Патенты с меткой «автоэмиттеров»

Номер патента: 213200

Опубликовано: 01.01.1968

Авторы: Афанасьев, Гарбер, Михайловский

МПК: H01J 1/304

Метки: автоэмиттеров, игольчатых

...неконтролируемыми изменениями работы выхода. с конусообразными раструбами на концах,обращенных друг к другу, и с кольцевым зазором между ними и прикладывают междузаготовкой и пластиной разность потенциа 5 лов, достаточную для возникновения катодного распыления материала заготовки вобласти зазора между раструбами.На чертеже представлено устройство дляизготовления автоэмиттеров по предлагаемоО му способу.Оно содержит проволочную 1электропроводящую пластинуцилиндры 3 с раструбами.Заготовка в виде проволоки из необходи 5 мого материала распыляется ионами инертных газов при давлении последних 10 т -10-в,ил рт. ст. Давление остаточных газовв системе - 10 в - 10 мл рт. ст. Конусообразные изолирующие экраны позволяют по 0 лучать распыление,...

Номер патента: 512505

Опубликовано: 30.04.1976

Авторы: Кочерыженков, Паутов

МПК: H01J 1/304, H01J 9/02

Метки: автоэмиттеров, травления

...требуемое количество электролита, так как по следний расходуется в процессе травления.Целью изобретения является уменьшениетолщины травящей пленки, а также на основе регулирования толщи ы пленки получение возможности управления процессом травления 25 для улучшения воспроизводимости изготовления автоэмиттеров.Поставленная цель достигается Выполнением первого электрода в виде параллельных пластин, между которыми имеется зазор для 30 заливки электролита. 1 аждая пластина имеет512505 Формула изобретения 20 Составитель Г. КудинцеваТехред Е. Подурушина Корректор М. Малкина Редактор Н. Коляда Заказ 1215,10 Изд.1280 Тираж 963 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, москва, Я(-35,...

Номер патента: 568981

Опубликовано: 15.08.1977

Авторы: Кочерыжненков, Паутов

МПК: H01J 9/02

Метки: автоэмиттеров, травления

...производительости травления за счет увеличения объема электролита ц;.прощеьце регулировки ц контроля, толщины травщей пленки электролита.Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве по крайней мере одна цз обращенных друг к другу поверхностей пластин первого электрола выполнена в зоне отверстия вогнутой симметрично оси отверстия.На чертеже показан один из возможных вариантов предлагаемсго устройства.Устройство для травления автоэмиттероь содеркит первый электрод, выполненный в виде двух пластин 1 с соосньми отверстиями. причем, по крайней мере, одна из пластин в области отверстия имеет вогнутый участок 2, обращенный в сторону второй пластины и568981 Формула изобретения 15 20 Составитель Ю, Цветков Техред М. Семенов Редактор И,...

Номер патента: 1088083

Опубликовано: 23.04.1984

Авторы: Крылов, Паутов, Ткаченко

МПК: H01J 1/304

Метки: автоэмиттеров, травления

...Однако известное устройство имеет существенный недостаток, Момент образования острия АЭК (т.е. перетравливание заготовки) существенным образом зависит от веса ее нижней, отрывающейся части, что приводит к большому разбросу величины радиуса кривизны вершины АЭК. На завершающей стадии образования острия АЭК даже 40 незначительные флуктуации тока травления или механические перемещения нижней части заготовки под действием сил поверхностного натяжения приводят к тем же нежелательным пос 45 ледствиям. Целью изобретения является повышение воспроизводимости радиуса закругления вершины автоэмиттеров в процессе травленияПоставленная цель достигаетсятем, что в устройстве для травления1автоэмиттеров на втором электродесоосно закреплена...