Турбомолекулярный вакуумный насос
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1573235
Авторы: Гарбуз, Заозерский, Иванов, Юрченко
Текст
.2 оставитель Кряковкин А.Кравчук Ко 501 По Техре Тира ного комнте Москва,ательскнй коректор О. Ци иледписноеытиям при ГКНТд. 4/5од, ул. Га арин; Редактор А. Мотыль Заказ 1632 ИНИИПИ Государстве 113035 Производственно-нздИзобретение относится к вакуумной тех. нике, в частности к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов,Цель изобретения - улучшение откач ных характеристик насоса.На фиг, 1 представлена схема насоса, продольный разрез; на фиг. 2 - узел 1 на фиг, 1,Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с крышкой 2, установлен ные в корпусе 1 на валу 3 внешний и внутренний роторы 4 и 5 встречною вращения и расположенное между крышкой 2 корпуса 1 и ступицей 6 внешнего ротора 4 дина-" мическое уплотнение, выполненное в виде коаксиальных обечаек 7 и 8, поочередно :закрепленных на крышке 2 корпуса 1 и на, ступице 6 внешнего ротора 4, причем обечайки 7, закрепленные на крышке. 2 корпуса 1, снабжены винтовыми каналами 9, а каждая из обечаек 8, закрепленных на ступице 6 внешнего ротора 4, имеет радиус (гг) и высоту (Й;), определяемые из выраженийг=Я 2+7 Щ 1 - 21 Я ь26,. верчб- е к.-а- -где =1,2, ,;Я 1, Я 2 - соответственно минимальный и максимальный радиусы проточной части внешнего ротора 4;Ь - радиальный зазор между соседнимиобечайками 7 и 8.Насос работает следующим образом.Внешний и внутренний роторы 4 и 5 приводятся во вращение в противоположных направлениях. Газ, поступающий из откачиваемого объема, взаимодействует с роторами 4 и 5, направляется от периферии к центру насоса и далее удаляется из корпуса 1 внешним форвакуумным насосом. Область высокого вакуума отделяется от области фор,вакуума динамическим уплотнением в виде обечаек 7 и 8,Наличие на обечайках 7, являющихся11 еподвижными, винтовых каналов 9 позволяет создать на месте динамического уплотнения практически молекулярную ступень насоса, которая помимо предотвращения обратных перетечек газа из области форвакуума в области высокого вакуума создает дополнительный откачнвающий эффект. Определение конкретных размеров обечаек 7 и 8 по математическим выражениям позволяет получить конструкцию с максимальным эффектом, что в целом приводит к улучшению откачных характеристик нассса.19 Турбомолекулярный вакуумный насос,содержащий корпус с крышкой, установленные в корпусе на валу внешний и внутренний роторы встречного вращения и расположенное между крышкой корпуса и ступицей внешнего ротора динамическое уплотнение, выполненное в виде коаксиальных обечаек, поочередно закрепленных на крышке корпуо 5 са и на ступице. внешнего ротора, отличаюи 4 ийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, обечайки, закрепленные на крышке корпуса, снабжены винтовыми каналами, а каждая из обечаек, закрепленных на ступице внешнего ротора, имеет радиус 30 г; и высоту Йопределяемые из выраженийг,=Я 2+7 б(1 - 21 Я 1;26; ФОГТА- =е каб гдею =1,2, ;ЗБ Рь Р 2 - соответственно минимальный и максимальный радиусы проточной части внешнего ротора;б -радиальный зазор между соседними обечайками.
СмотретьЗаявка
4469212, 01.08.1988
НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНОЙ МАТЕМАТИКИ И КИБЕРНЕТИКИ ПРИ ГОРЬКОВСКОМ ГОСУДАРСТВЕННОМ УНИВЕРСИТЕТЕ ИМ. Н. И. ЛОБАЧЕВСКОГО
ГАРБУЗ ГАЛИНА АЛЕКСАНДРОВНА, ЗАОЗЕРСКИЙ ЮРИЙ ПЕТРОВИЧ, ИВАНОВ ВАДИМ ПАВЛОВИЧ, ЮРЧЕНКО ПЕТР ИВАНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: F04D 19/04
Метки: вакуумный, насос, турбомолекулярный
Опубликовано: 23.06.1990
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1573235-turbomolekulyarnyjj-vakuumnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Турбомолекулярный вакуумный насос</a>
Предыдущий патент: Двухступенчатый турбомолекулярный вакуумный насос
Следующий патент: Рабочее колесо центробежной турбомашины
Случайный патент: Дельта-модулятор