Микроманипулятор

О П И-С А Н И-ЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 363578 Союз Советских Социалистических Республикфф Зависимое от авт. свидетельстьа-ачвлепо 03,11.1971 ( 1617099/25 М. Кл. В 251 7/00 с присоединением заявки-11 риорит Комитет по деламобретений и открытий 1ри Совете МинистровСССР ния 01,111,1973 Лвторыизобретения, Вершинин, Э. П, Павлов и В, М. Саикович аявитель МИКР ИПУЛЯТОР Опубликовано 25.Х 11.1972 Дата опубликования опис Изооретение относится к вакуумным координатчикам для манипулирования объектами исследований, находящигмися в высоковакуумных камерах.Известен микроманипулятор для систем высокого вакуума, несущая платформа которого жестко связана с коаксиальными валами и коаксиальными вакуумными вводами, перпегодикулярными плоскости платформы, и несет направляющие и предметный стол.10Предлагаемый манипулятор отличается от известных тем, что он снабжен третьим коаксиальным валом с шестерней, вводимой поступательным перемещением в зацепление с шестерней, закрепленной на оси предметного стола, установленного на подвижной опоре, направляющие которой жестко закреплены на раме, перемещающейся по направлявшим, перпендикулярным направляющим опоры, и жестко закреплены на несущей платформе, пли с зубчатой рейкой, входящей своим ползупом в паз опоры.На фиг, 1 показан описываемый микроманипулятор, общий вид; на фиг. 2 - разрез по предметному столу.25Предметный стол 1 координатнцка размещен на верхней плоскости подвижной опоры 2. В опоре имеется отверстие, в которое вставлена ось стола, К оси стола с нижней стороны опоры прикреплена шестерня 3. На ниж- оя оллетень4 за 17" УДК 53.083.98(088.8) неи стороне опоры имеется паз. Сквозь отверстия на концах опоры проходят две горнзонтальные направляющие 4, концы котор 1 лх закреплены в подвижной раме 5. К подвижнои раме жестко прикреплена рейка б. Сквозь отверстия в подвижной раме проходят еще две горизонтальные направляющие 7, перпендикулярные направляющим 4. Концы направляющих 7 закреплены в стойках 8, укрепленных на несущей платформе 9, к которой прикреплена скоба 10 с отверстием и пазом. В этол 1 пазу находится хвостовик рейки 11, На рейке укреплен ползун 12, входящий в паз, расположенный на нижней стороне опоры 2. Б центре несущей платформы имеется отверстие, соосное отверстию в скобе. Несущая платформа закреплена на фланцс первого полого вертикального вала 13, проходящего через вакуумный ввод 14, расположенный на стенке рабочей камеры. На нижний конец вала 13 навинчен диск 15, фиксируемый контргайкой 16, с прикрепленной к нему линейкой 17, На валу 13 закреплена также шайба 18 с выступами.Внутри первого вала соосно с ннм проходит второй полый вал 19, на верхнем конце которого укреплена шестерня 20, находя 1 цаяся в зацеплении с рейкой 6. Вал 19 проходит через вакуумный ввод 21 в диске 15. К нижнему концу этого вала приварен диск 22 с делениями на периферийной части. Внутри второто полого вала через вакуумный ввод 23, размещенный в диске 22, соосно с ним проходит третий вал 24, на верхнем конце которого укреплена шестерня 25, которая может находиться в зацеплении либо с рейкой 11, либо с 5 шестерней 3. На нижнем конце вала 24 укреплен диск 2 б с делениями на периферийной части. Вакуумный ввод 14 с резиновой прокладкой прикреплен к стенке рабочей камеры с,помощью гайки 27, На выступ ввода опирается 0 стакан 28 с рукоятками 29. К стакану 28 прикреплен стакан 30 с двумя пазами и отверстием, На наружной поверхности стакана 30 имеется резьба. На стакан навпнчена шайба И с канавкой и рукоятками 32, в которую входят выступы шайбы, проходящие через пазы стакана 30.Вакуумные вводы 14, 21 и 23 конструктизно выполнены одинаково и состоят из деталей (корпуса, нажимной гайки, шайбы, фторопластовой втулки, резиновой прокладки), отличающихся лишь геометрическими размерами.Продольными перемещениями назовем перемещения вдоль направляющих 4, поперсч 25 дыми - перемещения вдоль направляющих 7 и вертикальными - перемещения вдоль оси системы коаксиальнь 1 х валов 13, 19 и 24.Внутренний вал 24 может перемещаться относитель 1 но всех остальных деталей коордннатника в вертикальном направлении.Для перемещения опоры 2, а следовательнои стола 1 в продольном направлении вал 24 смешается вниз. Тем самым шестерня 25 вводится в зацепление с рейкой 11. Вращение шестерни 25 обеспечивается вращением диска 2 б. При этом рейка 11 перемещается в продольном направлении, а прикрепленный к рейке ползун 12 перемещает опору 2 со столом 1 в том же направлении (независпмо от положе 40 ния ползуна в пазу опоры).Поперечное перемещение предметного стола 1 обеспечивается вращением диска 22, При этом рейка б, находящаяся в зацеплении с шестерней 20 и жестко скерпленная с псдвижиои рамой 5, перемешает раму, а также опору 2 и стол 1 в поперечном направленни.Вертикальное перемещение несущей платформы 9, а следовательно, и предметного стола обеспечивается вращением шайбы 31.Помимо поступательных перемещений можно осуществлять, порознь вращение несущей платформы 9 и вращение стола 1. Вращение несущей платформы 9 осуществляется ,вращением стакана 28. Для вращения стола 1 вокруг его оси вал 24 смещается вверх, и шестерня 25 вводится в зацепление с шестерней 3. После этого вращение стола 1 обеспечивается вращением диска 2 б,Величина продольных, поперечных и вращательных перемещений отсчитывается по делениям, нанесенным на соотвстспвуюшие диски. Величины вертикальных перемещений определяются с помощью линейки 17.Предмет изобретенияМикроманипулятор, несущая платформа которого жестко связана с коаксиальными вакуумными вводами, перпендикулярными плоскости платформы, и несет направляющие, подвижную опору с зубчатой рейкой и предметный стол с шестерней, отличаюи,ийся тем, что, с целью повышения универсальности путем выполнения стола с дополнительными степенями свободы, он снабжен третьим коаксиальным валом с шестерней, вводимой поступательным перемещением в зацепление с шестерней, закрепленной на оси предметного стола, установленного на подвижной опоре, направляющие которой жеспко закреплены на раме, перемещающейся по направляющим, перпендикулярным направляющим опоры, и жестко закреплены на несущей платформе или с зубчатой рейкой, входящей своим ползуном в паз опоры.,в Фиг 2 Составитель В. Тупицына Техред Т, Миронова Корректор Е, Зимина дактор Т. Ларина п. Харьк. фил. пред. Патент Заказ 25/279 Изд.1060 Тираж 404 Подпснос ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров ССС Москва, Ж-З 5, Раушская наб., д. 4/5