Устройство для вакуумного напыления слоев
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 475428
Авторы: Бараш, Богданов, Зафранский, Поппель
Текст
Союз Советских Социалистических Республикприсоединением заяв Государственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретений Приор и 3) УДК 539.231.621,315.(71) Заявитель СТВО ДЛЯ ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ СЛОЕВ(54) УС Изобретение относится к вакуумному напылительному оборудованию, которое применяется в установках напыления материалов, например полупроводниковых, металлическихили диэлектрических слоев.5Известна установка для вакуумного напыления материалов, имеющая камеру напыления, которая содержит карусель с помещаемыми на ней подложками, вращаемую надиспарителями. Непременным условием качественного напыления в вакууме является экранировка испарителей в первой стадии напыления, чтобы окислы и загрязнения испаряемого материала не летели на подложки.В известном устройстве механизм экранировки испарителей выполнен в виде заслонки,поворачиваемой рычагом относительно оси,проходящей через вакуумное уплотнение в камере, и управляемой извне электромагнитнымприводом. 20Однако для такого механизма необходимыспециальный высоковакуумный ввод и системаэлектромагнитного привода с блоком питания.Кроме того, узел перемещения заслонки (рычаги, фиксаторы, направляющие, зубчатые передачи) сложен и громоздок,Цель изобретения - упрощение конструкпленнои на рой камера ще в конструк нию с пзвест необходимость валу, снабженпо скользящей 3 ции.Достигается это тем, что н ном реверсивным приводом посадке установлена втулка с укреней заслонкой, для фиксации котоснабжена упорами.На чертеже схематически изображено предложенное устройство.Оно содержит камеру 1 напыления, карусель 2 с подложками, заслонку 3, реверспвньШ привод 4 карусели, втулку 5, установ.пенную по скользящей посадке на валу 6 карусели с подложками, испарители 7 и 8 и упоры 9.Устройство работает следующим образом.Перед началом работы заслонку 3 устанавливают на позиции испарителя 7, работающего первым. После герметизации и вакуумированпя камеры напыления включают питание пспарителя 7 и, выдержав требуемое время для испарения окислов и загрязнений на заслонку 3, включают привод 4 вращения карусели с подложками, которая через вал 6 поворачивает заслонку до упора 9, открывая работающий испаритепь. Заслонка фиксируется упором над вторым испарптелем 8.При работе второго испарптеля для перевода заслонки в первоначальное положение необходимо только дать реверсивное вращение карусели с подложками, включив привод 4 на реверс.Устройство значительно противном оформлении по сравненым, так как в нем исключена475428 Предмет изобретения Составитель В. Безбородоваедактор Е. Дайч Техред Т. Курилко Корректор Е. Рогайли каз 2219/16ЦНИИПИ Изд. Мо 1559осударственного комитет по делам изобретений Москва, Ж, Раушска Тираж 966Совета Минисоткрытийнаб., д, 4/5 Подписноев СССР Типография, пр, Сапунова,в специальном высоковакуумном вводе и упрощена система привода и узла, перемещениязаслонки,Устройство для вакуумного напыления слоев, включающее камеру напыления, размещенныс внутри нее карусель с подложками, заслонку для экранировки испарителей и привод, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции, на валу карусели установлена по скользящей посадке втулка, заслонка укреплена на втулке, камера снабжена упорами для фиксации заслонки, а привод выполнен реверсивным,
СмотретьЗаявка
1803308, 28.06.1972
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Х-5594
ПОППЕЛЬ ВЛАДИМИР ГЕОРГИЕВИЧ, ЗАФРАНСКИЙ ИЗРАИЛЬ СЕМЕНОВИЧ, БОГДАНОВ СЕРГЕЙ СЕРГЕЕВИЧ, БАРАШ ЮРИЙ ВИТАЛЬЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: C23C 15/00
Метки: вакуумного, напыления, слоев
Опубликовано: 30.06.1975
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-475428-ustrojjstvo-dlya-vakuumnogo-napyleniya-sloev.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для вакуумного напыления слоев</a>
Предыдущий патент: Способ азотирования стали
Следующий патент: Раствор для травления железоокисных слоев
Случайный патент: Футеровка