Вакуумный молекулярный насос

Номер патента: 1613694

Автор: Иванов

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 51)5 Р 04 Р 19/04 жл-гг,;б " т г. е ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ЕЛЬСТВ А ВТОРСКОМУ СВИ 5-2 и институт рнетики при университете СССР 985.ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(54) ВАКУУМНЫЙ МОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС(57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики молекулярного насоса. Насос дополнительно содержит ультразвуковой генератор (Г) 6, соединенный с пьезоэлектрическими пластинами (П) 7, закрепленными на стороне перегородок 3 статорных дисков 2 со стороны, обращенной навстречу направлению вращения роторных дисков 5. Г 6 возбуждает механические поперечные колебания П 7, которые, взаимодействуя с молекулами откачиваемого газа, придают им импульс преимущественно в направлении откачки. 1 3, п. ф-лы, 2 нл.1613694 Формула изобретения ЧЬЕ Г Составитель В. Кряковкинехред А. Кравчук Корректор Н. Корол ираж 497 Подписное Редактор М. КелемешЗаказ 3877ВНИИПИ Государственн113035,Производственно-издат го комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССМ оскв а, Ж - 35, Р ауьиска я наб., д. 4/5льский комбинат Патент, г. Ужгород, ул. Гагарина, О Изобретение относится к вакуумной технике, а иенно к конструкциям молекулярных насосов.Цель изобретения - улучшение откачных характеристик насоса.На фиг. 1 представлена схема насоса; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1.Вакуумный молекулярный насос содержит корпус 1 и расположенные в нем статорные диски 2 с перегородками 3, образующими спиральные пазы 4, и роторные дис. к 5. Насос дополнительно содержит ультразруковой генератор 6 переменного напряженя, а перегородки 3 статорных дисков со стороны, обращенной навстречу направлен 11 ю вращения роторных дисков 5, снабжены пьезоэлектрическими пластинап 4 и 7, элект ически соединенными с гене)затором 6.оверхности пластин 7 снабжены серебрянь 1 м покрытием. Насос работает следующим образом.Откачиваемый газ, попадающий в полость корпуса 1, поступает к спиральным пазам 4 статорного диска 2 первой ступени насоса, Поверхность роторного диска 5 при взаимодействии с молекулами откачиваемого газа сообщает им импульс в направлении откачки, после чего молекулы соударяются с перегородками 3 статорных дисков 2 со стороны, на которой расположены пластины 7.Переменное напряжение ультразвукового генератора 6 возбуждает в пьезоэлектрических пластинах 7 поперечные механические 5колебания. Взаимодействие молекул откачиваемого газа с поверхностями колеблющихся пластин 7 приводит к преимущественному отражению молекул в сторону откачки, что повышает степень сжатия ступени, а следовательно, улучшает откачные харак теристики насоса. 1. Вакуумный молекулярный насос, содержащий корпус и расположенные в нем статорные диски с перегородками, образующими спиральные пазы, и роторные диски, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, насос дополнительно содержит ультразвуковой генератор 20 переменного напряжения, а перегородки статорных дисков со стороны, обращенной навстречу направлению вращения роторных дисков, снабжены пьезоэлектрическими пластинами, электрически соедин.иными с гене ратором2. Насос по п. 1, отличающийся тем, чтоповерхность пластин снабжена серебряным покрытием.

Смотреть

Заявка

4647319, 07.02.1989

НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНОЙ МАТЕМАТИКИ И КИБЕРНЕТИКИ ПРИ ГОРЬКОВСКОМ ГОСУДАРСТВЕННОМ УНИВЕРСИТЕТЕ ИМ. Н. И. ЛОБАЧЕВСКОГО

ИВАНОВ ВАДИМ ПАВЛОВИЧ

МПК / Метки

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, молекулярный, насос

Опубликовано: 15.12.1990

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1613694-vakuumnyjj-molekulyarnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Вакуумный молекулярный насос</a>

Похожие патенты