Интерферометр для контроля формы выпуклых сферических поверхностей

ового КрасногоН.Э. Баумана амени высшее техническое училище(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ВЫПУКЛЬ СФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ контроль- предназ- выпуклых з котор Изобретение отио но-измерительной те начено для .контроля сферических поверхн быть использовано п производстве, занят крупногабаритныхоп лей. ек итс нике, формы стей,и может ственно м изг влени ес де Известен интерферометр для контроля формы выпуклых сферических поверхностей линз большого диаметра, содержащий монохроматический источник света, осветительную систему, светоделитель объектов, компенсатор, сферическое зеркало и регистратор интерференционной картины 13.Недостатками известного интерфе-. рометра являются сложность конструкции, обусловленная наличием большого количества оптических элементов, а также снижение точности контроля за счет ошибок формы неконтролируемой поверхности линзы и,неоднородности ст ла, и огоона изготовлена.Наиболее близким по техническойсущности и достигаемому результатук изобретению является интерферометрдля контроля формы выпуклых сферических поверхностей, содержащий монохроматический источник светй, расположенные последовательно по ходуего лучей осветительную систему, све- ОЭтоделитель, объектив, выпукло-вогнутую менисковую линзу и регистратор интерференционной картины, оптически сопрягаемый через светоделительс контролируемойповерхностьюГ 23 5Недостатком известного интерферометра является сложность конструкции,. обусловленная наличием объектива, диаметр которого превышает диаметр контролируемой поверхности,Цель изобретения - упрощение конструкции интерферометра.Указанная цель достигается тем,что менисковая линза выполнена поло911144 3жительной и на обе ее поверхности нанесено светоделительное покрытие.На чертеже приведена принципиальная схема интерферометра для контроля формы выпускных сферических поверхностей.Интерферометр содержит монохроматический источник 1 света, расположенные последовательно по ходу его лучей осветительную систему 2, све тоделитель 3, выпукло-вогнутую менисковую линзу 4 и регистратор 5 интерференционной картины, Регистратор 5 оптически сопрягается через свето- делитель 3 с контролируемой поверх з ностью 6, ориентируемой концентрично вогнутой поверхности менисковой линзы 4.Менисковая линза 4 выполнена положительной, а на обе ее поверхности нанесено светоделительное покрытие.Интерферометр работает следующимобразом.Источнйк 1 и осветительная система 2 формируют сферический волновой фронт, который проходит светоделитель 3, преломляется выпуклой поверх. ностью менисковой линзы 4, последовательно отражается от светоделитель- ных, нанесенных на ее вогнутую и выпуклую поверхности, и распространяется по нормалям к вогнутой поверхности. Вогнутая поверхность меннсковой линзы 4 является эталонной, а нанесенное на нее светоделительное: 35 покрытие делит падающий по нормалям к этой поверхности волновой фронт на две части.Одна часть отражается от вогнутой поверхности менисковой линзы 4 и представляет собой опорнйй волновой фронт, другая часть проходит эту поверхность и представляет собой рабочий волновой фронт, который падает 4по нормалям на контролируемую по" верхность 6, отражается от нее и ннтерферирует с опорным волновым, фронтом на вогнутой поверхности менисковой линзы 4. Получаемая интерференцн. онная картина несет информацию об ошибках формы контролируемой поверхности 6 и фиксируется регистрато ром 5.Нанесение светоделительного покрытия на поверхности .менисковой линзы, выполненной положительной, позволяет упростить конструкцию интерферометра за счет исключения объекта. формула изобретения Интерферометр для контроля формы выпуклых сферических поверхностей, содержащий монохроматический источник света, расположенные последовательно по ходу его лучей осветительную систему, светоделитель, объектив, выпукло-вогнутую меннсковую линзу и регистратор интерференционнойкартины, оптически сопрягаемый через светоделитель с контролируемой поверхностью, о т л н ч а ю щ и й с я. тем, что, с целью упрощения конструкции, менисковая линза выйолнена положительной и на обе ее поверхности нанесено светоделительное покрытие. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1., Авторское свидетельство СССРФ 448347, кл. С 01 В 9/02, 1972.2. Коломийцов Ю. В., Духонел И.И.Бесконтактный интерференционный методконтроля сферических поверхностейлинз, "Оптика и спектроскопия",1956,т. , вып. 1, с. 94-101 (прототип) .911144 Составитель О. Фоминедактор Н, Рогулич Техред В.Харитончик Корректо Синицкая Заказ 1099/22 ВНИИЛИо ми ск ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,ил/ Тираж 6 Государственного к по делам изобретений 13035, Москва, Ж, Раув