Интерферометр для контроля качества вогнутых отражающих поверхностей вращения

20721 ОПИСАН И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик(088,8) Комитет по делам зобретений и открытий при Совете Министров СССРликовано 08.1 Х.1967, Бюллетень18 ата опубликования описания 1 З.Х 1.196 Авторизобретени, Т. Пуряев Заявитель НТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ВОГНУТЫХ ОТРАЖАЮЩИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ВРАЩЕНИЯИзвест качества стей вра и рабочу тролируев позволяю поверхнос лазон ко параболи второй п их разно с асфери ные интерферометры для контроля вогнутых параболических,поверхнощения, содержащие эталонную ветвь ю ветвь с установленными в ней контой деталью и компенсатором, не т контролировать параболические ти выпуклых линз, расширить диантролируемых фокусных расстояний ческих поверхностей линз с плоской оверхностью или исключить влияние фокусности и контролировать линзы ческой второй поверхностью. Интерферометр по настоящему изобретению отличается от известных тем, что в нем компенсатор установлен на оптическом контакте со второй поверхностью контролируемой детали и выполнен в виде линзы с плоской поверхностью и коэффициентом преломления, равным коэффициенту преломления контролируемой детали, а:сумма толщин компенсатора и контролируемой детали равна фокусному расстоянию отражающей поверхности. Отличием является также и то, что компенсатор может быть выполнен в виде составленной из двух клиньев плоскопараллельной пластинки переменной толщины или кюветы с иммерсионной жидкостью.На чертеже изображена, принципиальная схема описываемого интерферометра. Интерферометр содержит источник света 1,точечную диафрагму 2, объектив З,коллиматора, полупрозрачное зеркало 4, эталонный объектив 5, плоское зеркало б, дополнительную линзу 7, контролируемую линзу 8, объектив 9 для зрительной трубы и диафрагму 10.В рабочей, ветви интерферометра на оптическом контакте со второй поверхностью контролируемой линзы 8 установлена дополни тельная линза 7, плоская поверхность которой совпадает с фокальной,плоскостью отражающей параболической поверхности, а показатели преломления линз 7 и 8 одинаковы.При этом толщина дополнительной линзы рав на разности между фокусным расстоянием отражающей,параболической .поверхности и толщиной контролируемой линзы, На плоской поверхности дополнительной линзы 7 нанесено зеркальное ,покрытие, размер которого 20 практически исключает центральное виньетирование. Такое устройство рабочей ветви интерферометра дает возможность осуществить ход лучей, при котором выпуклая параболическая поверхность работает как вогнутое 25 параболическое зеркало, фокусируя действительные лучи, падающие, параллельным пучком на параболическую поверхность.Предлагаемый способ позволяет контролировать качество выпуклых, параболических 30 линз только по интерфернционным кольцам,Получение интерференционных полос принципиально невозможнопоэтому определение очень малых:погрешностей затруднено.Описываемый интерферометр применим практически для любой формы второй, поверхности параболической линзы 8 (а, б, в, г). При контроле серии одинаковых линз, например,:выпукло-плоских (в), дополнительную линзу можно выполнить переменной толщины, в виде двух, подвижных клиньев, образующих,плоскопараллельную пластинку, с целью расширения диапазона фокусных расстояний отражающих параболических поверхностей или исключения влияния их разнофокусности. Для контроля лииз, вторая поверхность которых является асферической, шлифованной или грубообработанной, последняя может быть установлена в кювете с иммерсионной жидкостью, показатель преломления которой равен показателю лреломления контролируемой линзы (г).Предлагаемый способ принципиально не.применим для контроля линз, толщина которых больше фокусного расстояния отражающей параболической поверхности, и наиболее удачен для .контроля линз, имеющих небольшое,фокусное расстояние отражающей, параболической поверхности.Применение современных источников света, например оптических квантовых генераторов, лозволит контролировать линзы, имеющие,практически неограниченное относительное отверстие отражающей, параболической поверхностипри этом в рабочей ветви может быть установлено только одно, плоское зеркало, В зависимости от мощности применяемого источника света, параболическая поверхность либо имеет зеркальное покрытие, либо работает без него как полированная отражающая 5 поверхность.Предмет изобретения1. Илтерферометр для контроля качествавогнутых отражающих поверхностей,враще 10 ния, содержащий эталонную ветвь и рабочуюветвь с установленными в ней контролируемойдеталью и комленсатором, отличающийся тем,что, с целью контроля, параболических поверхностей выпуклых линз, компвнсатор уста 15 новлен,на оптическом контакте со второйговерхностью контролируемой детали и выполнен в виде линзы с плоской поверхностьюи коэффициентом преломления, равным коэффициенту преломления контролируемой дета 20 ли, а сумма толщин компенсатора и контролируемой детали равна фокусному расстоянию отражающей, поверхности.2. Интерферометр,по,п, 1, отличающийсятем, что, с целью расширения диапазона кон 25 тролируемых фокусных расстояний параболических поверхностей линз с плоской второйповерхностью или исключения влияния ихразнофокусности, компенсатор выполнен ввиде составленной из двух клиньев ллоскопаЗО раллельной,пластинки,3. Интерферометр по,п, 1, отличающийсятем, что, с целью контроля линз с асферической второй поверхностьюкомпенсатор выполнен в виде кюветы с иммерсионной жид 35 костью.201721 Редактор А. А. Эй аказ 3455/16 Тираж 535 Подписно ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Центр, пр, Серова, д. 4