ZIP архив

Текст

Союз Советских Социалистических Республик(32) Приоритет 51) М. Кл. С 23 с 17/О Государстввиимк комитет Совета Мииистров СССР ло дедам изобретеиийи открмтий 53) УДК 621.793,14. С. Палатник, В. И. Белозерцева, С, А. Бутко и В, С, Черный 71) Заявите арьковскии ордена Трудового Красного Знамени государственныи университет им. А. М. Горького(54) СПОСОБ ЧЕ получести плевеществ, ложный5 что тонкие пленки ия в вакууме из ионнИзобретение относится к способамния тонких пленок в вакууме, в частнонок сурьмы и многокомпонентныхпарообразная фаза которых имеет ссостав.Известен способ получения тонких пленокв вакууме путем осаждения из парообразнойфазы, сформированной в пучок.Однако известный способ не может использоваться для осаждения пленок элементов,например сурьмы и многокомпонентных веществ,паровая фаза которых имеет сложный состав,т. е. содержит полиатомные молекулы.Предложенный способ позволяет получатьпокрытие элементов и многокомпонентных веществ из паров, содержащих полиатомные молекулы.Способ отличается тем, что ионизацию парообразной фазы осуществляют электронами,энергия которых обеспечивает получение регулируемых по составу пучков,При этом энергию электронов выбирают всоответствии с потенциалами ионизации полиатомных молекул и энергией диссоциации ихпод действием электронного удара на молекулы (атомы) меньших масс для изменения относительных количеств ионных составляющихпучков.Способ состоит в томполучают путем осажден зированной парообразной фазы, сформированной в пучки, регулируемые по составу. Ионизацию парообразной фазы осуществляют электронами, энергию которых выбирают в соответствии с потенциалами ионнзацин полиатомных молекул и энергиен диссоцпации их под действием электронного удара на молекулы (атомы) меньших масс для изменения относительных количеств ионных составляющих пучков.При осуществлении способа, варьируя энергшо ионизирующих электронов, можно изменять соотношение ионных видов конденсируемой системы за счет вклада от днссоциативной ионизации,Пример. Прп осаждении пленок сурьмы на подложке из свежесколотых на воздухе монокристаллов хлористого калия, подогретых до 95 - 110 С в парообразной фазе, содержащей полиатомные молекулы, наряду с процессами первичной ионнзации (например, для сурьмы, пар которой над твердой сурьмой состоит в основном из ЯЬ 4, 5 Ь: и ЯЬ) идут процессы диссоциацип под действием электронного удара. Вклад диссоциативной ионизации в ионные токи соответствующих видов меньших масс очень велик при увеличении энергии ионизирующих элементов. При уменьшении энергии электронов до потенциалов ионизации полиатомных молекул, когда процессы диссоКорректор А. Дзесова Редактор Е. Караулова Заказ 200/1 Изд. М 1990 Тираж 875 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб д, 4/5Типография, пр, Сапунова, 2 циации уменьшены, можо осаждать ионизированные пучки, соответствующие по составуистинной парообразной фазе. Предмет изобретенияСпособ получения тонких пленок в вакууме путем осаждения из парообразной фазы, сформированной в пучок, отличающийся тем, что, с целью получения покрытий элементов и многокомпонентных веществ из паров, содержагцих полиатомные молекулы, осуществляют ионизацию парообразной фазы электронами, энергия которых обеспечивает получение регулируемых по составу пучков, причем энер гию электронов выбирают в соответствии с потенциалами ионизации полиатомных молекул и энергией диссоциацпи их под действием электронного удара на молекулы (атомы) меньших масс для изменения относительных 10 количеств ионных составляющих пучков.

Смотреть

Заявка

1601649, 07.12.1970

МПК / Метки

МПК: C23C 14/30

Метки:

Опубликовано: 15.12.1974

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-380155-g.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Г</a>

Похожие патенты