Раствор для избирательного травления пленок хрома
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 378564
Текст
ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства-Заявлено 29,111,1971 (1 чо 1635150,22-1) М. Кл. С 2311/02 с отрисоединением заявки-Приоритет -Опубликовано 18,1 Ч.1973. Бюллетень19Дата опубликования описания 16,И 1.1973 Комитет по делам изобретений и открытий при Сосете Мииистров СССРДК 621 794 449 (088 8) Авторыизобретения Г. Я. Колмакова, Б, Е, Раснецова, Г, М. Белевич и В. А. Коршунова Заявитель РАСТВОР ДЛЯ ИЗБИРАТЕЛЪНОГО ТРАВЛЕНИЯ ПЛЕНОК ХРОМАПредмет изобретения Изобретение относится.к обработке поверхности металлов химическими способами, в частности к технологии изготовления приборов электронной технички и может быть применен при изготовлении фотошаблонов с микрочными и субмикронньгми штрихами,Известен раствор для избирательного травления пленок хрома с использованием металлического активагора, содержащий соляную кислоту.Предлагаемый раствор отличается от известного тем, что в его состав выведен 50%-ный раствор натриевой соли диэгилгексиловото эфира сульфоянтарной кислоты,в количестве 0,5 - 5/о от объема раствора соляной кислоты, что позволяет увеличить воопроизводимость и точность лри получении,рельефа с микрон- ными размерами и обеспечивает,получение рельефа металла с субмиасронными размерами.Раствор содержит соляную кислоту и 50%-ный раствор натриеэой соли,диэтилгеканлового эфира сульфоянтарной:кислоты в количестве 0,5 - 5 оо от объема соляной кислоты.Процесс травления протекает равномерно и поддается регулировке изменением концентрации кислоты и добавки.Для проведения процеоса травления рекомендуют применять 20 - 37%-ный распвор соляной кислоты. Избирательное травление пленок хрома в предлагаемом растворе проводится следующим образом.Пластину с хромовой пленкой, на которуюнанесен защитный рисунок, погружают в дан ный раствор, Участок хромовой пленки, не защищенный фоторезистором, приводят в контакт с алюминиевьсм или цивковьтм стержнем на 5 - 6 сек, затем стержень убирают и выдерживают пластину в растворе до полного 10 стравливания хрома, Время полного стравливания хромовой пленки толщиной 0,12 мк,и составляет 1 мин 20 сек.В случае неполного стравливания хрома,пластина помещается в раствор того же состава с добавкой алюминиевой стружки в количестве 10 - 20 г яа лигр раствора. Дотравливаяие производится по истечении 8 - 10 мин со времени введения стружки. Необходимость ионтакта в этом случае отпадает. В растворе с алюминиевой стружкой пластина выдерживается 20 - 30 сек. Раствор для избирательного травленияпленок хрома с использованием металлического активатора, содержащий солярную кислоту, отличающийся тем, что, с целью увеличения воопроизвстдимости и точности при получении 30 рельефа с микронными размерами, в его соКорректор Е. Михеева Редактор Л. Лаврова Заказ 342/1085 Изд,476 Тираж 826 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д, 4/5 Тип, Харьк. фил, пред. Патент став введен 50%-ный раствор натриевой соли диэтилгеисилового эфира оульфоянтарноц кислоты в количестве 0,5 - 5/, от объема раствора соляной кислоты.
СмотретьЗаявка
1635150
МПК / Метки
Метки: избирательного, пленок, раствор, травления, хрома
Опубликовано: 01.01.1973
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-378564-rastvor-dlya-izbiratelnogo-travleniya-plenok-khroma.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Раствор для избирательного травления пленок хрома</a>
Раствор для химического травления нержавеющих сталей
Номер патента: 1239172
Опубликовано: 23.06.1986
Авторы: Буркин, Коган, Крылова, Островская, Футорянский, Хохонова, Щипунов
МПК: C23F 1/28
Метки: нержавеющих, раствор, сталей, травления, химического
...выявления ожогов определяЗО ют отношением изменения плотности то-,ка к изменению напряжения при напряжениях (-Ф О)-(+200) мВ, На этомучастке анодная кривая является прямой для испытываемых растворов,35 Установлено, что оптимальнымизначениями по качеству травления на1ожоги являются; величина стравливания2-ч мкм/мин 1 величина растравливания2-6 мкм, изменение шероховатости40 0,00-0,2 мкм/мин; контрастностьтравления О, 12-0, 17 мА/мВ см .Сравнительные экспериментальныеданные по качеству травления приведены в табл, 2,45 Таким образом, добавление хлорнойкислоты к другим травильным растворам не создает положительного эффекта при травлении деталей на выявление шлифовальных ожогов, Положитель 5 О ный эффект, выражающийся в повышении...
Раствор для избирательного травления меди
Номер патента: 519502
Опубликовано: 30.06.1976
Авторы: Емельянов, Королев, Кучеренко, Флеров, Шишкина
МПК: C23F 1/02
Метки: избирательного, меди, раствор, травления
...- гидрат окиси аммония.ФА - фторид аммония.ПОДСА - пероксодисульфат аммония."КА - карбонат аммония.ХН - фторид натрия. рата окиси аммония, фторида аммония и монопероксигидрата карбамида определяются координатами точек поверхности треугольника Гиббса-Розебома (св чертеж).На "чертеже эта поверхность ограничена кривой АВСРЕК и заштрихована.При указанных оптимальных значениях содержания гидрата окиси аммония оптимальные значения содержания в растворе будут для монопероксигидрата карбамида от 50 до 300 г/л и для фторида аммония от 2 до 18 г/л,Травление предлагаемым раствором может производиться при температурах от 18 до 25 С и нормальном давлении.Вместо монопероксигидрата мочевины могут использоваться другие пероксигидраты карбамида и его...
Раствор для анодного травления мостовидных протезов
Номер патента: 1789575
Опубликовано: 23.01.1993
Авторы: Быкова, Евсеева, Петрикас, Рудой, Щербаков
МПК: C25D 3/02
Метки: анодного, мостовидных, протезов, раствор, травления
...98 в 1; хлори, щавелевую кислоту Предлагаются составы и режимы анодного травления четырех кобальта-хромовых сплавов, один из которых Виталлиум, по составу и свойствам близок к широко применяемому в отечественной практике сплаву КХС, Приведенный состав для травления сплава Виталлиум (НС 196 г/л) как наиболее близкий к заявляемому использован в качестве прототипа, Недостатком прототипа являются высокая токсичность раствора и относительно низкая (не выше 10 МПа) сила сцепления между металлической частью протеза и композитомЦелью изобретения является понижение токсичности электролита и повышение адгезии мостовидных протезов при склеивании.Поставленная цель достигается за счет того, что в раствор, содержащий соляную кислоту, дополнительно...
Раствор для бесшламного травления, биметалла медь-сталь
Номер патента: 834103
Опубликовано: 30.05.1981
Авторы: Девяткина, Коростелева, Липкин, Лисовская, Трактирова
МПК: C09K 13/06
Метки: бесшламного, биметалла, медь-сталь, раствор, травления
...1-3 двой 46ными связями.По физико-химическим показателямСМС представпяет собой темную пегкотекучую жидкость, полностью растворимуюв водных растворах кислот. СМС выпускается но ТУ - 38-40748-74.П р и м е р. 8 составов растворов готовят при комнатной температуре и перемешивании путем добавпения в воду кислот, а затем оспедовательно других ком-цонентов. Свойства травипьного раствораот порядка введения компонентов в водуне меняются. Приготовленный раствор нагревают до температуры 70 С. Травлению в лабораторных травипьных установках подвергают образцы - патрубкибиметапла медь-сталь размером 6 300 мм,д 27 3 мм и травление проводят при70+2 ОС в течение времени полногостравливания окалины, Об эффективностипредпагаемого раствора судят по...
Сплав на основе твердого раствора карбида хрома в никеле
Номер патента: 1818874
Опубликовано: 10.05.1995
Авторы: Игнатов, Коноплев, Ягодкина
МПК: C22C 19/05
Метки: карбида, никеле, основе, раствора, сплав, твердого, хрома
СПЛАВ НА ОСНОВЕ ТВЕРДОГО РАСТВОРА КАРБИДА ХРОМА В НИКЕЛЕ, отличающийся тем, что, с целью повышения твердости и коррозионной стойкости во фторсодержащей среде, твердый раствор карбида хрома в никеле содержит 5,0 - 50,0% карбида хрома, а сплав дополнительно содержит карбид хрома при следующем соотношении компонентов, мас.Карбид хрома 1,0 3,0Твердый раствор карбида хрома в никеле Остальное
Предыдущий патент: Станок для нанесения бортовой эмалиi у.; «союзнаяfn. tirf kxjh: haj бцamp; лио-; -к
Следующий патент: Раствор для травления меди
Случайный патент: Гербицидный состав