Интерферометр для контроля поверхно-сти детали

ио денем изобретенийи еткрытий(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПОВЕРХНОСТИДЕТАЛИИзобретение относится к контрольноизмерительной технике, в частности к средствам контроля цилиндрической поверхности детали с интерференционной точностью, например деталей из оптического стекла.Известен интерферометр для контроляповерхности детали, содержащий источник света (лазер), объектив, коническую линзу, голограмму и экран 1.Недостатком этого интерферометра является невозможность комплексного контроля, а также то, что диаметр конической линзы ограничивает наружный диаметр цилиндрической детали, чрезвычайно затруднено измерение дефектов иэ-эа пере менной цены интерференционной полосы, которая зависит отугла падения лучей на цилиндрическую поверхность.Наиболее близким к изобретению является интерферометр для контроля поверхности детали, содержащий источник света, светоделитель, делящий световой поток на две ветви, три зеркала, два из которыхпараллельны между собой ирасположенысоответственно в каждой из ветвей под углом 45 к оптической оси интерферометра,па вю 2зеркалвм, регистрирующее устройство и держатель детали 2 .Недостатками указанного интерферометра являются низкие производительность и точность контроля цилиндрических поверхностей.Целью изобретения является повышениепроизводительности и точности контроля цилиндрических поверхностей.Поставленная цель достигается тем, чтоинтерферометр снабжен двумя цилиндри 1 а ческими линзами, расположенными междуодним из двух параллельных зеркал и третьим зеркалом так, что их фокальные плоскости совмещены, а держатель детали размещен между этими линзами так, что его ось симметрии совмещена с обшей фокаль- И ,ной плоскостью.На чертеже изображена. принципиальная схема цнтерферометра для контроля поверхности детали. Интерферометр содержит источник 1 2 ф света, светоделитель 2, зеркала 3 и 4, рас.положенные параллельно междусобой и под углом 45 к оптической оси интерферометоя тойтье эепкяло 5. лве иилиндпические линзы 6 и 7, держатель 8 детали 9,регистрирующее устройство 10,Ось симметрии держателя детали совмещена с общей фокальной плоскостьюцилиндрических линз.Интерферометр работает следующим образом,До установки контролируемой деталипроизводится замер инструментальной погрешности интерферометра, Для этого параллельный пучок лучей из источника 1света разделяется светоделителем 2 надвапучка, которые, пройдя зеркала. 3 и 4, а затем и цилиндрйческие линзы 6 и 7, суммируются светоделителем 2 и регистрируютсяустройством 10, При этом интерференционная картина будет отражать собственныенеточности двух цилиндрических линз 6 ии возможные дефекты их установки.При размещении детали 9 в держатель 8свет после прохождения светоделителя 2и зеркал 3 и 4 будет сфокусирован линзами 6 и 7 на цилиндрическую поверхностьдетали 9. Отразившись от нее, он суммирует, ся на светоделителе 2 и попадает в регистрирующее устройство О. В результате наблюдают интерференциоиную картину отпротивоположных поверхностей цилиндрической детали, При изменении ширины полосили их искривлении можно судить о некруглости, цилиндра, его конусности и прямолинейности образующей. Оценка дефекгов ведется по ширине полосы, которая неискажается и равна 0,00025 мм, Г 1 ри этомучитывается и инструментальная погрешность устройства.Таким образом, интерферометр позволяетпроизводить комплексный бесконтактныйо контроль цилиндрической поверхности при значительном повышении точности за счет исключения инструментальной погрешности, В цеховых условиях он позволяет комплексно контролировать серийно выпускаемые 3 детали с цилиндрической поверхностью иоценивать их дефекты с точностью до половины полосы (0,000125 мм),формула изобретенияфИнтерферометр для контроля поверхности детали, содержащий источник света, светоделитель, делящий световой поток на две ветви, три зеркала, два из которых параллельнымежду собой и расположены соответственно в каждой из ветвей под углом 45 к оптической оси интерферометра, а третье перпендикулярно этим двум зеркалам, регистрирующее устройство и держатель детали, отличающийся тем, что, с 20 целью повышения производительности иточности контроля цилиндрических поверх.ностей, он снабжен двумя цилиндрическими линзами расположенными между одним из двух параллельных зеркал и третьим зерка-, лом так, что их фокальные плоскости совмещены, а держатель детали размещен между этими линзами так, что его ось симметрии совмещена с общей фокальной плоскостью. Источники информации,эв принятые во внимание при экспертизе1, Коломийцов О. В. Интерферометры