Удаленкова

Номер патента: 946016

Опубликовано: 23.07.1982

Авторы: Удаленкова, Шнипко

МПК: H05K 3/06

Метки: избирательного, металлосилицидных, раствор, резистивных, слоев, травления

...металлосилицидных резистивных слоев готовят три состава компо нентов, содержащие кащпый, вес. %: азо3 9460ной кислоты 27, 25 и 30, фтористоводородной кислоты 18, 16 и 19, насыщенного раствора нитрата калия 10,9 и 11и дистиллированчой воды 45, 50 и 40.Каждый раствор приготовлен путемпоследовательного добавления к дистиллированной воде азотной кислоты, фтористо,водородной кислоты, перемешивания .раствора, добавления насыщенного раствора нитрата калия и повторного перемешивания. 1 ОПроводится травление тонкопленочныхслоев металлосилицидного резистивногосплава РС 3710, нанесенных вакуумнотермическим методом на ситалловые подложки, по защитной маске из фоторезистаФП, Состав металлосилицидногосплава состоит из 53% кремния, 37%никеля, 10%...