и расположенные в нем ротор 2 и охлаждаемый статор 3, заключенный в тонкостенный цилиндр 4, на наружной поверхности которого размещены трубки 5 для хладагента и нагревательные 15 элементы 6, при этом пространство междукорпусом 1 и цилиндром 4 заполнено сорбентом 7 и ограничено перфорированными перегородками 8, образующими с корпусом 1 зазоры.20 Насос работает следующим образом.Включаются нагревательные элементы 6, ипроисходит обезгаживание статора 3, цилиндра 4 и ротора 2. Одновременно регенерируется сорбент 7, После прогрева в трубки 5 25 подается хладагент (например жидкий азот),в результате чего цилиндр...

Номер патента: 542024

Опубликовано: 05.01.1977

Автор: Осанов

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, молекулярный, насос

...этом статор насоса20 имеет камеру для охлаждающей жидкости, например, жидкого азота. Молекулярный насос содержит ротор 1, укрепленный внутри статора 2Ротор 1 выполнен составным из полых цилиндров 3, наружная поверхность которых снабжена крупной прямоугольной резьбой 4, меняющей свое направлениена противоположное на каждом следующем цилиндре и соединенной в общий канал 5 отверстиями 6 и 7, распо ложенными в начале и конце резьбы 4 каждого цилиндра 3; а резьбовые каналы 8 соединены отверстиями 6 и 7 с входными и выходными отверстиями 9 и 10 насоса, а статор 2 имеет камеру 11 для охлаждаю щей жидкости.Насос работает следующим образом.При вращении ротора 1 молекулы газа увлекаются поверхностями цилиндров 3, прг ходят последовательно...

Номер патента: 542025

Опубликовано: 05.01.1977

Авторы: Деев-Анисимов, Кондрашев

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, молекулярный, насос

...изобретениясжатия,цель достигается тем, что сопряженверхности ротора и статора выполнеенчатыми, и максимальный диаметр предыдущей ступени статора не пре является повышение 2 вышает минимального диаметра последующей ступени ротора, при этом ступени в направлении откачки выполнены с уменьшающейся длиной.На чертеже схематично изображен предлагаемый насос.Молекулярный вакуумный насос содержит статор 1 с гладкой цилиндрической поверхностью и ротор 2 с винтовыми пазами 3, образующими систему рабочих каналов. Сопряженные поверхности ротора 2 и статора 1 выполнены ступенчатыми, и максимальный диаметр Окаждой предыдущей ступени статора 1 не превышает минимального диаметра Э последующей ступени ротора 2, вследствие чего на статоре образуются...

Номер патента: 567848

Опубликовано: 05.08.1977

Авторы: Алексашин, Кеменов, Кузнецов, Леонов

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, двухпоточный, насос, турбомолекулярный

...и роторные диски 111.В известном насосе возможно загрязнение от.качиваемого объема парами смазочных масел.Известец также двухцоточцьЙ вактурбомолекулярцы 11 насос, содержащий кразмещенные в цем статорные диски, раздпроставочцыми кольцами 121,Этот насос является цацболее близким к пред.геагаемому по техн 11 ческой 1 сущности и достигаемо.му результату.Статорнье ступе 11 и В таком насосе Выполнены Ввиде высоковакуумного и форвакуумцого пакетов,отличающихся геомегрцей рабочих каналов,Этот насос имеет также узлы Вра 1 цецця, распо.ложенцые ца форвакуумний стороне, которые смазываются прицудительцо жидком с;,1 азкой, в результаге чего детали цасос 11, расцопожеццые на егофорвакуумцой стсроне, в том числе статорныеступени и проставочцые...

Номер патента: 569750

Опубликовано: 25.08.1977

Авторы: Беляев, Казанцев, Тузанкин

МПК: F04D 19/04

Метки: диск, многослойный, насоса, турбомолекулярного

...ширине перемычки.На чертеже схематически изображен предлагаемый диск.Многослойный диск турбомолекулярногонасоса содержит штампованные лопатки 1,в которых в каждом слое выполнены прикорневые вырезы 2, смещенные относительновырезов смежных слоев и имеющие ширинуЯ, кратную ширине р ножки лопатки 1, скратностьо, равной числу слоев без одного,При выполнении диска с бандажом 3 и перемычки лопатки 1 в каждом слое выполненытри связанных отверстия 41 5 и 6, среднееиз которых (отверстие 5) имеет ширину Ьткратную ширине перемычки. Лопатки 1 размешены на ступице 7,При сборке слоев диска ступицы 7 и бавдажи 3 плотно прилегают одна к другому, алопатки одного слоя размещают между лопатками другого слоя и образуется ряд лопаток с требуемой густотой...

Номер патента: 572584

Опубликовано: 15.09.1977

Авторы: Тузанкин, Щедов

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, молекулярный, насос

...концентрическим окружностям установлены неподвижные лопатки, между которыми помещены ряды закрепленных на диске ротора рабочих лопаток, Однако в центральной части этого насоса имеется свободный объем, отрицательно влияющий на производительность насоса. Целью изобретения является увеличение степени сжатия, Это достигается тем, что в предлагаемом насосе за рабочими участками радиальных ступеней по ходу откачиваемого газа установлены осевые ступени.На чертеже показан описываемый насос, продольный разрез.Насос содержит корпус 1 с размещенным в нем ротором 2, параллельно оси вращения которого по концентрическим окружностям установлены неподвижные лопатки 3, Между лопатками 3 помещены ряды закрепленных на диске 4 ротора 2 рабочих лопаток 5,...

Номер патента: 580850

Опубликовано: 15.11.1977

Автор: Луи

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, молекулярный, насос

...направлении откачки; на фиг. 3 - цилиндрический барабан, продольный разрез.Насос содержит корпус (на чертеже не показан) с расположенным в нем вращающимся цилиндрическим барабаном 1, в стенке которого на поверхности, сопряженной с поверхностью статора 2, выполнены спиральные пазы а и б, разделенные перемычкой 3, Перемычка имеет переменную ширину, увеличивающуюся в направлении откачки, и в ее утолщенных участках выполнены параллельные канавки в и г, закрытые со стороны всасывания и открытые со стороны нагнетания. Пазы а и 15 б имеют глубину, уменьшающуюся в направлении откачки и превышающую глубину канавок в и г, Утолщенные участки перемычки 3 выполнены ступенчатыми.Пазы а и б имеют ширину, плавно уменьшающуюся в направлении откачки на...

Номер патента: 630455

Опубликовано: 30.10.1978

Автор: Осанов

МПК: F04D 19/04

Метки: вертикального, молекулярный, насос, типа

...сорбирующим материалом 5. В выходном патрубке 2 между источником 3 и ротором 4 размещено герметичное устройство в виде сильфона 6, один конец которого жестко закреплен на стенке патрубка 2, а другой снабжен кольцом 7 из антифрикционного материала, на прилегающей к ротору 4 поверхности которого выполнен капиллярный паз 8,В полости ротора 4 установлен источник 9 теплового излучения регулируемой мощности.Из откачиваемого объема молекулы газа поступают в насос и адсорбируются там на охлажденных поверхностях ротора 4. При вращении ротора 4 молекулы, адсорбированные на цилиндрических поверхностях, 5 проходят через узкие пазы 8 в кольце 7 в выходной патрубок 2 в виде монослоя, где под воздействием десорбирующих излучений происходит их...

Номер патента: 648753

Опубликовано: 25.02.1979

Авторы: Бойцов, Иванов, Кононов

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, насос, турбомолекулярный

...тем, что поверхность лопаток, обращенная к набегающему потоку, отполирована, а противоположная - зачернена, и перед первыми по ходу потока рот дисками установлены источни у стой энергии,На фиг.1 изображен насос, продольный разрез; на фиг.2 - сечение лопаток роторного диска.Турбомолекулярный вакуумный нас содержит корпус 1 с размещенными в нем роторными дисками 2 с лопатками 3. Поверхность 4 лопаток 3, обращенная к набегающему потоку, отполирова на, а противоположная поверхность 5 зачернена. Перед первыми по ходУ потока роторными дисками 2 установлены источники истой энергии б.Насос работ следующим обраПри наборе роторными дисками 2 рабочего числа оборотов включаются источники лучистой энергии б, нагревающие первые роторные...

Номер патента: 666300

Опубликовано: 05.06.1979

Авторы: Иванов, Кононов, Кульпин, Николаев, Юшин

МПК: F04D 19/04

Метки: насос, осевой, турбомолекулярный

...на подши тановлен ротор, приводимый во вра тродвигателем 11),Недостатком известного насоса я сокий коэффициент использования г точной части насоса, приводящий к удельных характеристик.Известен также осевой турбомоле сос, содержащий вращающийся корп оси на всю длину роторных дисков и на нем укреплены статорные диски.На чертеже изображен насос, продольный разз.Осевой турбомолекулярный насос содержиташаюшийся корпус 1 с размещенными в не роторными 2 дискам водящий патрубок 3, емому объему (на че подводящий патрубок 1 по его оси на всю и на нем укрепленыТурбомолекулярнь шим образом,После предварительной откачки прво вращение корпус 1 с роторнымиМолекулы откачиваемого газа, прахподводящему патрубку 3 и взаимодторными 2 и статорными 4...

Номер патента: 667162

Опубликовано: 05.06.1979

Автор: Луи

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, молекулярный, насос

...тем,что каждый спиральный паэ на частиего длины разделен на несколько каналов перегородками прямоугольногосечения, расположенными параллельно.На фиг. 1 изображен предложенныйнасос, общий вид на фиг, 2 - раз"вертка спиральных пазов предложенного насоса. никасъон Сит-Алькатель2МолекУляРный вакуумный насоссодержит статор 1 с расположенным в нем вращающимся барабаном 2 и спиральные пазы 3, разделенные перемыч кой 4 и выполненные по крайней мерена одной из сопряженных поверхностей ставора 1 или барабана 2. Каждыйспиральный паз 3 на части его длины разделен на несколько каналов 5 пе регородками б прямоугольного сечения,расположенными параллельно.Прн быстром вращении ротора относительно статарамолекулы получают направленный импульс и но...

Номер патента: 673758

Опубликовано: 15.07.1979

Авторы: Голубев, Деев-Анисимов, Кондрашев, Петров

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумного, насоса, ротор, турбомолекулярного

...надежности насоса,Цель достигается тем, что на поверхности каждого кольца, прилегавщей к валу, выполнена расточка, а., э, - АЩукФ ф:ЮФ .аб.,:.: ж:- - ,:; -г каждый диск снабжен цилиндрическим буртом, расположенным в последней.На чертеже изображен насос с описываемым роторсш, продольный разрез.Ротор вакуумного турбомолекулярного насоса содержит расположенные на валу 1 диски с лопатками 2, разделенные проставочнымч кольцами 3.На поверхности каждого кольца 3, прилегающей к валу 1, выполнена расточка, а каждый диск снабжен цилиндрическим буртом 4, расположенным в последней.Снабжение дисков насоса буртом, входящим в расточку, позволяет упростить крепление роторных дисков и повысить проточность ротора в целом, так как проставочные кольца и...

Номер патента: 688708

Опубликовано: 30.09.1979

Авторы: Кеменов, Леонов

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумного, насоса, производительности, турбомолекулярного

...входном давлении, а при уменьшсгши последнего увеличивают скорость вращения пакетов до номинального значения в обратной последовательности.1-1 а чертеже изображен турбомолекулярный вакуумный насос, реализующий описы в асмы й способ.Насос содержит корпус 1 с расположенными в нем роторными пакетами 2 - 4. При запуске насоса по мере понижения давления в откачивасмой емкости последовательно увеличивают скорость вращенияя пакетов, начиная с форвакуумпой стороны. Прп увеличении потока откачиваемого газа давление на входе в насос повышается, и происходит последовательное уменьшение скорости вращения роторных пакетов, начиная с высоковакуумной стороны. При определенном потоке откачнвасмого газа в зависимости от величины давления на входе в...

Номер патента: 715820

Опубликовано: 15.02.1980

Авторы: Бойцов, Иванов

МПК: F04D 19/04

Метки: насос, осевой, турбомолекулярный

...откачки, зависящей от часто- .ты вращения ротора, которая в своюочередь зависит от прочностных свойств роторных дисков, Кроме того,укаэанный насос имеет недостаточно высокую 25производительность, связанную с относительно малой проводимостью роторав осевом направлении и сравнительнонебольшим числом молекул, соударявщихся с ротором. ЗО.2Целью изобретения является повышение быстроходности насоса. Это достигается тем, что в предлагаемом насосе профиль лопаток образован рядамипроволоки.На чертеже показан описываемый насос, продольный разрез,Насос содержит корпус 1 с установленными в нем роторными дисками 2с лопатками 3, образованными рядами .проволоки, Выполнение профйля лопаток 3 из рядов проволоки увеличиваетдопустимую частоту...

Номер патента: 715821

Опубликовано: 15.02.1980

Авторы: Деев-Анисимов, Кондрашов

МПК: F04D 19/04

Метки: дисков, насоса, пакет, турбомолекулярного

...дисков 1, а соотйетствующая разность укаэайных радиусов имеетвеличину, увеличи-. вающуюся в направлении откачки,При работе насоса молекулы газа, прошедшие через кольцевой радиальный зазор"роторного 2 или статорного 1 диска со"сторонй выхода на вход ступени, чтобы попасть в межлопаточные каналы следующего в направлении к входу пакета диска, должны преодо леть канал аксиального зазора между дисками в радиальном направлении от окружности периферийного радиуса ло-патки первого диска до окружности корневого радиуса лопатки левого диска. На этом участке пути молекулы имеют йекоторую.вероятностьпопадания в межлопаточный канал правого диска и прохода на выходную сторону этого диска, Вероятность этого тем выше, чем больше отношение разности...

Номер патента: 724802

Опубликовано: 30.03.1980

Авторы: Бойцов, Иванов

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумного, насоса, турбомолекулярного, характеристик

...лопатками 6, установленными зеркально относительно лопаток 7 диска 5 ротора 8. Пробный диск 4 ус тановлен с возможностью осевого перемещения при помощи ввода 9. Насос 1 снабжен приводом 10. Кроме того, на вертикальном корпусе 2 размещены натекатель 11, датчики 12 вакуума, подсветка 13 и смотровое 15 окно 14 для проведения отсчета углов поворота пробного диска 4. во работает следующим о зо20 При достижении предварительного ма в объеме корпуса 2, включается 10 насоса 1, который приводит во вр ротор 8 с дисками 5. После выхода данный уровень вакуума пробный д помощьюввода 9 приближается к на определенное расстояние. Молек за, отраженйые диском 5 обратно корпуса 2 и получившие при соударе полнительный импульс количества30 ния (показаны на...

Номер патента: 737657

Опубликовано: 30.05.1980

Авторы: Волков, Деев-Анисимов, Кондрашев

МПК: F04D 19/04

Метки: вертикальный, насос, турбомолекулярный

...5 со стороны, противоположной подшипнику, на неподвижном кольце 4 последнего - втулка 6, а вдоль оси внутренней полости ротора 2 установлен при помощиупругих опор 7 невращаю; щийся стержень 8, концы которого снабжень 1 шаровыми опорами 9 и 10, образующими шарнирные соединения с втулкой 6 не О подвижного кольца 4 и со стаканом 5.Ротор 2 приводится во вращение электродвигателем 11.Во время выхода ротора 2 на номинальные обороты, стержень 8 позволяет ротору 2 выбрать свое положение в пространстве таким образом, чтобы совместилась ось вращения с осью массы ротора 2, при этом обеспечивается уравновешивание системыротор-стержень.Стержень 8 при вращении ротора 2 со вершает колебательные движения с частотой, равной частоте вращения ротора...

Номер патента: 737658

Опубликовано: 30.05.1980

Авторы: Болотникова, Сорокин, Шелепов

МПК: F04D 19/04

Метки: вала, вертикального, опора, подшипниковая

...установлены опорные иглы, расположенные соосйо с последними.На чертеже показан разрез по одномуиз подшипников опоры вертикального вала.Опора содержит установленный в корпусе 1 подшипник 2, наружная обойма 3 которого закреплена во втулке 4 со сферической поверхностью 5. В корпусе 1 под подшипником выполнены, по меньшей мере, три гнезда 6 с расположенными в них под 1 в пружиненными стаканами 7, а между торцами втулки 4 и стаканами 7 установлены опорные иглы 8, расположенные соосно со стаканами 7. При работе турбомолекулярного насоса возникает вибрация из-за недостаточной сбалансированности ротора, сильно возрастающая при критическом числе оборотов вала. Вследствие этого вал с подшипником 2, установленным во втулке 4, нацинает вращаться с...

Номер патента: 737659

Опубликовано: 30.05.1980

Авторы: Бойцов, Иванов

МПК: F04D 19/04

Метки: вертикального, насос, типа, турбомолекулярный

...насос вертикальноготипа содержит корпус 1 с укрепленными на его внутренней поверхности статорными дисками 2 и установленный по оси корпуса вал 3, несущий роторные диски 4. Насос 20 снабжен магнитными вставками 5, а роторные диски 4 выполнены из магнитного материала и намагничены с полярностью, противоположной полярности вставок 5. Вал 3 с роторными дисками 4 подвешен в маг3нитном подшипнике, состоящем из компенсаторов 6 и 7 осевого и радиального усилий.Магнитные вставки 5 встроены в основаниястаторных дисков 2, а роторные диски 4укреплены на валу 3 с возможностью осевого перемещения,Магнитные вставки 5 размещены междустаторными дисками 2 и примыкают к корпусу 1,Магнитные вставки 5 встроены в вал 3и примыкают к основаниям...

Номер патента: 737660

Опубликовано: 30.05.1980

Авторы: Гончаров, Демихов

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, насос, турбомолекулярный

...выемки и сорбент размещен в последних. 2На фиг. 1 показан насос, продольныйразрез; на фиг. 2 - часть статорного диска.Турбомолекулярный вакуумный насоссодержит корпус 1 и расположенные в нем ротор 2 и охлаждаемый статор 3 с сорбентом 4, выполненный в виде дисков 5 с лопатками 6. В лопатках 6 статорных дисков 5 с торцовой стороны выполнены выемки 7 и сорбент 4 размещен в последних. Кроме того, на статоре 3 расположены змеевик 8 10 и нагреватель 9.Насос работает следующим образом.Предварительно производится регенерация сорбента 4 в лопатках 5 статорных дисков 5 путем прогрева его при помощи нагревателя 9. Затем через змеевик 8 пропускается хладагент и Осуществляется охлаждение сорбента 4. При этом происходит предварительное...

Номер патента: 775397

Опубликовано: 30.10.1980

Авторы: Беляев, Лебедев

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, молекулярный, насос

...каналы 6 и 7, причем рабочие решетки 3 подключены к приводувозвратно-поступательного перемещения. Каждый межлопаточный канал выполнен симметричным относительноплоскости, проходящей через его середину перпендикулярно направлениюперемещения рабочих решеток. Поверхности лопаток 4 и 5 могут быть выполнены криволинейными или зубчатыми.На чертеже показано выполнение лопаток 4 и 5 плоскими.Насос работает следующим образом.Лопатки 5 рабочих решеток 3, движущихся возвратно-поступательно, передают молекулам откачиваемого газа импульс в направлении откачки. Выполнение межлопаточных каналов 6 и 7симметричными относительно плоскости,проходящей через их середину перпендикулярно направлению перемещениярабочих решеток 3, исключает...

Номер патента: 779649

Опубликовано: 15.11.1980

Авторы: Бойцов, Иванов

МПК: F04D 19/04

Метки: насоса, турбомолекулярного

...и повышение точности изготовления.Укаэанная цель достигается тем,что поверхность ротора покрывают разде лительной прокладкой и заполняют пространство между корпусом и ротором твердеющим материалом, имеющим равномерную усадку, с образованием статора, после чего прокладку удаляют.С. Прокладку выполняют иэ легкоплавкого материала, например Фольги,В результате применения данного способа изготовления турбомолекулярногонасоса обработки отдельных секций ротора не требует высокой точности, чтоведет к упрощению технологии изготов.ления. Кроме того, применение разделительной прокладки и заполнения пространства между корпусом и роторомтвердеющим материалом, имеющим равномерную усадку, с образованием статора,позволяет изготовлять насосы с...

Номер патента: 779650

Опубликовано: 15.11.1980

Авторы: Бойцов, Иванов

МПК: F04D 19/04

Метки: насос, турбомолекулярный

...разреза турбомолекулярного насоса. 2Турбомолекулярный насос содержит корпус 1, размещенные в нем с осевым зазором статорные диски 2 и устанон ленные на валу 3 с осевым зазором ро торные диски 4. на внешней поверхно сти статорных и йнутренней поверхности роторных дисков 2 и 4 выполнены выемки 5 и 6, а корпус 1 и нал 3 рото ра выполнены в виде тонкостенных металлических цилиндрических оболочек с фиксацией роторных и статорных дис ков деформированными участками оболочек в местах между выемками смежных дисков.Сборка турбомолекулярного насоса осуществляется следующим образом.Статорные и роторные диски 2 и 4 устанавливаются в корпусе 1 на валу 3 друг относительно друга с осевым зазором. Затем производится фиксация. статорных дисков 2...

Номер патента: 802625

Опубликовано: 07.02.1981

Авторы: Бойцов, Иванов

МПК: F04D 19/04

Метки: насос, турбомолекулярный

...вдоль оси корпуса.На фиг. 1 представлен общий вид насоса; на фиг. 2 - роторный диск насоса.Турбомолекулярный насос содержит корпус 1 с укрепленньми на его внутренней поверхности статорными дисками 2, в которые встроены магнитные вставки 3, и установленный по осн корпуса 1 вал 4, несущий лопаточные роторные диски 5, выполненные из магнитного материала, причем лопатки б роторных дисков 5 выполнены гибкими и имеют одноименные полюса на входных кромках и противоположные им полюса на выходных кромках, а ,вставки 3 расположены по окружности статорных дисков 2 и выполнены в виде электромагнитов, полюса которых ориентированы вдоль оси корпуса 1.Насос работает следующим образом.При вращении роторных дисков 5 между статорными дисками 2 с...

Номер патента: 823650

Опубликовано: 23.04.1981

Авторы: Беляев, Тузанкин, Чекалин

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, молекулярный, насос

...зазорами относительно статорных, причем одна из боковьи и торцовая кромки 5 и 6 каждой лопатки расположены соответственно перпендикулярно и параллельно образующей ротора 3, а другая боковая кромка 7 статорных и роторных лопаток 2 и 4 расположена под углом к образующей ротора 3, Кроме того, зазор между корпусом 1 и ротором 3 выполнен постоянным или уменьшающимся .в направлении откачки и имеет минимальную величину, превышающую в 5 - 6 раз величину радиальных зазоров, и ротор 3 выполнен полым и его полость 8 сообщена с зазором между корпусом 1 и ротором 3,Насос работает следующим образом.Молекулы газа из откачиваемого объема, соударяясь с лопатками 4 вращающегося ротора 3, приобретают импульс в направлении откачки и поступают в...

Номер патента: 846793

Опубликовано: 15.07.1981

Авторы: Бойцов, Иванов

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, насос, турбомолекулярный

...поверхности статорнымидисками и установленный по оси корпусаротор, снабженный роторными дисками срабочими лопатками, образующими межлопаточные каналы 1.Однако в таком насосе имеет место малая быстроходность, ограниченная прочность материала диска,Цель изобретения - повышение производительности путем увеличения допустимой частоты вращения ротора.Указанная цель достигается тем, что рабочие лопатки выполнены в виде ребер спересечением плоскостей последних на осиротора, причем ширина рабочих лопаток в4 - 5 раз больше максимальной ширины межлопаточных каналов.На чертеже изображен насос, продольный разрез.Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с укрепленными на его внутренней поверхности статорными дисками 2и установленный по...

Номер патента: 848760

Опубликовано: 23.07.1981

Автор: Боровиков

МПК: F04D 19/04

Метки: hacoca, дегазации, маслянойванне, смазки, турбомолекулярного

...й вьщеляющихщ и й с ячения эагряздегаэации см турбомолекул перемешивани очего органа енной откачко отличаюс целью исклю 5 Изобретение относится ктехнике, а именно к способамтурбомолекулярных вакуумныхИзвестен способ дегазациив масляной ванне турбомолекунасоса, включающий перемешисмазки вращением рабочего ормаслонасоса с одновременнойкой выделяющихся газов 11.Недостатком известного спявляется загрязнение высоковной полости насоса вследствичи смазки к подшипникам до иния во вращение.Цель изобретения - исключзагрязнения высоковакуумнойнасоса.Указанная цель достигаетчто рабочий орган маслонасоют в направлении, противопоего рабочему направлению вр Первоначально включаютмаслонасоским образом, что его рабочий органащается в направлении,...

Номер патента: 848761

Опубликовано: 23.07.1981

Авторы: Тузанкин, Шмелев

МПК: F04D 19/04

Метки: агрегат, вакуумный

...вакуумного агрегатз. Вакуумный агрегат содержит турбомолекулярный и форвакуумный механи-.ческий насосы 1 и 2 с автономнымиприводами 3 и 4. Агрегат дополнительно содержит установленный на валу5 привода 4 механического насоса 2компрессор б высокого давления с ресивером 7, связанным со входом газовой турбины, выполняющий функциипривода 3 турбомолекулярного насоса 1.Агрегат работает следующим образом.Первоначально включается привод 4форвакуумного механического насоса 2, 15 и полость турбомолекулярного насоса 1 откачивается до давления егозапуска. При этом по мере понижениядавления мощность, потрзбляемая приводом 4 форвакуумйого насоса 2, сни О,жается. После достижения в полоститурбомолекулярного насоса 1 давлениязапуска компрессор б высокого...