Способ приготовления тест-объекта в виде штриховой меры для градуировки увеличения электронных микроскопов

(57) Изобретение логии приготовлен виде штриховой и решеток (ДР) и м вано для градуир эйектронных микр относится к техноия тест-объектов в ры с дифракционных жет быть использовки увеличения скопов. Целью иэоб а решеткНа дифракточечныйная крешеткмеждурешеткПерпенрешеткизуба. и вытрихов ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗК АВТОРСКОМУ СВИДЕ(71) Сумское производственное объединение "Электрон"(56) Методика электронной микроскопии. /Под ред. Г.Шиммеля. М,: Мир, с. 119-122.Авторское свидетельство СССР Р 1272160, кл. С 01 Б 1/28, 1986. (54) СПОСОБ ПРИГОТОВЛЕНИЯ ТЕСТ-ОБЪЕК ТА В ВИДЕ ШТРИХОВОЙ МЕРЫ ДЛЯ ГРАДУИРОВКИ УВЕЛИЧЕНИЯ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОС- КОПОВ Изобретение относится к технологии приготовления тест-объектов в электронной микроскопии и может быть использовано для градуировки увеличения электронных микроскопов.Целью изобретения является повьппение качества и метрологических характеристик тест-обьекта за счет стабилизации периодической структуры равнивания геометрии профиля ш на реплике, снимаемой с поверхности дифракционной решетки. ретения является повышение качества и метрологических характеристик тест- объекта эа счет стабилизации периоди-, ческой структуры и выравнивания геометрии профиля штрихов на реплике, снимаемой с поверхности ДР. Перед напылением на поверхность ДР слоя углерода для образования реплики предварительно напыляют слой вспомогательного растворимого в воде вещества от точечного источника под углом, близким к углумежду перпендикуляром к поверхности ДР и меньшей гранью зуба. Это обеспечивается расположе- нием,точечного источника на перпендикуляре к краю ДР со стороны боль- дФ шей грани зуба на расстоянии от плоскости ДР, равном аср, где а - поперечная к зубьям длина ДР. Напыление вспомогательного вещества под ( определенным углом позволяет сгладить микронеровности кромки зуба, а его растворимость в воде облегчает отделение реплики и стабильность ее, геометрических размеров. 1 ил. ертеже показана дифракционнаяпоперечный разрез,ерпендикуляре 2 к поверхности ционной решетки 1 расположенисточник испарения, Поперечзубьям длина дифракционной1 обозначена а, острый угол ерпендикуляром к поверхностии меньшей гранью 3 зуба -дикуляр 2 восстановлен к краюсо стороны большей граниСущность способа заключается втом, что перед напылением на поверхность дифракционной решетки слоя углеропа для образования реплики, предварительно напыляют слой вспомогательного растворимого в воде вешества от точечного источника испаренияпод углом, близким к углу 9 , Этообеспечивается определенным расположением точечного источника, установленного на расстоянии от поверхностирешетки, равном 1 = а . сСдф.При этом на меньшей грани зуба,на которую впоследствии наносится 15оттеняющий слой, обуславливающий качество и периодичность структуры,происходит сглаживание рельефа имикронеровностей кромки зуба, выз"ванных механическими деформациямии повреждениями в процессе нарезания зуба на поверхности стекла.Одновременно нанесенный промежуточныйслой исключает искажение периодичности, связанное с механическими деформациями реплики в процессе ее отделения,20 П р и м е р. На очищенную дифракционную решетку из точечного источЗО ника испарения напыляют слой хлористого натрия толщиной до 10 нм, При этом испаритель размещается на перпендикуляре к краю решетки со стороны большей грани зуба (грани,противоположной той, на которую наносится оттеняющий слой).После этого-на сформированный подслой напыляют слой углерода толщиб ,ной 15 нм, на которую под углом 5 к плоскости решетки со стороны мень 40 шей грани напыляют слой триокиси вольфрама толщиной 30-40 нм. Дифракционную решетку с нанесенными слоями медленно опускают под углом45 30 О в сосуд с дистиллированной водой до полного отслоения реплики в результате растворения вспомогательного вещества. Полученную реплику вылавливают на электролитическую сетку, высушивают в наклонном состоя нии и затем вырезаот специальным пробойником тест-объект требуемой конфигурации. Полученный тест-объект устанавливают в держатель образца электронного микроскопа и, выводя последний на рабочий режим, получают сфокусированное изображение штрихов полученной реплики.Получаемые тест-объекты имеют достаточно ровные кромки штрихов и хорошо воспроизводят метрологические характеристики дифракционной решетки. При этом значительно упрощается отделение реплики от поверхности решетки и сокращается время на ее приготовление,Формула изобретенияСпособ приготовления тест-объекта . в виде штриховой меры для градуировки увеличения электронных микроскопов, включающий подготовку поверхности стеклянной дифракционной решетки. с несимметричным треугольным профилем зуба, напыление на поверхность дифракционной решетки слЬя углерода и последующее отделение реплики, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения качества и метрологических характеристик тест-объекта за счет стабилизации периодической структуры и выравнивания геометрии профиля штрихов на реплике, подготовку поверхности дифракционной решетки осуществляют путем напыления на нее слоя вспомогательного растворимого в воде вещества от точечного источника испарения, расположенного на перпендикуляре к краю решетки со стороны большей грани зуба на расстоянии 1 от плоскости решетки, равном1 аседу,где а - поперечная к зубьям длинадифракционной решетки;Ч - острый угол между перпендикуляром к поверхности решетки и меньшей гранью зуба.1597669 Составитель В. Гаврюшинедактор А,ШандорТехред М.Ходанич ле аррект одписное КНТ СЧСР рьггиям 4/5Гагарина, 10 Ужгор Производственно-издательский хомбин тент Заказ 3046 Тираж 498ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и113035, Москва, Ж, Раушская наб