Устройство для травления автоэмиттеров

к а А ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ ц Ы 25(Б Соаз Советских Соннелнстнческнх Реснтбанк,1902 11 1/30 с присоединением заявки ЪЪ 6 осударственный комнте 23) Приорите а Мнннстров СССРелам изобретений н отнрытнй овет(088.8) пуоликовано ата опубликования описания 02.06.76(71) Заявител 4) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ АВТОЭЧИТТЕРО Изобретение относится к технологии изготовления автоэмиттеров. Такие эмиттеры, выполненные в виде иголки из тугоплавкого металла, радиус закругления вершины которой составляет доли микрона, используются в автоэлектронных и автоионных проекторах при исследовании различных физических процессов на поверхности твердых тел, а также использую. ся в качестве катодов некоторых электровакуумных приборов.Известны устройства для травления автоэмиттеров, содеркащие первый электрод с отверстием для помещения в него электролита и заготовки а. тоэмиттера, служащей вторым электродом.В процессе работы устройства происходит перетравливание заготовки в том месте, где она находится в травящей капле электролита, до тех пор, пока не происходит отделения нижней ее части, которая падает в электролитическую ванну, Верхняя часть заготовки представляет собой автоэмиттер. В момент отделения нижней части заготовки цепь тока размыкается и процесс травления прекращается.Недостатком такого устройства является то, что длина конусной части, которая является важнейшим параметром игольчатого эмиттера, получается большой. Это является результатом того, что травление происходит во всей массе капли электролита, с наибольшим перетрявливян 1 ех В 1 ситце еяпли, где и происходит разделение заготовки на две части. Чем тоньше капля, тем короче конусная часть и, следовательно, лучше параметры будущсго ав тоэмиттера. Уменьшснис травяшей капли может пр 11 Всстп е прсждезрсхснному прекря 1 цению процесса травле.1;я из-за испарения электролита и браку изделия. Наилучшие параметры з:,Иттера б,дут получены, если травление 1 О Вест 1 В тонкой тле 1 Ес э.".ект 1 толитя. Однако изВсст 1 Ое устроЙстзо д,.я этого нс пригодно.КрОз 1 с того, В тяеом устройстве полу 1 яется плохая госпроизводимость формы острия (т. е.В еопечнов сче е ВоспроизВодпмость пярямст роз эмпттера прп серийном произВодс.зе), таккак невозможно создьзять еяпл 11 элс 1 тр 0,1 итя одинаеовоц ьеличины с достаточной точностью при каждом новом травлении и поддерживать требуемое количество электролита, так как по следний расходуется в процессе травления.Целью изобретения является уменьшениетолщины травящей пленки, а также на основе регулирования толщи ы пленки получение возможности управления процессом травления 25 для улучшения воспроизводимости изготовления автоэмиттеров.Поставленная цель достигается Выполнением первого электрода в виде параллельных пластин, между которыми имеется зазор для 30 заливки электролита. 1 аждая пластина имеет512505 Формула изобретения 20 Составитель Г. КудинцеваТехред Е. Подурушина Корректор М. Малкина Редактор Н. Коляда Заказ 1215,10 Изд.1280 Тираж 963 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, москва, Я(-35, Раушская наб., д, 4,5Типография, пр. Сапунова, 2 отверстие; отверстия идентичны, центры их расположены на одной вертикальной оси.На чертеже схематически показано предлагаемое устройство.Оно имеет первый электрод, выполненный в виде двух пластин 1 с отверстиями, источник тока 2, электролитическую ванну 3 с электродом 4, подсоединенным к указанному источнику тока. Пластины 1 электрода имеют между собой зазор, в который заливают электролит, предназначенный для перетравливания заготовки автоэмиттера. В электролитическую ванну 3 заливают электропроводящую жидкость 5, Заготовку автоэмиттера 6 вставляют в отверстия пластин 1, верхний конец ее закрепляют в устройство (на чертеже не показан), а нижний находится в электропроводящей жидкости 5. Зазор между пластинами регулируется в зависимости от толщины травящей пленки, которую нужно получить. Для регулировки зазора между пластинами могут быть предусмотрены средства, содержащие, например, элементы с микрометрической резьбой. При данной величине отверстий в пластинах зазор между ними может быть отрегулирован на минимально возможную толщину травящей пленки. Этот зазор может составлять величину порядка десятых миллиметра. Пленка электролита получается стабильной, разрыв ее исключен, так как электролита между пластинами достаточно для компенсации его расхода в процессе травления, при этом при заливке электролита не требуется точность, необходимая в известном устройстве, 5 ибо толщина пленки зависит только от диаметра отверстий пластин и расстояния между последними.Таким образом, в предлагаемом устройстветолщина травящей пленки не зависит от коли чества введенного электролита, а может регулироваться в процессе работы путем изменения зазора между пластинами электрода и, следовательно, так как длина конуса игольчатого автоэмиттера прямо связана с толщиной Г 5 травящей пленки, появляется возможность управлять процессом изготовления автоэмиттером. Устройство для травления автоэмиттеров,содержащее первый электрод с отверстием для помещения в него электролита и заготовки автоэмиттера, служащей вторым электродом, 25 отличающееся тем, что, с целью уменьшения толщины пленки и повышения воспроизводимости процесса травления, первый электрод выполнен в виде двух параллельных пластин с соосными отверстиями, между которыми 33 имеется зазор для заливки электролита.