Способ получения видимого изображения на структуре а s а

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 5)5 6 03 С ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОПРИ ГКНТ СССР ТЕТРЫТИ САНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ ВИДЕТЕЛЬСТВ АВТОРСКО к способам получения изображения на халькогенидных структурах, и может найти применение в системах записи информации и голографии, Цель - повышение светочувствительности структуры, Исходную структуру Аз 2 Яз/Ац освещают избирательно видимым светом с энергетической освещенностью10 мВт/см в течение времени т 300/1 с, а затем светом того же спектрального состава неизбирательного и с энгергетической освещенностью 50 мВт/см . Светочувствительность возрастает от 0,3 до 3,0 см /Дж. 1 табл. Иоффе ельт(54) СПОСО ИЗОБРАЖЕН (57) Изобрете ческой обраб Блокирующий слой, приводящий к повышению светочувствительности, образуется при энергетической освещенности10 мВт/см, При10 мВт/см блокирующий слой не образуется и повышения светочувствительности не наблюдается,Для повышения светочувствительности необходимо, чтобы за время экспонирования успел сформироваться блокирующий слой. Блокирующий слой формируется при временах экспонсирования 1300/1 с, При временах т 300/1 с блокирующий слой не формируется и повышения светочувствительности не происходит,П р и м е р 1, Двухслойная светорегистрирующая система Аз 2 Яз/Ац была получена следующим образом, На подложку из полированного оксидного стекла толщиной 1,8 мм термическим испарением в вакууме напыляли слои Аз 2 Яз и Ад. Для испарения был взят сульфид мышьяка, синтезированный из исходных компонентов: Я (ОСЧ-5) и Аз (ОСЧ - 17 - 4). Материалы в соотношении 3:2 помещали в кварцевую ампулу, затем отка(21) 4359324/10(56) Авторское свидетельство СССМ 360009, кл. Н 03 К 3/06, 1976,Б ПОЛУЧЕНИЯ ВИДИМОГО ИЯ НА СТРУКТУРЕ А 32 Яз/Ад ние относится к области опти отки информации, в частност Изобретение относится к области оптической обработки информации, в частности к способу получения изображения на халькогенидных структурах, и может найти применение в системах записи информации и голографии.Цель изобретения - повышение свето- чувствительности структуры.Физической основой предлагаемого способа является разница в механизме взаимодействия Ац с Аз 2 Яз в зависимости от интенсивности действующего света. Как показали эксперименты, при облучении структуры Аз 2 Яз/Ад "слабым" светом образуется АдзАзЯз. а при облучении "сильным" светом - Ад 2 Я. АдзАЗЯз образующийся при предварительном экспонировании "слабым" светом, является блокирующим слоем, препятствующим дальнейшему растворению Ац в АЗ 2 ЯЗ при освещении "сильным" светом. Формирование блокирующего слоя при первом экспонировании создает основу для получения видимого изображения при втором облучении.чивали ампулы до давления остаточных газов 10торр и запаивали, Ампулу нагревали до 700 С, выдерживали при этой температуре 10 ч и охлаждали до комнатной температуры. Полученное стекло Аз 25 з использовали для получения пленки. Используемое для напыления серебро имеет квалификацию ЧДА (ТУ 5 П- 70), Напыление обоих слоев проводили на установке АВП-О.5. Навески Аз 25 з(0,2 г) и (0,05 г) помещали в две разные лодочки, изготовленные из танталовой ленты, Лодочки подключали к контактам, через которые на испарители подается напряжение. Над испарителями на стеклянном стакане высотой 16 см размещали подложки (полированные стеклянные пластинки) и кварцевый датчик прибора КИТ, с помощью которого определяли толщину иапыляемых слоев Аз 25 з и Ац, Затем проводили откачку до давления остаточн ых газов 6 10 мм рт.ст, После достижения необходимого вакуума проводили напыление пленки Аз 2 Яз. Для этого через испаритель пропускали ток 18 А, обеспечивающий испарение Аз 2 Яз в течение времени в нашем эксперименте 180 с), необходимого для получения пленки толщиной 0,3 мкм. Толщину пленки измеряли в процессе напыления с помощью кварцевого измерителя толщины КИТ - 1, после чего делали пятиминутный перерыв. Затем в той же вакуумной камере напыляли слой Ао (ток через испаритель - 17 А, время напыления 55 с, толщина слоя Ао 750 А ). Полученную светочувствительную структуру в темноте извлекали из напылительиой уста но в к и.Экспонирование проводили полихроматическим светом от проектора ЛЭТИ - 60. Светочувствительная структура размещалась на расстоянии 10 см от объектива проектора, Для формирования изображения между проектором и светорегистрирующей структурой помещался фотошаблон, механически прижатый к светорегистрирующей структуре. Для получения слабого света, формирующего изображение, между объективом и светочувствительной структурой помещался нейтральный светофильтр из 5 стекла НС - 6 толщиной 2,2 мм, При этих условиях энергетическая освещенность 1 составила на поверхности светочувстительной пластины 6 мВт/см . Облучение проводили в2течение 1 мин, После этого проводили равно мерную засветку светочувствительной пластины светом с= 120 мВт/см (полный свет проектора ЛЭТИ - 60 на расстоянии 10 см от обьектива) в течение 3 мин, В результате на светорегистрирующей структуре было сфор мировано изображение, контрастность которого составляла К = 5,2. Полученное изображение характеризуется разрешением, позволяющим различать элементы с размерами порядка 2 мкм, Светочувствительность 20 составила 3 см /Дж.В примерах 2-4 оптическое изображение получено в результате экспонирования структуры Аз 23 з светом различной энергетической освещенности при разных времен ных экспонирования. Результаты экспериментоасведены в таблицу. В этой же таблице приведены сведения об изображении, полученном по способу-про"отипу.Величина, обрат ая плотности энергии, 30 необходимой для изменения оптическойплотности в 2 раза, характеризует достигнутую светочувствительность.Формула изобретения Способ получения видимого изображе ния на структуре Аз 25 з/Ац, включающий избирательное освещение видимым светом, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что. с целью повышения светочувствительности структуры, освещение проводят светом с энергетической 40 освещенностью 10 м Вт/см 2 в течение времени 1 300/1 с, а затем неизбирательно светом того же спектрального состава, но с энергетической освецениостью 1 50 мВт/см 21577552 Составитель В,АндреевТехред М,Моргентал Корректор Т.Колб Редактор И.Шубина Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 Заказ 4645 Тираж 269 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва. Ж, Раушская наб 4(5