Устройство для наблюдения влажных образцов при помощи растрового электронного микроскопа

(11) 5757 1, 7 Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик СПИ ИЗОБК АВТОРСКО (61) Дополнительн 1) М. Кл. Н 01 Х, 37/26 2) Ваяв 4.0 с присоединением з(45) Дата опублик асударстаеннын намнтетСаавта Мнннстраа СССРаа делам нзааретеннйн аткрытнй(71) Заявите овский ордена государстве 4) УСТРОИСТВО ДЛЯ НАБЛЮДЕНИЯ ВЛАЖНЫХ ОБРАЗЦОВРИ ПОМОЩИ РАСТРОВОГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА енныхость об недос ысоким о образра) вы влаги давление ца и вес сотой об паров во окол ьма мало ли миллиметтолба паров разуюшегося с Кроме того,в ва стабильная образца инфор щей образец стемпература м кольцевого о ю изобретения сследуемых в устройстве си регистрация 1 мации, а пара юлучаметрысть,чны к трудимой о 10 реды (влажн ) очень крит ружаю вление разме Цетверстия является иренуслоасса тествен де с итИзобретение относится к электронной микроскопии и предназначено для изучения при помощи растрового электронного микроскопа влажных биологических и геологических объектов.Известно устройство - специальная микрокамера, содержащая воздух при таком давлении и насыщенности парами влаги, при которых не происходит высушивание влажных образцов в процессе их исследования. 1. Его недостатком является ограничение размеров исследуемых образцов объектами микронной толщины. Недостаток этот обусловлен самой спецификой работы просвечивающего электронного микроскопа.Известно также устройство для исследования массивных влажных объектов при помощи растрового электронного микроскопа2), Это устройство содержит регистрирующую систему, источник влаги, микро- камеру, в крышке которой выполнена узкая кольцевая щель, а на крышке установлен держатель образца.К недостаткам устройства следует отнести тот факт, что образец в нем не нанина и ордена Трудового Красного Знамений университет им. М, В. Ломоносова ходится при исследовании в естест условиях; это снижает информатив его истинной. структуре, Указанный таток обусловлен относительно не виях образцов.Указанная цель достигается тем, ч устройство снабжено магнитной линзой поле которой помещена микрокамера с жателем образца; магнитопровод линзы держит канальное отверстие для прохо ния первичного и вторичного электрон пучков. На чертеже представлена схема5 гаемого устройства, состоящего из575717 ИПИ Заказ 4044/37 Тираж 976 Подписцо филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4 ной линзы 1, магнитопроеода 2, микрокамеры 3 со съемной герметичной крышкой4, в которой выполнены капиллярные отверстия 5, держателя образца 6. Пррчдммагнитопровод 2 выполнен с канальнымцилиндрическим отверстием 7 . Устройствоработает при помощи растрового электронного микроскопа 9 и содержит также регистрирующую систему 10,10Работа устройства осуществляется следующим образом,Остросфокусированный объективом 9электронный зонд 8 через канальное отверстие 7 достигает поверхности исследуемого образца, помещенного в держателе 6.Генерированные зондом вторичные электроны, несущие информацию о влажном образце, при выходе из канала 7 (магнитноеполе линзы 1 способствует беспрепятствен-, 0ному прохождению вторичных электроновчерез этот узкий и длинный канал) улавливаются регистоирющей системой 10. Из микпакамеры 3 в область образца через капиллярные отверстия 5 происходит истечениегаза и паров влаги. Облако этих паров довольно стабильно по плотности и давлению,так как медленное истечение паров и газачерез канальное отверстие 7 в магнитнойлинзе 1 компенсируется диффузным прито- З 0 ком очередной порции паров влаги и газа через капилляры 5 из камеры с влажной средой 3. Камера через натекатель и малое отверстие в штоке-держателе сообщается с атмосферой,формула изобретения Устройство для наблюдения влажных образцов при помощи растрового электронного микроскопа, содержащее регистрирующую систему, источник влаги, микрокамеру, в крышке которой выполнены капиллярные отверстия, и на ней установлен пер жатель образца о т л и ч а ю ш е ес я тем, что, с целью расширения класса исследуемых в естественных условиях образцов, оно снабжено магнитной линзой, в поле котооой) помещена микрокамера с держателем образца, магнитопровод линзы содержит канальное отверстие для прохождения первичного и вторичного электронных пучков.Источники информации, принятые во вни мание при экспертизе:1 У. ЗъчК, А, Вчоюя, У, ЬсеМ,ТсвС чит, 1970, Ч 3, р. 924.2.М С, Ьаое.Рчос.Згд ЫМ 5 ЧфдРТСЫсодо, 1970, р, 41.