Способ газового алитирования

Союз СоветснннСоцнапнстнчесинхРеспубпнк ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ е 1 и 971913(23) Приоритет по делам изобретений и открытий,5 (088.8) Дата опубликования описания 07.11.82(71) Заявитель 4) СПОСОБ ГАЗО Изобретение кой обработкеотносится к хи металлов и спл ано для получен ико-термичесвов и может водороднои а осаждения по 0,7 мкм/мин нил не болееЦелью изоб взрывоопаснос тос е большая скорость я составляет 0,4- ре 300 С и давле)е и н котор ыте ия алюмини быть ислользов покрытий на и х темпе рат 10 м абатываемог ерхност рт. с ретения и и ин ся уменьшениеикацил процесса тенси тирования воридах (А 1 Р)тмосфере водособ газового (А 1 С 1) и моно 950 - 1000 С в,Цля достижения поставленной цели со но способу газового алитирования, вклю му изотермическую выдержку в среде га сителя и паров алюминийсодержащего ве лас аю оба являютсядиффузионных ето не позвоиз зонощест. ва при пониженно минийсодержащего авлении, в качестве ал лоев н высокие те яет применять дан именяют три ест гкоплавтиламиноалан, а в качестве гаэоносителяазот.При этомре" материалов,т 5по Наиболее близким к предлож технической сути и достигаемом является способ газового алити средством термического разложе еетееомде азота идят при 15 Предлож ров ди.одороия п сфере ниигидрата в атм ецсствляют С при пониженном м 100 мм рт. ст. ми этого способа давлен Обрабатываемые детали помешают в рабочую камеру и нагревают в токе азота дотемператур изотермической ньелсржки, после я взры.нением вляюпри вя есса изделия,Известен спомонохлоридахалюминия природа 11.Недостаткамнизкие скорос изобутилаею да при 300 превьплающНедостатк воопасность естного спо рмирования мперату ры, еый метод изотермическую выдержку в спарах триметиламинолана прово 450 С и давлении 20-50 мм рт. ст нный способ алити 1 ювания осуледуюецим образом.3 97 чего с помощью форвакуумного насоса в рабочем объеме создают разрежеНие до 20 - 50 мм рт. ст. и подают пары триметиламино. алана.Продолжительность процесса определяется скоростью разложения триметиламиноалана, которая, в свою очередь, зависит от температуры подложки и необходимой глубины покрьгтия.После проведения изотермической выдержки изделия охлаждают в токе азота.Триметиламиноалан, являющийся источником алюминия, при 70 - 100 С сублимирует, а при температурах выше 100 - 120 С разлагается по схеме Высокие скорости разложения триметил.аминоалана обеспечивают достаточно высокуюскорость осаждения алюминия.П р и м е р 1. Изделия, изготовленные из технического железа и сплава А 19,подвергаемые алюминированию, помещают врабочую камеру и нагревают в токе азота,до 200 С, после чего рабочий объем с помощью форвакуумного насоса откачивают додавления 30 мм рт. ст. и в него подают пары триметиламиноалана, транспортируемые током азота из сублиматора, имеющего температуру 90 С, Получасовая обработка изделий, по указанному режиму позволяет получитьалюминированный слой толщиной 40 - 60 мкм,П р .и м е р 2. Реализация аналогичногодгййма химико-термической обработки приФ3 фФ Составитель Р. КлыковаТехред М.Гергель Корректор М, Шароши Редактор О, Персиянцева Заказ 8495/ 1 Тираж 1053 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП "11 атент", г. Ужтород, ул. Проектная, 4 А 1 Нз й (СНз)-е А 1 + Й (СНз) з + Нз3 1913 4температурах изделий 150 С и 450 С и про.чих равных условиях (см. пример 1) обеспе.чивает формирование алюминированных покрытий толшиной 10-20 и 20 - 30 мкм соответственно для обоих материалов.Таким образом, предложенный способ обеспечивает среднюю Скорость осаждения покры.тия 1,3 - 2 мкм/мин, т.е. в 2 - 5 раэ большуюпо сравнению с прототипом, а применение азо та в качестве газо-носителя уменьшает взрывоопасность процесса,Фо р мула и зоб ретен ия 1, Способ газового алитирования, включаюшийизотермическую выдержку в среде газоносителяи паров алюминийсодержащего вещества припониженном давлении, о т л и ч а ю щ и й 20с я тем, что, с целью уменьшения взрывоопасности и металлификации процесса, вкачестве алюминийсодержагцего вещества применяют триметиламиноалан, а в качестве газо.носителя - азот,252. Способ по п. 1, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что изотермическую выдержку всреде азота и парах триметиламиноалана про.изводят при 150 - 450 О и давлении 20 - 50 мм рт.ст.Источники информации,ЭОпринятые во внимание при экспертизе1, Семенкович С. А. и др, Алитированиежелеза парами монохлорида алюминия. -МИТОМ, 1958, У 5, с, 30 - 35.2. Авторское свидетельство СССР Р 125994,кл. С 23 С 11/00, 1959,