Солонинко
Структура для контроля степени оплавления планаризующего диэлектрика
Номер патента: 1667567
Опубликовано: 20.01.2008
Авторы: Гранько, Солонинко, Турцевич, Чигирь
МПК: H01L 21/66
Метки: диэлектрика, оплавления, планаризующего, степени, структура
Структура для контроля степени оплавления планаризующего диэлектрика при изготовлении интегральных схем, включающая полупроводниковую подложку со сформированными на ней параллельными токопроводящими дорожками с трапецеидальным сечением и углом между нижним основанием трапеции и боковой стороной не менее 45°, покрытых слоем планаризующего диэлектрика, отличающаяся тем, что, с целью обеспечения возможности неразрушающего контроля и разбраковки пластин, токопроводящие дорожки шириной b расположены на расстоянии a i на полувысоте микрорельефа, и выполнены высотой h, удовлетворяющих условию ai=(1+k)·a i-1, aмакс
Способ оптического контроля дефектов нижних слоев кремниевых структур
Номер патента: 1819068
Опубликовано: 27.10.1996
Авторы: Поборцев, Солонинко, Чарушкина, Чигирь
МПК: H01L 21/66
Метки: дефектов, кремниевых, нижних, оптического, слоев, структур
...СС 14 в течение 5 мин.В результате указанных операций травления на поверхности кристалла образовывался микрорельеф, представляющий собой ямки и бугорки травления и т.н, "Спейсеры", образующиеся по периметру шин металлизации. Средняя величина непланарности составляла 0,70+0,12 мкм, Оценка глубины ямок травления и высоты "спейсеров" и бугорков проводилась на растровом электронном микроскопе типа 1 БМ.После удаления пассивирующего слоя ислоя верхней металлизации проводился контроль дефектов нижнего слоя поликремниевой разводки по способу-прототипу, однако, из-за наличия микрорельефа на поверхности ИМС минимальный размер элементов, доступных для контроля, составлял 5,0 мкм, Затем поверхность кристалла тщательно очищалась на установке...
Керамическая масса
Номер патента: 1025697
Опубликовано: 30.06.1983
Авторы: Даценко, Кондренко, Любашенко, Мороз, Новикова, Солонинко, Яцун
МПК: C04B 33/00
Метки: керамическая, масса
...вложений на строительство хвостохранилищ, которые занимаютзначительные площади земельных угодий;,Фракции1-2 мм 5-10.фракции0,1-1 мм 38-50Фракции0,056-0,1 мм . 42-55Использование керамической массы, включающей глинистые и песчаные отходы ильменитового производства и имеющей следующий минералогический состав, мас.%;Каолинит 51,0-70,0Гидрослюда 2 г 5-8,5Ионтмориллонит 5,0-7,0Полевой шпат 3.526,0Кварц 50-15 0Гидроокислыжелеза 0,5-4,0позволяет значительно улучшить свойства изделий.Химический состав отходов ильменитового производства приведен втабл. 1,Схема производства.ильменитовогоконцентрата из исходных руд включаетдезинтеграцию материала в скруберахи моечных машинах, грохочение нагрохотах, обесшлампивание в гидроциклонах и...
Керамическая масса для изготовления химически стойких изделий
Номер патента: 1020401
Опубликовано: 30.05.1983
Авторы: Колосветова, Солонинко, Черняк
МПК: C04B 33/24
Метки: керамическая, масса, стойких, химически
...керамических химически стой,ких изделий.Указанная цель достигается тем,что керамическая масса, включающая 20 Й 01 3-,глину и шамот, содержит допблнительноотход обогащения апатитовой руды.Флогопитовый концентрат при следующем соотношении компонентов, вес;3:5 .Глина 55-75Шамот 10-20. Отход обогащенияапатитовой руды -Флогопитовый кон 10 центрат 15"25Отход обогащения апатитовой рудыФлогопитовый концентрат имеет следующий химический состав, мас.3: 510235-0; А 1 О 10-12; т 10 2 0,3-0,6;15 Ге 20 2"3; РеО 6-8; СаО 1-2,5; ИдО20-25; ИпО 0,1-0,251 ВаО 0,3-0,6;ЯгО 0,02-0,05 р 0 0,7-0,95; йа О0,8-1,Й; К 20 6-7,5; Р О 0,1-0,Й;20 5 е 5 фОпытные массы готовят в соответствии с современной технологией производства керамических...
Состав декоративного покрытия
Номер патента: 870382
Опубликовано: 07.10.1981
Авторы: Голик, Даценко, Мороз, Руденко, Солонинко
МПК: C04B 41/06
Метки: декоративного, покрытия, состав
...через сито 800 отв/см , а затем смешиваются с жидким стеклом, декстрином или глицерином. Декор наносят пульвериэацией на поверхность глазурованных керамических плиток. Изделия подвергают сушке при 150-200 С и обжигу при 980-1100 С, в зависимости от состава глазури и керамических плиток.870382 Формула изобретения Составитель Л.ГостеваРедактор Т.Кузнецова ТехредМ.Рейвес Корректор М,Коста Заказ 8741/26 Тираж 663 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д.4/5Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная,4 Применение флогопита обеспечивает получение эффекта "золочения" издеЛий, а мусковита - "серебрения".П р и м е р 1. Керамический декор, состоящий из следующего...
Шихта для изготовления эффективной строительной керамики
Номер патента: 579260
Опубликовано: 05.11.1977
Авторы: Бондаренко, Варенцова, Козак, Кондратенко, Кот, Любарская, Любашенко, Руденко, Солонинко, Яцун
МПК: C04B 33/00
Метки: керамики, строительной, шихта, эффективной
...приготовления шихты испольэовали спондиловые глины Киевского, желто-бурые глины Житомирского месторождения УССР и отходы ильменитового производства Житомирской области,Образцы из шихт на основе этихглин готовили методом пластического5 формования в металлической Форме,высушивали в естественных условияхи обжигали в силитовой печи при температурах 1050 и 11000 С, Напримершихту, состояшую из 70 вес.Ф спон 10 диловой глины, 15 вес.% лесса, 15 весвотходов ильменитового производства,предварительно измельченных до разчастиц -( О, 1 мм, тшательно пеивали, увлажняли водой до влаж 1 и 26,1, иэ приготовленной массы в металлической форме формовалив виде кубов размером 505050 мм,высушивали их при комнатной температуре обжигали в силитовой печи20 при...