354016
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 354016
Текст
354 О 16 сока советских Социалистчоских Республикт явт. свидетельства М Зависимое Кл. С 23 с 13 08 1413909/22-1 Зачвлсцо 12.111.19 присосд ецием явки Ло Г 1 риорит Комитет по делам изобретений и аткрьтийДК 621.793,0608 972. Боллстсць ЬЪ пуолиеовяцо мский институт радиоэлектроники и электронной техники витсль СТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННОГО ОСАЖДЕН НА ЦИЛИНДРИЧЕСКИЕ ПОВЕРХН ЛЕНОК Т плазмы газораз.кольцевое магмагнитами или овысцт Изобретение относится к области нанесенияя покрытий в вакууме.Известно устройство для ионного осакдсция пленок ца цилиндрические поверхности, содсржапсс кольцеВу 10 гязорязр 51 дцую камеиспаритсль, анод, держатель детали и еатодцыс электроды.Цель изобретения - и ь скорость цацсссция пленки.Это достигается тем, что испаритсль вы полиси в виде кольцевого контейнера ц совмещен с цилиндрическим анодом, обхватыВяюп 1 им 1(атодпыс элсетрос 11, меткду еОторыми имеется кольцевой зазор для выхода иОПОВ, а ОоряоятыВаемя 51;стяль 13 яз:1 сцепя ца оси камеры и имеет отрипатслиЫй потенциал.11 Я чсрте 5 ке представ.си 1 схс:я прелагасмого устройства.Оцо состоит из камеры, образованной ея тодными элскт 1 зо;яки 1 и цплипдрпссепк анодом 2, исиаритсля,5 и держателя 4 детали 5. Испаритель 3 выполнен в виде кольцевого контейнера и совмещен с цилицдричес(им янодО 2, Обхватывающим катодныс электроды 1, между которыми имеется кольцевой зазор для Выход 1 иОПОВ, я ОоряоятыВяемяя деталь разменсия па Оси каверн и имеет отрицательный потенциал.Для облегчения условий зажигания и по вышеция степени иоцизацпир 5 дна 51 ея меря помсщсця Внитное поле, создаваемоесоленоидом.При давлении 10 - 4 - 10 - " тор металл в исиаритслс нагревается до температуры, при которой давление паров достигает 10 - 10 втор, ца анод и катод подастся постоянное напряжение 200 - 600 в, и в парах металла В Гязорязрядпои камере зяжпгястс 5 рязряд.Благодаря наложению магнитного ноля увеличивается длица пробега электронов, образовавшихся при ион изации, движущихся пО циелОидсалпытряеетория.11 и ООВсрша 10 щих колебания между катодцыми электродами (, претерпевал большое число столкцоВспий с ятОГсями хстялла, что приВОдцт е повышению стсцсци иоцизации. 11 иы металла под действием отрицательного поп.ццияла ОбрябятываеО 1;стали извлекаются из пля:1- мы через щслевой зазор между еатодцыми электродами и, двигаясь по силовым линиям электрического поля, попадают ца поверхность детали, образуя плеш(у. Скорость ионов, достигающих детали, зависит от разности потенциалов между катодом и деталью. При мальх скоростях ионы при осаждении внедряются в повсрхцостцый слой детали, благодаря чему повышается прочность сцеп:1 аказ З 581,ЦИНИПИ Изд1473 Тираж 406 Подписное делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж-З 5, Раущская наб., д. 4/5 гн тета Типография, пр. Сапунова, 2 ления пленки с подложкой. Ионы с энергиями оолее 10 кэв, внедряясь в поверхностныйслой детали, производят его легирование,Предмет изобретения Устройство для ионного осакдення пленок на цилиндрические поверхности, содержащее кольцевую газоразрядную камеру, образованную катодными электродамн и цилиндрпческим анодом, испаритель и держатель детали, отличающееся тем, что, с целью повышепия скорости нанесения пленки, нспар 1 п ель выполнен в виде кольцевого контейнера и совмещен с цилиндрическим анодом, обхватывающим катодныс электроды, между которымн имеется кольцевой зазор для выхода ионов, а обр;1 о;1 ть 1 васмая деал размс 1 цепа на оси камеры и имеет отрицательный потец циал.
СмотретьЗаявка
1413909
МПК / Метки
МПК: C23C 14/30
Метки: 354016
Опубликовано: 01.01.1972
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-354016-354016.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">354016</a>
Предыдущий патент: Устройство для получения изделий из газовой фазы
Следующий патент: Нанесения химических покрытий
Случайный патент: Устройство для изготовления сетки из проволоки или стержней при помощи электрической сварки