ZIP архив

Текст

ОПИСАНИ Е 19 ОО 2ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советскин Сопиапистнчесиив Респтблинависимое от авт, свидетельства947903/26-2 Кл. 21 д, 21/01 Заявлено 22,11.196с присоединением зПриоритет киКомитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР:621.389(088.8) Опубликовано 14.1.19 ллетеньата опубликования описания 9.111,1967 УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПАРЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУ Описываемое изобретение может быть использовано в электровакуумной промышленности для получения многослойных особочистых пленочных покрытий методами вакуумного напыления.В известных автотигельных испарителях с нагревом штабикового материала электронной бомбардировкой невозможно последовательное испарение ряда различных материалов из одного охлаждаемого тигля при нагреве штабиков одним источником нагрева без загрязнения распыляемого материала остатками от предыдущего испарения, которые могут находиться на стенках тигля в виде брызг и пленки. Для устранения этого недостатка предлагается ввести в устройство тигли-спутники для набора испаряемых веществ. На чертеже изображено описываемое устройство, общий вид.Оно содержит электронную пушку 1, которая доводит испаряемый материал до требуемой температуры; магнит 2, направляющий и фокусирующий электронный пучок; стационарный, охлаждаемый водой, тигель 3; поворотную головку 4 с тиглями-спутниками 5, число которых и материал определяются испаряемыми штабиками б; устройство 7 для периодического вращения поворотной головки на угол, соответствующий углу совмещения отверстия охлаждаемого тигля 3 и тигля-спутника 5.Механизм поступательного движения длянепрерывной или периодической подачи штабиков в зону испарения состоит из привода 8, штока 9, толкателя 10 и компенсатора 11.Многокомпонентный автотигельный испаритель собирается на отдельном фланце с металлическими уплотнителями. Конструкция 10 допускает прогрев для обезгаживания всегоустройства до 400 - 450 С.Работает данное устройство следующим образом. Поворотная головка 4 с тиглями-спутниками 5, выведенными из охлаждаемого тиг ля 3, поворачивается от устройства 7 поворота головки таким образом, что необходимый штабик для испарения в своем тигле-спутнике устанавливается против отверстия охлаждаемого тигля 3. Далее механизм подачи штабиков досылает головку вверх по упора в охлаждаемый тигель. Включается электронная пушка 1 и начинается процесс испарения. По мере испарения штабик подается с необходимой скоростью непрерывно или периодически 2 в зону фокуса электронного луча, т. е. в зонуиспарения, толкателем 1 О.По окончании испарения подающий механизм возвращается в исходное положение и выводит тигель-спутник пз охлаждаемого тиг ля, Затем цикл повторяется, но уже с другим1910 О 2 Составитель В. А, Багдаиоваарагетти Техред Л. Бриккер Коррект Редактор к М. П. Ромашова и С. М. Белугина аказ 2587ЦНИИПИ Комите Тираж 535 лам изобретений и открытиг Москва, Центр, пр, Серова,Подсос и Совете Министров СССРТипография, пр, Сапунова тиглем-спутником, в котором установлен очеречной испаряемый штабик.Таким образом, каждый материал испаряется из своего тигля-спутника, охлаждаемого в процессе испарения вследствие контакта с холодными стенками одного неподвижного тигля, охлаждаемого водой. Предмет изобре 1 ения Устройство для испарения материалов в ва кууме, содержащее электронную пушку, механизм подачи испаряемого материала в зону испарения и охлаждаемый тигель, отличаюиееея тем, что, с целью устранения загрязнения испаряемого материала, оно содержит диск с укрепленными в нем тиглями- спутниками для различных испаряемых веществ, которые поочередно вводятся в стационарный охлаждаемый тигель.1 О

Смотреть

Заявка

947903

МПК / Метки

МПК: C23C 14/30

Метки: 191002

Опубликовано: 01.01.1967

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-191002-191002.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">191002</a>

Похожие патенты