Раствор для избирательного травления меди

паОп .3.1 Я 593 А СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТ ИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН 4 уц С 23 Р 1/00; С 09 К 13/04 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ НИЯ личающийся тем, целью повышения качества раствор дополнительно сод евую или калиевую соль ок выбранную из группы, соде рий или, калий лимонно-ки или.калий винно-кислый, пр щем соотношении компоненто Перекись водорода фосфорная кислота Натриевая или калиевая соль оксикислоты, выбранная из группы, содержащей натрий или калий лимонно-кислый, натрий или калий винно- кислый 10"2 3 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРЛО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ . к двтоескомм саидктеЛьств(71) Минский радиотехнический ннститут(56) 1. Патент Японии В 47-47501,кл. 12 А 62; 1972.2. Авторское свидетельство СССРВ 729232, кл. С 09 К 13/04, 1977.(54) (57) РАСТВОР ДЛЯ ИЗБИРАТЕЛЬНОГО ТРАВЛЕНИЯ МЕДИ, содержащий перекись водорода и Фосфорную кислоту, о т -что, стравления,ркит натриикислоты,кащей натслый, натрийи следуюв, г/л:25-35025-3501151594 20 Изобретение относится к химической обработке, в частности к селективному травлению меди, и может быть использовано в радиотехнической промышленности и в других отраслях. 5Известен раствор травления, содержащий персульфат аммония, хлорид ртути, тиомочевину и серную кислоту 1,Недостатком данного раствора яв О ляется его относительно высокая скорость травления, что приводит к неравномерности ее. Кроме того, содержание ртути в растворе требует повышенных требований к технике безопасности.Наиболее близким по техническойсущности к изобретению является раствор для травления печатных плат, содержащий перекись водорода, фосфорную кислоту, каталитическую добавку и воду, причем в качестве каталитической добавки используют марганцевокислый калий 2 .Однако известный раствор не обеспечивает равномерности стравливаемого слоя, что при определенных условиях может привести к подтравливанию нижележащего слоя металла, особенно если его толщина значительноменьше толщины слоя меди.Целью изобретения является повышение.качества травления за счетравномерного и селективного удаления меди,Для достижения указанной цели раствор для избирательного травлениямеди,содержащий перекись водорода ифосфорную кислоту, дополнительно содержитнатриевую или калиевую соль оксикис-лоты, выбранную из группЫ, содержащей натрий или калий лимонно-кислый,натрий или калий винно-кислый, приследующем соотношении компонентов, г/л:Перекись водорода 25-350Фосфорная кислота 25-350Натриевая или калиеваясоль оксикислоты, выб., ранная из группы, содержащей натрий иликалий лимонно-кислый,натрий или калий вин- но-кислый 3На чертеже изображенасхема осуществления предложенного способа.В монелевое кольцо 1 (сплав никеля, железа, марганца и др.) методом запрессовки или развальцовки устанавливают медную пластину 2 толщиной 200-300 мкм. Затем проводят либо алмазное точение, либо полировку, обезжиривание и декапирование общей поверхности в водном растворе едкого натра с / -моноэтаноламином при =60-100 С 1-4 мин, промывают в проточной воде. Далее на отполированной общей поверхности (К 0,05) создают тонкий слой никеля толщиной 10-12 мкм электролитическим способом путем осаждения никеля из сернокислого электролита. Затем вновь промывают в проточной воде. Далее путем электрополировки или химической полировки доводят толщину пленки никеля до 6-8 мкм. Мембрану 3 покрывают органическим лаком. Затем проводят удаление медной пластины 2 путем травления 3-4 ч в предлагаемом растворе до полного ее удаления.Для травления приготовлены растворы, содержащие различные количества перекиси водорода, фосфорной кислоты и лимонно-кислого натрия.Результаты травления в предлагаемом и известных растворах представлены в таблице. Как видно из таблицы,.только предлагаемый раствор для травления обеспечивает улучшение качества травления за счет получения равномерности стравливаемого слоя.Преимущества предлагаемого раствора по сравнению с известными зеключаются в улучшении качества травления эа счет исклочения подтравливания нижележащих металлических слоев.Данный раствор травления для медиобладает селективностью воздействия,он неактивен ко многим металлам, например Т, Ч, Сг, Ре, Со.Годовой экономический эффектпри изготовлении 10000 шт. мембранконденсаторного микрофона составляет 639600 руб,1151594 КонцентФФ пп Примечание Времятравления,мин рациякомпонентов, гл трав- ления ления 120 50 6,0 120 Аммиак Т=40 Со 130 Остатки в отдельных местах меди Увеличение 250 шероховатостиникелевой 6,0 .5,2 250 150 пленки,Е, 0,32-0,16 100 25 6,0 5,9 Медь удаленаполностью 120 10 В местах пбл 150 ного стравливания меди начинается 2,4 60 5,9 200 0,05 350 6,0 5,8 То же 350 210 2.00 6,0 120 120 130 Состав раствора для травления 1 Пирофосфат калия Ха лимонно-кислый 2 Перекись водорода Фосфорная кислота Аммоний лимоннокислый.3 Перекись водорода фосфорная кислота Лимонно-кислый натрий Перекись водородаЗОЖ-ная Фосфорная кислота 4 Калий марганцево- кислый 5 Перекись водорода Фосфорная кислота Лимонно-кислыйнатрий 6 Пирофосфат калия о Аммиак Т=40 СТолщина пленки никеля,мкм до трав- после Стравливание пленки никеля с образованием сквозных отверстий медленноетравление никеля, неравномерностьпо толщинепленки никеля Стравливаниепленки никеляс образованием сквозныхотверстий диаметром 1 мм1151594 Продолжение таблицы Состав растворадля травления Примечание Толщина пленкиникеля, мкм КонУУ пп центрациякомпо после до травлениякентов, г/л трав- ления 7 Перекись водорода 6,0 6,0 250 180 фосфорная кислота 250 ти пленки никеля В 0,2:-0,1 Лимонно-кислыйнатрий 100 25 120 60 8 Перекись водорода фосфорная кислота Лимонно-кислыйнатрий 400 220 6,0 5,0 9 Перекись водорода фосфорная кислота 400 Лимонно-кислыйнатрий 250 Составитель В. Олейниченко Редактор П. Коссей Техрец О.Ващииииа Корректор Е. СирохманВремятравления,минЗаказ 2263/19 Тираж 900Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Рауаская наб., д, 4/5