Способ создания структуры диэлектрик-полупроводник кадмий-ртуть-теллурид

Номер патента: 1840192

Авторы: Алехин, Варламов, Дрозд, Емельянов

ZIP архив

Описание

Способ создания структуры диэлектрик-полупроводник кадмий-ртуть-теллурид, включающий формирование на поверхности полупроводниковой подложки анодного окисла и последующее нанесение в вакуумной камере слоя сульфида цинка, отличающийся тем, что, с целью повышениях стабильности характеристик структуры, слой сульфида цинка наносят циклично при температуре подложки 10-60°С, давлении паров диэтилцинка и сероводорода в вакуумной камере не менее 5 мм рт.ст и выдержке не менее 0,1 с.

Заявка

3148627/28, 25.07.1986

Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф. В. Лукина

Емельянов Аркадий Владимирович, Алехин Анатолий Павлович, Дрозд Виктор Евгеньевич, Варламов Олег Игоревич

МПК / Метки

МПК: H01L 21/31

Метки: диэлектрик-полупроводник, кадмий-ртуть-теллурид, создания, структуры

Опубликовано: 10.08.2006

Код ссылки

<a href="https://patents.su/6-1840192-sposob-sozdaniya-struktury-diehlektrik-poluprovodnik-kadmijj-rtut-tellurid.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ создания структуры диэлектрик-полупроводник кадмий-ртуть-теллурид</a>

Похожие патенты