Способ металлизации

(23) ПриоритетОпубликовано 30,08,75 Государственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретеиийи открытий юллетень3 53) УДК 666.3.056(088.8) бликования описания 02.12.75 72) Лвворы изобретени Н. Ярмолинская и ызло 1) Заявитель 54) СПОСОБ МЕТАЛЛИЗАЦ Изобретение относится к обработке керамических изделий, в частности, к способу металлизации поверхности тонкостенных деталей из высо ко алюмооксидных материалов, который может быть использован при изготовлении различных даталей, например, в электронной промышленности.Известен способ металлизацпп поверхпостп тонкостенных деталей пз высохоалюмооксидпых диэлектриков, вкл 1 очающпй обработку раствором солей тугоплавких металлов, термообработку и охлажденгге деталей.В процессе термообработки, которую проводят при сравнительно высокой температуре (порядка 1350 С), большое количество тонкостенных деталей деформируется. Кроме того, металлизационное покрытие не обладает достаточной прочностью сцепления с материалом детали.Металлизированные известным способом и спаянные друг с другом медным припоем через коваровую прокладку керамические детали имеют механическую прочность не выше 1000 - 1100 кг см.Целью изобретения является повышение прочности сцепления металлизации с диэлектриком и исключение деформации изделий.Это достигается тем, что термообработку осуществляют при 680 - 720 С в течение 50 - 80 мин, затем температуру повышают до 820 -900 С, деталь охлаждают, после чего наносятслой на основе порошков тугоплавких металлов и термообработку ведут в восстановительной среде при 600 в 8 С в течение 15 -5 80 мин с последующим повышением температуры до 1100 - 1200 С, выдержкой в течение15 - 60 мин и охлаждением.В процессе металлизацип деталеп такимспособом при оплавлении соли тугоплавкогоО металла удаляют легколетучпе компонентысоли. На поверхности керамической деталиобразуется плотное покрытие, состоящее восновном из окисла туго плавкого металла.Расплавленный окисел энергично реагирует с15 керамической подложкой с образованием химического соединения, что обеспечивает прочное соединение металлизационного покрытияс материалом детали.Режим обработки подобран таким образом,20 чтобы на оплавленной поверхности не былодендритов или отдельных кристаллов окисловтугоплавкпх металлов,На оплавленный слой окислов металлов наносят слой на основе порошков тугоплавкпх5 мета човВ процессе последующей термообработкпдетали при 600 - 800 С в восстановительнойатмосфере в течение 15 - 80 мин происходитчастичное восстановление окислов металловпервого металлизационного слоя до более482426 Предмет изобретения Составитель 3. Хоменко Редактор Т, Пилипенко Техред 3. Тараненко. Корректор О, Тюрина Заказ 2948/12 Изд. л 1 з 1769 Тираж 648 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 низких степеней окисления (но не до металла) с частичным окислением металлов второго металлизационного слоя. Дальнейший подъем температуры до 1100 - 1250 С с выдержкой в течение 15 - 60 мин обеспечивает плотное спекание металлизационного покрытия.П р и м е р. Втулки из высокоалюмооксидной керамики диаметром 13 мм и высотой 50 мм обрабатывают горячим раствором (70 С) молибдата аммония. Детали нагревают до 700 С, выдерживают при этой температуре в течение 70 мин, затем температуру повышают до 800 С, после чего детали охлаждают. На охлажденную деталь наносят слой пасты, содержащей молибден и марганец в соотношении 80: 20 соответственно. Нагревают детали до 750 С, выдерживают при этой температуре 50 мин, температуру повышают до 1150 С и выдерживают при ней 50 мин, а затем охлаждают. В процессе металлизации детали не деформируются. Металлизированные втулки спаивают попарно медным припоем через коваровую прокладку толщиной 0,5 мм. Механическая прочность полученных узловсоставляет 1600 в 18 кг/см. Способ металлизации поверхности тонкостенных деталей из высокоалюмооксидных ди электриков, включающий обработку раствором солей тугоплавких металлов, термообработку и охлаждение, отличающийся тем, что, с целью повышения прочности сцепления металлизации и исключения деформации де талей, термообработку осуществляют при680 в 7 С в течение 50 - 80 мин, затем температуру повышают до 820 - 900 С и охлаждают, после чего наносят слой на основе порошков тугоплавких металлов и термообра ботку ведут в восстановительной среде при600 в 8 С в течение 15 - 80 мин с последующим повышением температуры де 1100 - 1200 С, выдержкой в течение 15 - 60 мин и охлаждением.