Турбомолекулярный вакуумный насос
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(51) 5 АТЕНТНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР О ТЕ ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(71) Научно-исследовательский институтточного электронного машиностроения(56) Авторское свидетельство СССРМ 1573234, кл. Р 04 Р 19/04, 1988.(54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙНАСОС57) Сущность изобретения: турбинная ступень корпуса образована рядами лопатокротора и статора. Со стороны нагнетения Изобретение относится к машиностроению.Цель изобретения - повышение степени сжатия.На фиг, 1 изображен общий вид насоса; на фиг, 2 - узел 1 на фиг. 1.Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с турбинной ступенью, образованной рядами лопаток 2 и 3 ротора 4 и статора 5, расположенные со стороны нагнетания вспомогательные промежуточную и выходную ступени 6 и 7, Промежуточная ступень 6 образована спиральными пазами 8, 9 ротора 4 и выступами 10 статорэ 5 переменной глубины и встречного направления, при этом сопряженные поверхности ротора 4 и статора 5 промежуточной ступени выполнены ступенчатыми, насос снабжен малым ротором 11, установленным на валу 12 насоса, э выходная ступень 7 образована спиральными пазами 13 внутренней поверхности выступа статора.5 и спиральными пазами 14, выполненными на поверхрасположены вспомогательные промежуточная и выходная ступени. Промежуточная ступень образована спиральными пазами ротора и выступами статора переменной глубины и встречного направления. Сопряженные поверхности ротора и статора промежуточной ступени выполнены ступенчатыми. Малый ротор установлен на валу. Выходная ступень образована спиральными пазами внутренней поверхности выступа статора и спиральными пазами, выполненными на поверхности малого ротора, обращенной к выступу статора, встречного направления. 2 ил. ности малого ротора 11, обращенной к выступу 10 статора 5 встречного направления.Насос работает следующим образом.Молекулы газа из откачиваемого объема, соударяясь с лопатками 2 вращающегося ротора 4, приобретают импульс в направлении откачки и поступают в промежуточную ступень 6, где происходит дополнительное сжатие откачиваемого газа, а затем его откачка в выходную ступень 7.Благодаря конструктивному исполнению промежуточной ступени 6, в результате чего зазор в этой ступени между ротором 4 и статором 5 оптически. непрозрачен, а также дополнительным спиральным паЗэм 14 в малом роторе 11 ступени 7 практически исключается обратный переток газа в насос, а повышение степени сжатия позволяет отказаться от насоса, заменив его на более простой и дешевый,Формула изобретения Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с турбинной ступенью,дакто ектор С.Па а Заказ 1369 Тираж, Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениями открытиям при ГКНТ СС 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 1 образованной рядами лопаток ротора и статора, расположенные со стороны нагнетания вспомогательные промежуточную и выходную ступени, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения степени сжатия, промежуточная ступень образована спиральными пазами ротора и выступами статора переменной глубины и встречного направления, при этом сопряженные поверхности ротора и статора промежуточной ступени выполнены ступенчатыми, насос снабжен малым ротором, устанвленным на валу, а выходная ступень образована спиральны ми пазами внутренней поверхности выступастатора и спиральными пазами, выполненными на поверхности малого ротора, обращенной к выступу статора, встречного направления.
СмотретьЗаявка
4877432, 24.10.1990
НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ТОЧНОГО ЭЛЕКТРОННОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ "СЛАВА"
МАЛЫШЕВ АЛЕКСАНДР ВАСИЛЬЕВИЧ, АЛИН АНАТОЛИЙ ГРИГОРЬЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: F04D 19/04
Метки: вакуумный, насос, турбомолекулярный
Опубликовано: 07.04.1993
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1807242-turbomolekulyarnyjj-vakuumnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Турбомолекулярный вакуумный насос</a>
Предыдущий патент: Система для создания вакуума
Следующий патент: Динамический насос
Случайный патент: Устройство для испытания плоских образцов на двухосное растяжение