Патенты с меткой «оксидныхпленок»

Номер патента: 819851

Опубликовано: 07.04.1981

Авторы: Коваленко, Кравченко, Лыньков, Соловьев

МПК: H01J 37/26

Метки: микроскопии, образцов, оксидныхпленок, приготовления, электронной

...пленки ИВАГО соответствуют требуемой форме и размерам (по площади 2 - 4 мм)и сохраняют качество отделяемой пленки,что подтверждается при исследовании напросвет в электронном микроскопе ЭММА,Таким образом, применение предлагае 20 мого изобретения позволяет существенноповысить эффективность и качество отделения оксидных пленок,Формула изобретения Исследуемые образцы оксидной пленки ТаО а соответствуют требуемой форме и размерам (по площади 2 - 4 мм) и сохраняют качество отделяемой пленки, что подтверждается при их исследовании на просвет в электронном микроскопе ЭММА.Пример 2. На ситалловую подложку типа СТ 50 - 1 осаждают дополнительную пленку ванадия толщиной 1000 А по форме и разраствор лимонной килоты. В качестве переходного...