Раствор для избирательного травления металлосилицидных резистивных слоев

Номер патента: 946016

Авторы: Удаленкова, Шнипко

ZIP архив

Текст

(51)М, Кл.Н 05 К 3/06 С 23 Г 1/ОО Гесударатмннцй камнтет СССР ио делам .нзабретеннй и открмтнй.6.002 (088.8) Дата опубликования описания 26.07.82(54) РАСТВОР ДЛЙ ИЗБИРАТЕЛЬНОГО ТРАВЛЕНИЙ МЕТАЛЛОСИЛИБИДНЫХ РЕЗИСТИВНЫХ СЛОЕВ16- 19 1Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в технологии изготовления тонкопленочных резистивных элементов и гибридных микросхем.Известен раствор для избирательного травления металлосилицидных резистивных слоев, включающий азотную кислоту, фтористоводородную кислоту и воду 1 1 .Недостатки этого раствора состоят в 10 высокой скорости травления и активном газообразовании, что приводит к подтраву резистивных элементов и искажению их геометрических размеров,Наиболее близким техническим реше 13 нием к изобретению является раствор для избирательного травления металлосилицицных резистивных слоев, включающий азогй ную кислоту, фтористоводородную кислоту и дистиллированную воду 2 1 .20 Недостатки известного раствора заключаются в высокой скорости травления и активном газообразовании, которые приводят к подтраву резистивных элементов и искажению их геометрических размеров.Бель изобретения - снижение скорости травления и уменьшение газообразования.Поставленная пель достигается тем, что раствор для избирательного травления металлосилицидных резистивных слоев, включающий азотную кислоту, фтористоводородную кислоту и дистиллированную воду, дополнительно содержит насыщенный раствор нитрата калия при следующем количественном соотношении компонентов,Азотная кислота 25-30 фтористоводородная кислотаНасыщенный раствор нитрата калия 40 -50 Дистиллированнаявода ОстальноеДля получения раствора для избиратель ного травления металлосилицидных резистивных слоев готовят три состава компо нентов, содержащие кащпый, вес. %: азо3 9460ной кислоты 27, 25 и 30, фтористоводородной кислоты 18, 16 и 19, насыщенного раствора нитрата калия 10,9 и 11и дистиллированчой воды 45, 50 и 40.Каждый раствор приготовлен путемпоследовательного добавления к дистиллированной воде азотной кислоты, фтористо,водородной кислоты, перемешивания .раствора, добавления насыщенного раствора нитрата калия и повторного перемешивания. 1 ОПроводится травление тонкопленочныхслоев металлосилицидного резистивногосплава РС 3710, нанесенных вакуумнотермическим методом на ситалловые подложки, по защитной маске из фоторезистаФП, Состав металлосилицидногосплава состоит из 53% кремния, 37%никеля, 10% хрома,Подложки с резистивными слоями погружают в раствор для травления указан Оных составов и выдерживают в нем прикомнатной температуре до полного удалещя резистивного материала с мест, незащищенных фоторезистом, Момент окончания процесса травления определяется визуально. Длительность травления резистивных слоев в зависимости от исходнойтолщины пленки составляет 5-10 с.Точность воспроизведения геометрических размеров резистивных элементов нениже 1 мкм.Изобретение позволяет уменьшить ко-,личество дефектов резистивных слоев, повысить точность воспроизведения геомет рических размеров резистивных элементови дает возможность изготовлять прецизионные резистивные матрицы с повышенной надежностью и увеличенным выходомгодных изделий,Формула изобретения 40-50 Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР414330, кл. Н 05 К 3/06, 1972. 2, Авторское свидетельство СССР471402, кл. Н 05 К 3/06, 1973Раствор для избирательного травления металлосилицидных резистивных слоев, включающий азотную кислоту, фтористоводородную кислоту, дистиллированную воду, отличающийся тем,что, с целью снижения скорости травления и уменьшения газообразования, он дополнительно содержит насыщенный раствор нитрата калия при следующем соотношении компонентов, вес. ч:Азотная кислота 25-30Фтористоводородная кислота 16 - 19Насыщенный рас твор нитрата калияДистиллированнаявода Остальное1Составитель Ю. ГерасичкинРедактор Н. Пушненкова Техред З,Палий Корректор А. ГриценкоЗаказ 53 53/76 Тираж 862 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам .изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская набд. 4/5 Филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул, Проектная, 4

Смотреть

Заявка

2963206, 24.07.1980

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1705

ШНИПКО ТАТЬЯНА СЕРГЕЕВНА, УДАЛЕНКОВА ТАТЬЯНА ВАЛЕРЬЕВНА

МПК / Метки

МПК: H05K 3/06

Метки: избирательного, металлосилицидных, раствор, резистивных, слоев, травления

Опубликовано: 23.07.1982

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-946016-rastvor-dlya-izbiratelnogo-travleniya-metallosilicidnykh-rezistivnykh-sloev.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Раствор для избирательного травления металлосилицидных резистивных слоев</a>

Похожие патенты