Раствор для травления железоокисных слоев

Номер патента: 1823714

Опубликовано: 27.10.1996

Авторы: Клименков, Красницкий, Турцевич, Цыбулько

МПК: H01L 21/306

Метки: газовая, диэлектрических, селективного, слоев, смесь, сухого, травления

...содержания гептафторпропана в газовой смеси менее 15 об.;4 приводит к значительному снижению скорости и селективности травления диэлектрических слоев по отношению к нижележащему слою.Превышение содержания кислорода в смеси более 11 об.;4 приводит к снижению равномерности травления диэлектрических слоев и селективности по отношению к маскеи нижележащему слою.Снижение содержания кислорода в смеси менее 2,6 об.;, приводит к увеличению вероятности загрязнения поверхности нижележащего слоя из-за повышения соотношения С/Е в смеси.Использование заявляемой газовой смеси может быть проиллюстрировано на примере селективного реактивного ионноплазменного травления слоев двуокиси кремния, фосфоросиликатного стекла (ФСС), нитрида кремния,...

Номер патента: 579797

Опубликовано: 20.05.2003

Авторы: Агузаров, Казанбаев, Лейцин, Марченко, Пилипчук, Радько, Туленков

МПК: C22B 58/00

Метки: восстановлением, железа, индийсодержащих, растворов, трехвалентного

1. Способ очистки индийсодержащих растворов от трехвалентного железа восстановлением путем добавления в раствор восстановителя, отличающийся тем, что, с целью удешевления процесса, в качестве восстановителя используют силикокальций.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве восстановителя используют пылевидные отходы производства силикокальция.

Номер патента: 973484

Опубликовано: 15.11.1982

Авторы: Вайнштейн, Ильичев, Кленышева, Кононенко, Тарасова, Тимченко

МПК: C01G 49/08

Метки: железа, кальция, магнетита, отработанных, растворов, содержащих, сульфат, сульфата, травильных

...растворе 0,35-0,5 г 1,973484 формула изобретения Составитель Л,Романцева Редактор М.Дылын Техред И.Гайду Корректор Ю.Макаренкощщщ щщщщ щ щщщщ щЗаказ 8599/23 Тираж 509 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Жщ 35, Раушская наб., д.4/5 филиал ППП Патент, г.ужгород ул.Проектная,4о Предложенный способ обеспечиваетйовышенную чистоту сульфата кальцияи магнетита по примесям кальция ижелеза. В .частности, содержание калымция в магнетите, полученного даннымспособом, снижается по сравнению сизвестным более чем в 5 раэ и составляет величину порядка 0,03.П р и м е р 1, Отработанные стоки Орловского сталепрокатного завода с концентрацией 50 г/л НЯО и250 г/л РеЯО в количестве 1 л обрабатывают 25...

Номер патента: 1070210

Опубликовано: 30.01.1984

Авторы: Абатуров, Мякиненков, Никитина

МПК: C23F 1/04

Метки: железа, размерного, раствор, травления

...одну из много, основных карбоновых оксикислот или лимонную кислоту (2 оксипропан 1,2,3-55 -трикарбоновая) (ГОСТ - 3652-69 хг), или винную (виннокаменная)(ГОСТ - 5817-69 гда) или яблочную (ДК-оксиянтарная)(МРТУ-09-3302-66 ч).После полного растворения в указанную мер ную емкость добавляют этилендиамин( /-Б,И,И,И -тетрауксусную кислоту, (этилендинитрило)-тетрауксусную кисло ту (МРТУ-б-2356-65-гда) или этилендиамин-И.И И И -тетрауксусной кис лоты диаммонийную соль л ТУ 11 П-70гда) и доводят готовый раствор дометки. Раствор хранят в закрытыхполиэтиленовых емкостях и используют его периодически в течение 1 мессо дня приготовления,Травление проводят в кварцевыхкюветах при осторожном перемешивании. Одновременно обрабатывают 1 пластину в...

Номер патента: 946016

Опубликовано: 23.07.1982

Авторы: Удаленкова, Шнипко

МПК: H05K 3/06

Метки: избирательного, металлосилицидных, раствор, резистивных, слоев, травления

...металлосилицидных резистивных слоев готовят три состава компо нентов, содержащие кащпый, вес. %: азо3 9460ной кислоты 27, 25 и 30, фтористоводородной кислоты 18, 16 и 19, насыщенного раствора нитрата калия 10,9 и 11и дистиллированчой воды 45, 50 и 40.Каждый раствор приготовлен путемпоследовательного добавления к дистиллированной воде азотной кислоты, фтористо,водородной кислоты, перемешивания .раствора, добавления насыщенного раствора нитрата калия и повторного перемешивания. 1 ОПроводится травление тонкопленочныхслоев металлосилицидного резистивногосплава РС 3710, нанесенных вакуумнотермическим методом на ситалловые подложки, по защитной маске из фоторезистаФП, Состав металлосилицидногосплава состоит из 53% кремния, 37%никеля, 10%...