Способ получения электропроводящих и диэлектрических тонких пленок

Номер патента: 287494

Авторы: Киевский, Кучеренко, Саенко

ZIP архив

Текст

287494 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства М -хл, 48 Ь, 1 Заявлено ОЗ.Х.966 (Л" 1105505/22-1)с присоединением заявки М -ПриоритетОпубликовано 19.Х 1.1970. Бюллетень М 3Дата опубликования описания 15.1.1971 МП К С 23 с 17/00 Квмитет по деламобретений и открытийри Совете МинистровСССР 621.793.14 (088,8 Лвторыизобретения. Саен евский ордена Ленина Государственный университет им, Т, Г. Шевченко аявитель ЕКТРОПРОВОДЯЩИХТОНКИХ ПЛЕНОК СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСК вещества; Н. - вспомо магнитное поле.Магнитный экран заз нок разрядной камеры ложкодержателя равен дольного магнитного п области расположения 200 э. Напряженность в речного магш 1 тного пол поле искривляет траект личпвает коэффициент т шества. гательное поперечн пособу получения трических пленок Изобретение относится к сэлектропроводящих и диэлекв вакууме.Известен способ получения тонких пленок электропроводящих веществ путем испарения и ионизации паров осаяденного вещества электронным пучком в вакууме с последующей конденсацией нейтралов и ионов на подложке, находящейся под высоким отрицательным потенциалом. Однако пленки, полученные по известному способу, обладают неудовлетворительным сцеплением с поверхностью подлоякп,емлен; потенциал сте в, потенциал под кв; напряжение прооля Н 1 возрастает в стержня и составляет спомогательного попея Н 50 э. Магнитное ории электронов и увеонпзацпп рабочего веСпособ состоит в следующем.Электронный пучок с источника фокусируется на стержень и в мест доводит его температуру до темпер рсния, Е-Еа пути к подложке испар шество понпзпруется электроннь Электронный пучок взаимодейств зующейся плазмой, в результате ч ется пучковоплазменная неусто скрещенных полях, приводящая к коэффициента ионизации. ции паров рабо дгезии пленок с предлагаемому тю рабочего ве льном магнитн к электронному чегопо спо- Шествниз ния а ки по низац прод шенгпополях ы и пучСхема, иллюстрирующая предложенный об, представлена на чертеже.Здесь ЭП - электронная пушка; 1 - ожкодеркатель с напыляемой пленкой; лектронный пучок; 3 - поток паров и и - магнитный экран, защищающий элек тую .пушку от продольпого магнитного Н 1 камеры ионизации; б. - стенки камерь изации (анод); б - стержень испаряе спо. под ленни паров в разряднои камере,цл рт. ст, вспыхивает пучково й разряд в скрещенных полях, коэфкоторых может приближаться к и да онов;трон- поля т иомого 30 Р=5 10плазменнфицпент100%. Для увеличения т вещества и улучше верхностью подлож собу испарение и ио ва осуществляют в поперечном по отно ку электрическом электронове попадания атуры испа. яющееся вем ударом.ует с обра.его развива.287494 Предмет изобретения Н, С. Коган Техред т. П. Курилко ,Корректор Г. С. Мухин реда аказ 394/3 Тираж 480 Подписно НИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров ССС Москва, Ж, Раушская наб., д. 45 ипогрэфня пр. Сапунова, 2 Таким образом, к подложке движется поток атомов, ионов и электронов. Ионы внедряются в подложку, образуя центры конденсации и обеспечивает высокую адгезию. Наличие быстрых электронов в разряде обеспечивает нейтрализацию поверхностного заряда ионов при осаждении на диэлектрическую подложку. Попадание неионизированпых атомов на подложку совместно с ионами обеспечивает высокую скорость осаждения, равную скорости термического испарения. Способ получения электр опроводящих и диэлектрических тонких пленок путем испарения и ионизации паров осажденного вещества электронным пучком в вакууме, с последующей конденсацией паров на подложке, отличаюиийся тем, что, с целью увеличения ионизации паров и улучшения адгезии пленок с поверхностью подложки, процесс осуществляют в продольном магнитном и поперечном по отношению к электронному пучку электрическом полях.

Смотреть

Заявка

1105505

Е. Т. Кучеренко, В. А. Саенко, Киевский ордена Ленина Государственный университет Т. Г. Шевченко

МПК / Метки

МПК: C23C 14/30

Метки: диэлектрических, пленок, тонких, электропроводящих

Опубликовано: 01.01.1970

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-287494-sposob-polucheniya-ehlektroprovodyashhikh-i-diehlektricheskikh-tonkikh-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения электропроводящих и диэлектрических тонких пленок</a>

Похожие патенты