ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕ 182250ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Респуоликвт. свидетельс Заявлено 20.1 Ч,1965 ( 1004135/26-25)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 25.Ч.1966. Бюллетень11Дата опубликования описания 7,И 1.1966 л, 21 о, 21,0 Комитет по делам вобретеиии и открцтипри Совете МииистровСССР ДК э 37,э 81:621.365.9 (088.8) АМЕТРА АИМЕНЬШЕТРОННОГО Л КОНТРОЛЯ ПЯТНА ЭЛ ПОС Ч При использовании в измерительной постоянного напряжения электрическое может влиять на электронный пучок. В случае через измерительную цепь про 5 токи первичного пучка и вторичных эл нов, что вносит дополнительную трудно тываемую ошибку, Для ее устранения лагается питать измерительную цепь им ным напряжением, подавая измерите О импульсы в промежутках между рабо Измеряя ток, потребляемый от источник пульсного напряжения, можно точно о лить момент наилучшей фокусировки.редмет изобретенн 1, Способ контроля наименьшего диаметрапятна электронного луча при импульсной электроннолучевой обработке материалов в 20 вакууме, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса фокусировки, измеряют ток термоэмиссни с обрабатываемой детали или с контрольной пластины и регулируют фокусирующие линзы так, чтобы получить макси з мальное значение тока термоэмиссии,2. Способ по п, 1,с целью исключениячуч электрическогомой измерения тока отличающийся тем, что, влияния на электронный поля, создаваемого схетермоэмнссии, и нсклюПри размерной импульсной электроннолучевой обработке материалов необходимо сфокусировать электронный пучок так, чтобы на обрабатываемой детали получилось электронное пятно минимального диаметра.Предлагается для обнаружения момента острой фокусировки пучка использовать термоэлектронную эмиссию с обрабатываемой детали или (если материал обрабатываемой детали не позволяет получить значительную эмиссию) со специальной контрольной пластины, вводимой вместо детали. Известно, что при заданной мощности пучка температура в пятне примерно обратно пропорциональна площади пятна, а плотность тока эмиссии растет при повышении температуры быстрее, чем по экспоненциальному закону,Поэтому, несмотря на уменьшение площади пятна с уменьшением диаметра, общий ток эмиссии пятна при улучшении фокусировки возрастает.По предлагаемому способу обрабатываемая деталь изолируется от заземленных частей установки, между деталью и землей включается источник напряжения (минусом к детали) и с помощью измерительного прибора контролируется ток в цепи этого источника напряжения. Максимуму тока соответствует минимум диаметра пятна. цепи поле этом ходят ектро- учи- пред- пульсльные чими. а им- преде182250 импульсы напряжения подают в промежуткахмежду рабочими импульсами,Составитель В, А. Богданова Редактор и. Джарагетти Техред Г. Е. ПетровскаяЗаказ 1931/5 Тира.к 00 Формат бум. 60 Х 90/8 Объем О, изд. л. ПодписноеЦНИ 1 ЛПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр, Серова, д. 4 Типография, пр. Сапунова, 2 чения ошибок, создаваемых токами вторичных и первичных электронов, измерительные Корректоры; О. Б. Тюрина и Т. Н. Костикова

Смотреть

Заявка

1004135

МПК / Метки

МПК: C23C 14/30

Метки: 182250

Опубликовано: 01.01.1966

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-182250-182250.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">182250</a>

Похожие патенты