Интерферометр для контроля вогнутых сферических поверхностей

. Лазарев Московское ордена Ленина, ордена-Октябрьской Революции и орденаТрудового Красного Знамени высшее техническое училище им. Н. Э. Баумана 3) Заявитель ЕРФЕРОМЕ СФЕРИЧЕ ДЛЯ КОНТРОЛЯ ВОГНУТКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ Изобретение относится к оптическому при. боростроению и предназначено для контроля формы высокоапертурных вогнутых сферичес. ких поверхностей.Известен интерферометр для контроля качества вогнутых сферических поверхностей, со держащий источник монохроматического излучения, фокусирующий объектив, светоделйтель в виде кубика, образованного склеиванием двух прямоугольных призм, эталонное сфери. ческое зеркало и регистратор интерференци. онной картины 13Недостатками известного интерферометра являются ограниченность диапазона апертур контролируемых поверхностей, сравнительно невысокая точность и производительность контроля. Эти недостатки обусловлены тем, что кубик вносит сверическую аберрацию в пучок и предъявляются настолько высокие требова. ния к качеству его изготовления, что они труд. но выполнимы на практике.Наиболее близким к изобретению по технической сущности является интерферометр для контроля вогнутых свернческих поверхностей,содержащии источник монохроматического излучения и последовательно расположенные по ходу излучения от источника объектив и свето- делитель, на одном выходе излучения из кото рого установлена линза, на другом - регистра. тор интерференционной картины 12.Недостатками этого интерферометра являют. ся ограниченность диапазона апертур контроли. руемых поверхностей, сравнительно невысокая точность и производительность контроля, что обусловлено высокими требованиями, предъявляемыми к точности изготовления светодели. теля, и сложностью процесса юстировки интер. феро метра.Целью изобретения является расширение диапазона контролируемых поверхностей, повышение точности и производительности контроля,Указанная цель достигается тем, что в интер. ферометре, содержащем источник монохроматического излучения и последовательно распо ложенные по ходу излучения от источника объектив и светоделитель, на одном выходе излучения из которого установлена линза, на другом - регистратор интерференционной кар3 920367 тины, линза выполнена менисковой неаплана-.тической, вогнутая поверхность линзы обраще.на к светоделителю, радиускривизны поверхности линзы определяется из соотношения ьИ) а изоб ния Интерферометр для контроля вогнутых сфе.рических поверхностей, содержащий источник 1% монохроматического излучения и последовательно расположенные по ходу излучения отисточника объектив и светоделитель, на одномвыходе излучения иэ которого установленалинза, на другом - регистратор интерферен.ционной картины, о т л и ч а в щ и й с ятем, чтос целью расширения диапазона конт.ролируемых поверхностей, повышения точности и производительности контроля, линза вы.полнена менисковой неапланатической, вогну.тая поверхность линзы обращена к светодеапелю, радиус кривизны поверхности линзыопределяется из соотношенияоФ -Ф-п 1(й-Е,)Ф с 1 с линзы;ветодели с На черннтерфе хема 1 мойо.2, свето- ффбика, менисгистратор р хроматич деапель ковув н 5 интерф Интера зом, 30Излучение от источника 1 фокусируется объективом 2, проходит через светоделитель 3, линзу 4, и направляется к контролируемой поверхности 6. Излучение, отраженное от вы.пуклой поверхности линзы 4, образует эталон- а ный волновой фронт сравнения. Излучение, от . раженное от контролируемой цоверхности 6, образует исследуемый волновой фронт. Ис.следуемый и эталонный волновые фронты интерферируют между собой и образуют интер В ференцноннув картину, для регистрации кото рой служит регистратор 5 интерференционной картины. По виду интерференционной картины судят о форме контролируемой поверхностиТаким образом, выполнение линзы мени вой неаиаапатической, конструктивные парам ры которой связаны указанными соотноше.пнями с параметрами светоделителя, позволяет повысить точность контроля благодаря тоЫеЬСл е) Ос пл 6,ско аетпринять1. "Опти1973, Иф 82. Автокл. 6 01 У 373519,). абсолютная величина радиуса вотой поверхности линзы;абсолютная величина радиуса вьпуклой поверхности линзы;толщина линзы;толщина светоделителя;показатель преломленияпоказатель преломления стеля. теже представлена оптичесрометра,ферометр содержит источникеского излучения, объектив3,. выполненный в виде капланатическую линзу 4, реренционной картины.ферометр работает следующи 4му, что когерентные лучи образуются на вы.пуклой поверхности линзы. Повышение произ.водительности контроля достигается благодарятому, что процесс юстировки интерферометразначительно упрощен и сводится, по существу,к совмещению автоколлимацмонной точки отвыпуклой поверхности линзы с предметнойточкой объектива. абсолютная величина радиуса вогну.той поверхности линзы;абсолютная величина радиуса въшуклой поверхности линзы;толщина линзы;толщина светоделителя;показатель преломлении линзы;показатель преломления светоделителя.Источники информации,е во внимание при экспертизеко-механическая промышленностьюс, 50-58,рское свидетельство СССРВ 902, 19.07.73 (прототип9203 б 7 Составитель Н, ЗахаренкТехреду Х. Маточка ,.с Корректор В. Бутяга 0 4 го комитета СССР и открытий Рвушскаяиаб, д. 4/акаэ 23133 о свое НИИП Государствеииоам изобретенийсква, Ж,3 ИОЗ Филиал ППП "Патеит", т. Ужгород, ул, Проектная, 4