Турбомолекулярный лабиринтный насос

(51) 5 Р Е .ИЗОБРЕТЕНИЯ/ ДЕТЕЛ ТВУ ЬС гетики АН БССР0142208,ЫЙ ЛАБИРИНТ- я: соосно статору ю вращения ро-, тора и статора, выполнены спиаправлений и наГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССР(71) Институт ядерной энер(57) Сущность изобретениустановлен с возможностьтор. На поверхностях рообращенных друг к другуральные канавки разных н Изобретение относится к области осевых насосов для газов, а более конкретно к турбомолекуля рн ым вакуумным насосам.Целью изобретения является увеличение производительности и повышение его эффективности.На чертеже показана схема турбомолекулярного форвакуумного насоса.Внутрй статора 1 установлен ротор 2 с возможностью вращения. На статоре и роторе выполнены спиральные канавки.Причем количество канавок увеличивается по участкам 3,4,5. На передней торцевой поверхности выполнены радиальные лопатки 6, составляющие с вектором направления острый угол А, В данном случае лопатки 6 выполнены как продолжение перемычек между канавками, Перед радиальными лопатками 6 установлен сепаратор 7 в виденабора лопаток 8. Подвод газа осуществлярезки с уменьшающеися от входа к выходу глубиной. На передней по ходу газа торцовой поверхности ротора выполнены радиальные лопатки. Лопатки сепаратора направлены по его наружному диаметру, Радиальные лопатки ротора установлены под острым углом к вектору направления вращения, Угол наклона лопаток сепаратора на выходе совпадает с направлением канавок на статоре. Высота лопаток статора составляет 1.1-1,3 максимальной глубины канавок ротора, Число спиральных канавок на статофе и роторе увеличивается от входа к выходу. 1 ил; ется через входное отверстие 9. Через отверстие 10 сжатый газ выбрасывается в ат аевй мосферу,. Насос работает следующим образом. С) Черезотверстие 9 газ подается на вход С 1 в насос. Часть газа проходит через сепара- а тор 7 закручивается и попадает на перифе- Я рийные участки радиальных лопаток, (д , Большая часть газа попадает непосредственно на центральйую зону радиальных лопаток 6. В межлопаточных каналах газ приобретает тангенциальную и радиальную ф составляющие скорости и подается к периферии на вход в спиральные канавки статора 1 и ротора 2. Так как лопатки 8 сепаратора 7 закреплены только на периферии, то часть молекул, получивших тангенциальную скорость, но не захваченных радиальными лопатками двигаются от центра к периферии, попадают в лопаточный ап 1800125парат сепаратора и отражаются преимущественно в направлении к радиальнымлопаткам и к входу в спиральные канавки. Дальнейшее повышение давления происходит в лабиринтных канавках статора 1 и 5 ротора 2. Сжатый газ через отверстие 10 выбрасывается в атмосферу.Выполнение ротора насоса с торцевыми лопатками образующими острый угол с вектором направления вращения позволяет 10 уменьшить срывы потока газа и уменьшить обратные потоки молекул, чем достигается большая эффективность работы входной части насоса по сравнению с прототипом. Кро-, ме того, при одинаковых диаметрах ротора 15 предлагаемый турбомолекулярный форвакуумный насос имеет большую площадь входа по сравнению с прототипом, что обеспечивает работу с большими обьемными расходами. Острый угол торцевых лопаток 20 позволяет выполнить их как продолжение перемычек между канавками ротора, чтооулучшает его технологичность.Наличие сепаратора перед лопатками торцевыми позволяет уменьшить угол атаки 25 газа и вероятность срыва на лопатках, особенно опасном на периферийных участках, Консольно закрепленные по наружному диаметру лопатки сепаратора позволяют направить в рабочие каналы обратный поток 30 молекул от центральной части радиальных лопаток. Небольшая высота лоиаток сепаратора, .составляющая 1,1-1,3 максималь 35 ной глубины канавки ротора незначительно влияет на проводимость при малых давлениях на входе в насос, Благодаря ступенчатому увеличению количества спиральных канавок на роторе и статоре поддерживается близкое к оптимальному отношение ширины канавки к ее глубине, что повышает эффективность работы насоса по сравнению с прототипом.Формула изобретения Турбомолекулярный лабиринтный насос, содержащий статор и соосно установленный с ним с возможностью вр цения ротор, при этом на поверхностях ротора и статора обращенных одна к другой, выполнены спиральные канавки разных направ; лений нарезки с уменьшающейся от входа к выходу глубиной, а на передней по ходу газа торцевой поверхности ротора выполнены радиальные лопатки, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью увеличения производительности и повышения эффективности, он снабжен сепаратором с лопатками, закрепленными, по его наружному диаметру, при этом радиальные лопатки ротора установлены подострым углом к вектору направления вращения, угол наклона лопаток сепаратора на выходе совпадает с направлением кана-. вок на статоре, а высота лопаток сепаратора составляет 1,1 - 1,3 максимальной глубины канавок ротора, причем число спиральных канавок на статоре и роторе увеличивается от входа к выходу насоса.1800125 Составитель А. ЯхницкийКулакова Техред М. Моргентал Корректор О. Кравцова Заказ 1149 Тираж ПодписноеЗНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 ГКНТ СССР Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101,