Раствор для избирательного травления пленок хрома

ОП ЙВЧАЙ Й Е ИЗОБРЕТЕИ ИЯ Союз Советских Социалистицеских Республикс присоединение заявки асударственныи комитеСовета Министров СССРпо делам изобретенийи открытий оритет -Опубликовано 17.1 Х.1973. Бюллетень М 3Дата опубликования описания 20.ХП.1973 ДК 62 382 002(088 8) Авторыизобретения олмаков, Г. М. Белевич, Б. Е. Раснецова, Г. Я. Колмако и Ш. Л. Кегелес аявите ЗБИРАТЕЛЬН ЛЕНОК ХРОМ ТРАВЛЕНИЯ АСТВОР 1000 0 - 15 0 - 15 новиз дцэлек исполь ый тра 13 и тел 1 ем ирателье соляоба 3 вки,имост створы не могут быть арительного активцро а путем контактироза металлом.повышение равномер сспные рбсз пред ости хро 1 Р У 1 О щиако ИЗВзованыповсрхнс активизэбргравлсн 13 СПОЛЬ валия 11 Ц 51 СЕ Цел ностираствор содерер двухлористое р, в виде йодиста металла. Компонующем колцчеПредлагаемыи раствор относится к вещес вам, используемым при изготовлении, напр мер, хромовых прецизионных фотошаблонов Для изготовления х 1 ромовых шабло пленки Вакуумнапыленного хрома на трической подложке, например стекле, зуют раствор соляной кислотыкотор ,вит поверхность хрома после ее предва ного контакта (активации) со стерж цинка или с алюминиевой стружкой.Известны также растворы для изби ного травления пленок хрома на основ ной кислоты, содержащие различные д например, увеличивающие воспроизвод процесса. Дл 5 Дост 31 жснця этОЙ цел жит восстановиель, напри 3, олово и ионы йода, наприме щелочного одновалентного ненты раствора взяты в сле ствс: Соляная кислота(плотность 1,18 - 1,19 г/с.31)Двухлорцстос олово, гИ одид калия, г Травитель готовят следующим образом. Вконцентрированной соляной кислоте растворя 1 от 50 в 1 г йодцда щелочного металла 1 например, калия), Выдерживают не менее суток 1 О ц фильтруют. В раствор добавляют 10 - 150 гхлористого олова и филыруют.Порядок операций технологиеского процесса прц получении микрорельефа хромовых пленок ца стекле следу ощцй:35 Нанесение фоторезцста с ОбразованК КОпирОВального слоя, сушка коп 31 ров 2 лъного ,слоя, экспонирозание копировального слоя, проявление, терНческ 251 обработка защитногорисунка, кими еское травление незащищеня ных 12 стков .розОНОЙ пленки, промывка нсушка, удаление фоторезистора.Пластну с хромовой пленкой, на которуюнанесен 32 щцтны 31 рисунок, погружаот В раствор для травлоши и выдерживают в нем до 25 полного стравливания хромовой пленки с незащищенных фоторезистом участков.В качестве фоторезцста 1 используютФП - ЗЗЗВ.Нижс да:1 ы сост 2 вы растворов для травлс- ЗО нця хромозой пленки:1 Кисло; а соляная 36 - 40%, мл 1000Иодистый натрий, г 100Двухлористое олово, г 40Время полного стравливания хромовой пленки толщиной 0,12 мкм составляет 1 мин 20 сек,толщиной 0,3 мкм - 4 мин 20 сек,2 Кислота соляная (36 - 40%), м,г 1000Иодистый калий, г 100Двухлористое олово, г ЗОВремя полного стравливания хромовойпленки толщиной 0,12 мкм составляет 2 мин20 сек, толщиной 0,30 мкм - 4 мин 50 сек.3 Кислота соляная (36 - 0%), мл 1000Иодистый аммоний, г 100Дву. лористое олово, г 100Время полного стравлизанагя хромовойпленки толщинсй 0,1 м.л,составляет о мин55 сек, толщиной 0,30 мкм - 12 мин 40 сек.4 Кислота соляная 36 - 40%, мл 1000Иоднстый калий, г 100Двухлористос олово, г. 50Время полного стравливания хромовойпленки толщиной 0,12 мкм - 1 мин 35 сес,толщиной 0,30 мкм - 3 мгн 40 сек.5 Кислота соляная 36 - 40, мл 1000Насыщенный раствор йодаметаллического в спирте, мл 100Двухлористое олово, г 50Время полного стравливания хромовой пленки толщиной 0,12 мкм - 1 мин 25 сек;толщиной 0,30 мкм - 2 мин 50 сек.При содержании йгудида менее 100 г/,г ск- рость травления не уменьшается, но создастся5 пресыщение раствора.При содержании хлористого олова менее10 г/л, такте как и выше 100 г/л, скоростьтравления уменьшается. Наибольшая скоростьтравления хрома обеспечивасгся тращггс:; .,10 содерыащихг 50 г/л двухлористого олова.Раствор5 годен к работе почти сразу кепосле приготовления, однако он быстро теряетсвои травящие свойства,П р едм ет изобретения1. Раствор для избирательного травленияпленок хрома на осионе соляной кислоты, от личаоиийся тем, что, с целью повышения равномерности травления, он содержит восстановитель, например двухлористое олово, и ионы йода, наганример, в виде йодида щелочного м- талла.25 2. Раствор по п. 1, отличаощийся тем, чтокомпоненты взяты в следующем количество: соляная кислота (плотность 1,18 - 1,19 г/см ) 1000 мл, двухлористое олово 10 - 150 г, йоздн т, калия 50150 г.Сосгавитель В, ЛиходедТехред Т. Курилко Редактор Н. Вирко Корректор А. Дзесова Типография Б 24 Соозполпграфпрома, Москва, 121019, ул, Маркса - Энгельса, 14 Заказ М 893 Изд. Я 1 Тираж 780 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раунскан наб., д. 4/5